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公开(公告)号：KR101896127B1
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：KR1020137008752
申请日：2011-09-08
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687 , B23Q3/15 , H02N13/00
CPC分类号： H02N13/00 , B23Q3/152 , H01L21/6831 , H01L21/6833
摘要： 본발명의일 실시예에따르면, 정전척의가스기밀링의작업편-접촉표면의적어도일부를덮으며, 전기적접지경로의적어도일부를포함하는전도성경로및 평방당 약 10옴내지약 10옴의범위내의표면저항을포함하는상기정전척의작업편-접촉표면의메인필드영역을포함하는정전척이제공된다.
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公开(公告)号：KR200397122Y1
公开(公告)日：2005-09-29
申请号：KR2020050019152
申请日：2005-07-01
申请人： 서동우
发明人： 서동우
IPC分类号： B23Q3/06
CPC分类号： B23Q3/152
摘要： 본 고안은 마그네틱을 이용한 흡착장치에 관한 것으로, 본 고안에 따른 마그네틱을 이용한 흡착장치는 하부본체; 상기 하부본체의 상부에 위치하는 상부본체; 상기 상부본체에 설치되며 일측면의 회전에 따라 타측면에 자력이 생성 및 비생성되어 타측면을 통해 물체의 탈부착이 가능한 적어도 하나 이상의 자석유닛; 상기 하부본체에 설치되어 상기 자석유닛의 일측면을 회전시키기 위한 회전작동부가 구비되는 것이 바람직한바 상기와 같은 구성의 본 고안에 따르면 공기압을 사용하여 자동 조작이 가능하여 편리함이 증대되고, 과도한 부하가 걸리는 상황에서도 자유로운 작동이 가능한 마그네틱을 이용한 흡착장치를 얻는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR1020140012613A
公开(公告)日：2014-02-03
申请号：KR1020137008752
申请日：2011-09-08
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687 , B23Q3/15 , H02N13/00
CPC分类号： H02N13/00 , B23Q3/152 , H01L21/6831 , H01L21/6833
摘要： 본 발명의 일 실시예에 따르면, 정전 척의 가스 기밀 링의 작업편-접촉 표면의 적어도 일부를 덮으며, 전기적 접지 경로의 적어도 일부를 포함하는 전도성 경로 및 평방 당 약 10
8 옴 내지 약 10
12 옴의 범위 내의 표면 저항을 포함하는 상기 정전 척의 작업편-접촉 표면의 메인 필드 영역을 포함하는 정전 척이 제공된다.-
公开(公告)号：KR1020130088748A
公开(公告)日：2013-08-08
申请号：KR1020127031833
申请日：2011-05-24
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00 , B23Q3/15 , C04B35/00
CPC分类号： H02N13/00 , B05D5/12 , B23Q3/152 , C04B37/005 , C04B37/008 , C04B2237/06 , C04B2237/062 , C04B2237/08 , C04B2237/083 , C04B2237/086 , C04B2237/341 , C04B2237/343 , C04B2237/365 , C04B2237/368 , C23F1/00 , H01L21/6833
摘要： 본 발명의 일 실시예에 따라 정전 척을 제공한다. 상기 정전 척은 전극; 및 전극의 전압으로 활성화되어 전하를 생성함으로써 기판이 정전 척에 정전기적으로 클램핑되도록 하고, 표면저항이 약 10
11 Ω/sq를 초과하는 전하 제어층을 포함하는 표면층을 포함한다.-
公开(公告)号：KR1020130030292A
公开(公告)日：2013-03-26
申请号：KR1020137001672
申请日：2011-08-11
申请人： 토토 가부시키가이샤
IPC分类号： H01L21/683 , B23Q3/15 , H02N13/00
CPC分类号： H02N13/00 , B23Q3/152 , H01L21/6833
摘要： 본 발명에 의한 정전 척은 피흡착물을 적재하는 측의 주면에 형성된 돌기부와 상기 돌기부의 주변에 형성된 평면부를 갖는 유전체 기판을 구비한 정전 척으로서, 상기 유전체 기판은 다결정 세라믹스 소결체로 형성되고, 레이저 현미경을 사용하여 구해진 상기 주면에 있어서의 간섭 무늬 점유 면적률이 1% 미만으로 된 것을 특징으로 한다.
파티클의 발생을 억제할 수 있는 정전 척 및 정전 척의 제조 방법을 제공할 수 있다.-
公开(公告)号：KR101854477B1
公开(公告)日：2018-05-03
申请号：KR1020127015330
申请日：2010-11-17
申请人： 렘 테크놀로지스, 인코포레이티드
摘要： 매체기반마감처리작업공정동안에마감처리매체가접촉하는금속가공대상물을지지하기위해고정구가제공된다. 이고정구는, 몸체및 몸체와접촉하여가공대상물을고정하기위한자석을포함한다. 초자성재료를이용함으로써큰 고정력이얻어질수 있다.
