公开(公告)号：KR101910974B1

公开(公告)日：2018-10-24

申请号：KR1020110134002

申请日：2011-12-13

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 양기연 ,  고웅 ,  김재관 ,  이두현 ,  이병규

IPC分类号： B29C33/42 ,  B29C59/02

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B29C59/022 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10S977/887

摘要： 임프린팅스탬프및 이를이용한나노임프린트방법이개시된다. 개시된임프린팅스탬프는제1기판; 상기제1기판상에형성된것으로, 전사하고자하는나노패턴이형성된하나이상의필드영역; 상기제1기판상에상기하나이상의필드영역중 어느하나에인접하여형성된것으로, 상기나노패턴보다큰 스케일의제1 더미패턴(dummy pattern)이형성된제1 더미패턴영역;을포함하며, 상기제1 더미패턴은상기하나이상의필드영역중 인접한필드영역에서상기제1 더미패턴영역을향하는제1방향으로뾰족한꼭지점을갖는다수의다각형배열을포함한다.

公开(公告)号：KR1020180101587A

公开(公告)日：2018-09-12

申请号：KR1020187024243

申请日：2017-01-06

申请人： 반도 카가쿠 가부시키가이샤

发明人： 하루시게나오히사 ,  하토리요헤이 ,  호소카와코이치 ,  이즈미히사시 ,  하타토모아키

IPC分类号： B29D29/10 ,  F16G1/28 ,  F16G5/06 ,  F16G5/20 ,  B29C65/00 ,  B29C59/04 ,  B29C59/02

CPC分类号： B29D29/10 ,  F16G1/00 ,  F16G1/28 ,  F16G5/06 ,  F16G5/20 ,  B29C59/022 ,  B29C59/046 ,  B29C66/83413 ,  B29C66/855

摘要： 표면층이될 표면시트(112’)와, 코어층이될 코어시트(111’)를준비하고, 코어시트(111’)에복수의돌조를형성하며, 복수의돌조를피복하도록표면시트(112’)를접합시켜압축층형성부(11’)를형성한다.

公开(公告)号：KR101880582B1

公开(公告)日：2018-07-20

申请号：KR1020167035942

申请日：2009-12-03

申请人： 리퀴디아 테크놀로지스 인코포레이티드

发明人： 에르모쉬킨,알렉산더 ,  쉬호르츠만,데렉 ,  스프라구,자콥

IPC分类号： H01L21/027 ,  B29C35/08 ,  B29C43/00 ,  B29C43/02 ,  B29C59/02 ,  G03F7/00 ,  B29C35/02 ,  B29C37/00 ,  B29C43/06 ,  G02F1/1333

CPC分类号： B29C59/026 ,  B29C35/0266 ,  B29C35/0805 ,  B29C35/0894 ,  B29C37/0053 ,  B29C43/003 ,  B29C43/021 ,  B29C43/06 ,  B29C59/022 ,  B29C2035/0827 ,  B29C2043/023 ,  B29C2043/025 ,  B29C2043/142 ,  B29C2043/144 ,  B29C2059/023 ,  B29C2791/001 ,  B29K2067/003 ,  B29K2105/0002 ,  B29K2871/00 ,  B29K2995/0098 ,  B29L2009/005 ,  B29L2031/104 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G02F1/13336 ,  G03F7/0002 ,  Y10T428/19 ,  Y10T428/192

摘要： 대면적패턴필름은제1 패턴영역; 제2 패턴영역; 및제1 패턴영역과제2 영역을접합하는이음매를포함하되, 이음매는약 20 마이크로미터미만의폭을갖는다. 패턴영역을타일링하는방법은미리정해진두께의경화성재료를놓는단계; 경화성재료의제1 부분을몰드와접촉시키는단계; 경화성재료의제1 부분을경화시키는단계; 경화성재료의경화된제1 부분으로부터몰드를제거하는단계; 몰드가경화성재료의경화된제1 부분의일부와도접촉하도록경화성재료의제2 부분을몰드와접촉시키는단계; 경화성재료의제2 부분을경화시키는단계; 및몰드를제거하여경화성재료의경화된제1 부분과경화성재료의경화된제2 부분사이에약 20 마이크로미터미만의크기를갖는이음매를생성하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR101879797B1

公开(公告)日：2018-07-18

申请号：KR1020167003408

申请日：2014-08-11

申请人： 미쯔비시 케미컬 주식회사

发明人： 샤카고오리신야 ,  오오카와마코토 ,  다카나시카즈야 ,  하라카츠미

IPC分类号： B29C33/38 ,  C25D11/04 ,  C25D11/16 ,  B24B21/00 ,  B24B55/02 ,  B24B55/03

CPC分类号： B29C33/3842 ,  B05D3/102 ,  B05D3/12 ,  B05D5/00 ,  B29C59/022 ,  B29C2059/023 ,  B29K2905/02 ,  C23C26/00 ,  C25D11/04 ,  C25D11/16

摘要： 원기둥형상의알루미늄기재의외주면이균일하게연마되고, 상기외주면을유효하게활용할수 있는원기둥형상나노임프린트용몰드의제조방법을제공한다. 원기둥형상의알루미늄기재 10의외주면 14 전체를연마체 26으로연마한후에, 알루미늄기재 10의외주면 14에산화피막을형성하는방법에있어서, 알루미늄기재 10의제1 단부 10a측과제2 단부 10b측에서연마체 26의적어도일부가밀려나오도록연마체 26을축방향으로이동시켜서연마하되, 연마체 26에서의알루미늄기재 10으로부터밀려나온부분을원기둥형상의제1 지지부재 18 및제2 지지부재 20 상에배치하고, 그들에의해지지한다.

公开(公告)号：KR101868748B1

公开(公告)日：2018-06-18

申请号：KR1020170090872

申请日：2017-07-18

申请人： (주)대원이엔지 ,  최원록

发明人： 최병인 ,  최원록

IPC分类号： B29C59/00 ,  B29C59/04 ,  B29C59/02 ,  B29D7/01 ,  B65H37/00

CPC分类号： B29C59/007 ,  B29C59/022 ,  B29C59/04 ,  B29D7/01 ,  B65H37/00 ,  B65H2301/5126 ,  B65H2701/1752

摘要： 본발명은다방향으로절개가용이한필름의제조장치에관한것으로, 필름제조장치에서, 감긴필름을풀어공급하도록설치된공급롤러를구비한공급부; 공급된필름의표면을가압하여절개패턴형성하도록설치된절개패턴형성롤러(230)를구비한절개패턴형성부;와, 절개패턴이형성된필름을감도록설치된회수롤러를구비한배출부;를포함하여이루어진다.

公开(公告)号：KR20180048367A

公开(公告)日：2018-05-10

申请号：KR20170142080

申请日：2017-10-30

IPC分类号： G03F7/00 ,  H01L21/027

CPC分类号： B29C43/58 ,  B29C43/021 ,  B29C59/022 ,  B29C2043/5808 ,  G03F7/0002

摘要： 최종분리점(LPOS) 결함을포함하는분리결함을최소화하는기판상의고체화패턴층으로부터의나노임프린트템플릿의분리를위한방법및 장치. 상기방법은, 템플릿및 기판에인가되는장력을생성하기위해서템플릿및 기판을서로에대해이동시키는단계; 상기템플릿및 상기기판에인가된장력을측정하는단계; 상기인가된장력의양을감소시키기위해서상기템플릿및 상기기판의후면측에인가될압력의양을결정하는단계; 상기템플릿및 상기기판의후면측에상기결정된양의압력을인가함으로써상기템플릿또는상기기판에인가된장력을감소시키는단계; 및그 후상기템플릿이상기고체화패턴층으로부터완전히분리될때까지상기단계를한 번이상반복하는단계를포함할수 있다. 상기장치는이러한방법을달성하도록구성될수 있다. 상기방법및 장치는예를들어템플릿복제프로세스에유리하게인가될수 있다.

公开(公告)号：KR1020180002246A

公开(公告)日：2018-01-08

申请号：KR1020160081486

申请日：2016-06-29

申请人： (주)아이에스엘

发明人： 이하영

IPC分类号： C03B35/20 ,  B29C59/02 ,  B29C59/00

CPC分类号： C03B35/20 ,  B29C59/002 ,  B29C59/005 ,  B29C59/022

摘要： 본발명은글라스또는글라스의일부에만수지재질의패턴을형성하는장치에관한것으로서, 보다상세하게진공압력을이용하여글라스를이동시키고복수의글라스에연속적으로패턴층을생성하는장치에관한것이다. 본발명은글라스의일부에만수지재질의패턴을형성하는장치를제공하는것을그 목적으로한다. 또한, 본발명은지속적으로공급되는복수의글라스를연속해서패턴성형및 세척, 더나아가건조까지하나의레일상에서구현하여신속하고대량생산이가능한장치를제공하는것을그 목적으로한다. 이를위하여본 발명은제1 레일을따라글라스를수평이동하여패턴주형부상으로이동시키는제1 글라스그립부, 상기제1 레일과직교하는제2 레일을따라이동하고패턴주형부상에수지를공급하는수지공급부, 및상단에패턴형성을위한요철형상의패턴부가형성된패턴주형부를포함하는글라스패턴층생성장치를제공한다. 본발명에따르면, 평면또는곡면글라스와같이글라스의형상과관계없이본 발명에따른글라스패턴층생성장치를통해서글라스의일부에패턴을형성할수 있어, 패턴이형성되지않는부분에서는글라스의투과율을높이면서도그외의디자인적인부분에서패턴으로심미적인효과를낼 수있는장점이있다.