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公开(公告)号：KR101194161B1
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：KR1020110070152
申请日：2011-07-15
申请人： 주식회사 엘지화학
CPC分类号： H01M2/00 , B23K11/002 , B23K11/11 , B23K26/20 , B23K26/21 , B23K37/04 , B23K37/0435 , B23K37/0443 , B23K37/0452 , B23Q3/061 , B23Q3/152 , B23Q7/048 , H01M2/0426 , H01M2/10 , H01M10/04 , H01M2200/106
摘要： 본 발명은 다양한 크기의 전지셀들에 대해 연속 작업으로 전지셀을 제조하는 전지셀 회전 지그로서, 하단에 회전봉이 장착되어 있는 육면체의 구조로 이루어져 있고, 전극단자가 상부로 노출된 상태로 전지셀들이 측면에 직립 장착될 수 있도록 각 측면에는 전지셀에 대응하는 크기의 장착 틀이 형성되어 있는 본체; 상기 본체의 하단에 위치하고, 상기 회전봉에 연결된 상태에서 수동 회전 및 회전모터에 의한 회전을 포함하고 있는 다이; 및 상기 본체의 장착 틀과 상기 장착 틀에 장착된 전지셀을 지지할 수 있도록 상기 다이 상에 형성되어 있는 지지부재; 를 포함하고 있으며, 상기 본체의 측면에 전지셀이 장착된 상태에서 전지셀의 상부에 위치한 용접봉에 의해 용접하고자 하는 용접부위에 저항용접을 할 수 있도록, 상기 회전봉이 회전하는 것을 특징으로 하는 전지셀 회전 지그를 제공한다.
摘要翻译： 本发明公开了一种用于电池单元的旋转夹具，其连续地制造具有不同尺寸的电池单元，该电池单元具有构造成具有安装在其下端的旋转杆的六面体结构的主体，主体在其侧面设置有安装框架， 对应于电池单元的尺寸的尺寸，使得电池单元可以在电池单元的电极端子向上暴露的状态下直立安装在安装框架中，模具设置在主体的下端，模具连接 旋转杆，使得模具可以手动旋转或通过旋转马达旋转，以及形成在模具处的支撑构件，以支撑主体的安装框架和安装在安装框架中的电池单元，其中旋转杆旋转 使得使用位于电池单元上方的焊条，对于要焊接的一个电池单元的一部分进行电阻焊接，其中 电池单元被安装到主体的相应侧面。
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公开(公告)号：KR1020100075710A
公开(公告)日：2010-07-05
申请号：KR1020087015477
申请日：2007-10-16
申请人： 룀 게엠베하
发明人： 룀,게오르그
CPC分类号： B23Q3/1543 , B23B31/16 , B23B31/28 , B23Q3/152 , Y10T279/17615 , Y10T279/1973
摘要： The invention relates to a method for chucking workpieces (6) sensitive to deformation, particularly thin-walled rings, wherein the workpiece (6) to be chucked is placed between the clamping jaws (2) of a chuck (1) comprising a pole block (7) having at least one magnet (4) in the chuck body (3) thereof beneath the clamping jaws, and wherein the workpiece is centered by closing the clamping jaws (2) and fixed in this centered position by the magnet (4). The invention further relates to a chuck (1) comprising a magnet (4) disposed in a pole block (7) beneath the clamping jaws (2).
摘要翻译： 本发明涉及一种用于夹紧对变形特别是薄壁环敏感的工件（6）的方法，其中待夹紧的工件（6）放置在夹头（1）的夹爪（2）之间，该卡盘（1）包括极块 （7），其中夹具主体（3）中的至少一个磁体（4）位于夹爪下方，并且其中通过闭合夹爪（2）将工件居中并通过磁体（4）固定在该居中位置， 。 本发明还涉及一种卡盘（1），其包括设置在夹爪（2）下方的极块（7）中的磁体（4）。
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公开(公告)号：KR101731136B1
公开(公告)日：2017-04-27
申请号：KR1020127031833
申请日：2011-05-24
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00 , B23Q3/15 , C04B35/00
CPC分类号： H02N13/00 , B05D5/12 , B23Q3/152 , C04B37/005 , C04B37/008 , C04B2237/06 , C04B2237/062 , C04B2237/08 , C04B2237/083 , C04B2237/086 , C04B2237/341 , C04B2237/343 , C04B2237/365 , C04B2237/368 , C23F1/00 , H01L21/6833
摘要： 본발명의일 실시예에따라정전척을제공한다. 상기정전척은전극; 및전극의전압으로활성화되어전하를생성함으로써기판이정전척에정전기적으로클램핑되도록하고, 표면저항이약 10Ω/sq를초과하는전하제어층을포함하는표면층을포함한다.
摘要翻译： 根据本发明的实施例提供了一种静电吸盘。 静电吸盘包括电极; 并且包括具有大于约10Ω/ sq的表面电阻的电荷控制层的表面层，使得基板通过被电极的电压激活而被静电夹持到静电吸盘以产生电荷。
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公开(公告)号：KR101450025B1
公开(公告)日：2014-10-13
申请号：KR1020137001672
申请日：2011-08-11
申请人： 토토 가부시키가이샤
IPC分类号： H01L21/683 , B23Q3/15 , H02N13/00
CPC分类号： H02N13/00 , B23Q3/152 , H01L21/6833
摘要： 본 발명에 의한 정전 척은 피흡착물을 적재하는 측의 주면에 형성된 돌기부와 상기 돌기부의 주변에 형성된 평면부를 갖는 유전체 기판을 구비한 정전 척으로서, 상기 유전체 기판은 다결정 세라믹스 소결체로 형성되고, 레이저 현미경을 사용하여 구해진 상기 주면에 있어서의 간섭 무늬 점유 면적률이 1% 미만으로 된 것을 특징으로 한다.
파티클의 발생을 억제할 수 있는 정전 척 및 정전 척의 제조 방법을 제공할 수 있다.
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