公开(公告)号：KR101808474B1

公开(公告)日：2017-12-12

申请号：KR1020167017546

申请日：2013-10-03

申请人： 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤

发明人： 오다히로카즈 ,  나가이다카하루 ,  하라다사부로

IPC分类号： G03F7/00

CPC分类号： B29C59/002 ,  B29C59/022 ,  B29C59/026 ,  G03F7/0002

摘要： 잉크젯법에의해피전사기판에도포되는광경화성수지의휘발을억제하고, 전사시의수지의번짐을양호하게유지하고, 전사환경의청정함을유지하고, 전사에적합한특정한기체로전사환경을채울수 있는임프린트방법및 임프린트장치를제공한다. 요철의패턴이형성된템플릿을이용하여피전사기판상의광경화성수지에상기템플릿의패턴을임프린트하여전사하는임프린트방법으로서, 상기템플릿과상기광경화성수지가접촉하는공간부에, 임프린트를하고있지않은대기시에는송풍구로부터상기공간부에클린에어를보내오고, 임프린트시에는상기공간부의클린에어의유량을저감시키거나또는클린에어를보내오지않는것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR1020170129316A

公开(公告)日：2017-11-27

申请号：KR1020160059463

申请日：2016-05-16

申请人： (주)아모레퍼시픽

发明人： 정해원 ,  이오수

IPC分类号： B29C59/02 ,  A45D40/00 ,  B29L31/00

CPC分类号： B29C59/022 ,  A45D40/00 ,  A45D2040/0006 ,  A45D2200/1036 ,  B29C2059/023 ,  B29L2031/718

摘要： 본발명은양, 음각으로오픈셀과클로즈셀이함께형성된함침부재제조방법에관한것으로서, 더욱상세하게는제1클로즈셀성형부와제1오픈셀유지공간이형성된가열된금속몰드에함침부재를놓고펀치로가압하면제1클로즈셀성형부가함침부재에클로즈셀구조의음각부를형성하고, 제1오픈셀유지공간은함침부재에열을가하지않아함침부재가오픈셀로유지되어오픈셀구조의양각부가형성되게되는데이때, 함침부재의표면을제1오픈셀유지공간끝까지가압하지않음으로써, 제1오픈셀유지공간에서형성된양각부는열이가해지지않아오픈셀구조를그대로유지하며, 제1클로즈셀성형부에서녹은음각부는클로즈셀이되어양, 음각으로오픈셀과클로즈셀이함께형성된함침부재제조가가능하며, 상기함침부재에화장료를함침시켜사용할경우양, 음각부의오픈셀과클로즈셀에의해과다한화장료배출이되지않아적당량을배출시켜사용할수 있는양, 음각으로오픈셀과클로즈셀이함께형성된함침부재제조방법에관한것이다. 본발명의양, 음각으로오픈셀과클로즈셀이함께형성된함침부재제조방법은제1오픈셀유지공간(11)과제1클로즈셀성형부(12)가형성되어있는가열된금속몰드(10)에함침부재(20)가투입되는투입단계(S100)와, 상기함침부재(20)가펀치(30)에의해가압되는가압단계(S200)와, 상기가열된금속몰드(10)와펀치(30)에의해함침부재(20)의한쪽표면(21)에양각부(211)와음각부(212)가형성되는양음각성형단계(S300)와, 상기함침부재(20)의가압이해제되는가압해제단계(S400)와, 상기표면(21)에양,음각부(211,212)가형성된함침부재(20)를꺼내는취출단계(S500)로이루어진다.

公开(公告)号：KR1020170118146A

公开(公告)日：2017-10-24

申请号：KR1020177025772

申请日：2016-03-14

申请人： 후지필름 가부시키가이샤

发明人： 오오마츠타다시 ,  키타가와히로타카 ,  고토유이치로

IPC分类号： G03F7/11 ,  C08F299/00 ,  C08F220/18 ,  C08F232/04 ,  C08G61/02 ,  C09D7/12 ,  C09D201/00 ,  G03F7/00 ,  B29C59/02

CPC分类号： C09D133/14 ,  B29C59/022 ,  B29K2105/0014 ,  C08F8/00 ,  C08F299/00 ,  C08K5/19 ,  C08K5/34 ,  C08K5/50 ,  C09D5/002 ,  C09D7/40 ,  C09D7/63 ,  C09D201/00 ,  G03F7/0002 ,  G11B5/855 ,  H01L21/027 ,  G03F7/11 ,  B29C59/02 ,  C08F220/18 ,  C08F232/04 ,  C08G61/02

摘要： 기재와의밀착성이양호하고, 면형상이양호한하층막을형성할수 있는하층막형성용수지조성물, 임프린트형성용키트, 적층체, 패턴형성방법및 디바이스의제조방법을제공한다. 수지와, 구핵촉매와, 용제를함유하는하층막형성용수지조성물로서, 구핵촉매의함유량이, 하층막형성용수지조성물의고형분에대하여, 0.01~3질량%이다.

摘要翻译： 基板羊之间的粘附 - 嗬，提供一种表面形状是优选的用于下层树脂下层膜形成，可以形成膜组合物，用于形成印记，层压材料，图案形成方法和器件制造方法的试剂盒。 一种树脂和一种亲核催化剂，和用于形成含有溶剂，亲核催化剂的含量，相对于该树脂组合物形成，为0.01〜3质量％的下层膜的固体成分的下层膜的树脂组合物。