公开(公告)号：KR101880582B1

公开(公告)日：2018-07-20

申请号：KR1020167035942

申请日：2009-12-03

Applicant: 리퀴디아 테크놀로지스 인코포레이티드

Inventor： 에르모쉬킨,알렉산더 ,  쉬호르츠만,데렉 ,  스프라구,자콥

IPC: H01L21/027 ,  B29C35/08 ,  B29C43/00 ,  B29C43/02 ,  B29C59/02 ,  G03F7/00 ,  B29C35/02 ,  B29C37/00 ,  B29C43/06 ,  G02F1/1333

CPC classification number: B29C59/026 ,  B29C35/0266 ,  B29C35/0805 ,  B29C35/0894 ,  B29C37/0053 ,  B29C43/003 ,  B29C43/021 ,  B29C43/06 ,  B29C59/022 ,  B29C2035/0827 ,  B29C2043/023 ,  B29C2043/025 ,  B29C2043/142 ,  B29C2043/144 ,  B29C2059/023 ,  B29C2791/001 ,  B29K2067/003 ,  B29K2105/0002 ,  B29K2871/00 ,  B29K2995/0098 ,  B29L2009/005 ,  B29L2031/104 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G02F1/13336 ,  G03F7/0002 ,  Y10T428/19 ,  Y10T428/192

Abstract: 대면적패턴필름은제1 패턴영역; 제2 패턴영역; 및제1 패턴영역과제2 영역을접합하는이음매를포함하되, 이음매는약 20 마이크로미터미만의폭을갖는다. 패턴영역을타일링하는방법은미리정해진두께의경화성재료를놓는단계; 경화성재료의제1 부분을몰드와접촉시키는단계; 경화성재료의제1 부분을경화시키는단계; 경화성재료의경화된제1 부분으로부터몰드를제거하는단계; 몰드가경화성재료의경화된제1 부분의일부와도접촉하도록경화성재료의제2 부분을몰드와접촉시키는단계; 경화성재료의제2 부분을경화시키는단계; 및몰드를제거하여경화성재료의경화된제1 부분과경화성재료의경화된제2 부분사이에약 20 마이크로미터미만의크기를갖는이음매를생성하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR101879797B1

公开(公告)日：2018-07-18

申请号：KR1020167003408

申请日：2014-08-11

Applicant: 미쯔비시 케미컬 주식회사

Inventor： 샤카고오리신야 ,  오오카와마코토 ,  다카나시카즈야 ,  하라카츠미

IPC: B29C33/38 ,  C25D11/04 ,  C25D11/16 ,  B24B21/00 ,  B24B55/02 ,  B24B55/03

CPC classification number: B29C33/3842 ,  B05D3/102 ,  B05D3/12 ,  B05D5/00 ,  B29C59/022 ,  B29C2059/023 ,  B29K2905/02 ,  C23C26/00 ,  C25D11/04 ,  C25D11/16

Abstract: 원기둥형상의알루미늄기재의외주면이균일하게연마되고, 상기외주면을유효하게활용할수 있는원기둥형상나노임프린트용몰드의제조방법을제공한다. 원기둥형상의알루미늄기재 10의외주면 14 전체를연마체 26으로연마한후에, 알루미늄기재 10의외주면 14에산화피막을형성하는방법에있어서, 알루미늄기재 10의제1 단부 10a측과제2 단부 10b측에서연마체 26의적어도일부가밀려나오도록연마체 26을축방향으로이동시켜서연마하되, 연마체 26에서의알루미늄기재 10으로부터밀려나온부분을원기둥형상의제1 지지부재 18 및제2 지지부재 20 상에배치하고, 그들에의해지지한다.

公开(公告)号：KR101848863B1

公开(公告)日：2018-04-13

申请号：KR1020137003988

申请日：2011-08-03

Applicant: 소켄 케미칼 앤드 엔지니어링 캄파니, 리미티드

Inventor： 우에하라사토시 ,  미자와타카히데

IPC: B29C33/40 ,  B29C33/58 ,  B29C59/02 ,  H01L21/027

CPC classification number: B29C59/002 ,  B29C33/40 ,  B29C33/424 ,  B29C33/62 ,  B29C43/003 ,  B29C43/08 ,  B29C43/085 ,  B29C59/026 ,  B29C59/046 ,  B29C2043/023 ,  B29C2043/025 ,  B29C2059/023 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  B82Y99/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 전사결함이없고, 임프린트하는수지와의박리성이우수하며, 또임프린트에의해이형제의탈락이생기지않는수지제몰드를제공하는것을과제로한다. 본발명의수지제몰드는요철패턴이표면에형성된수지층과, 이수지층의적어도요철패턴의표면상에균일한두께로형성된이형제를함유하는박리층을가지는수지제몰드로서, 상기수지층은용매가용성수지, 및상기이형제와결합가능한치환기를가짐과아울러상기용매가용성수지와상용성을가지는치환기를가지고, 또한용매가용성수지에대한블리드성을가지는첨가제를포함하고, 상기첨가제는상기수지층표면근방에편재하고, 상기첨가제의이형제와결합가능한기가상기이형제와축합하여상기수지층과박리층을접합하고있는것을특징으로한다.

Abstract translation: 本发明的一个目的是提供一种树脂模具，该树脂模具没有转印缺陷并且能够从树脂上剥离并被压印，并且不会因压印而脱落。 本发明的树脂模制为具有包含该哥至少与所述树脂层的凹凸图案表面上具有均匀的厚度形成的剥离层的树脂模具，形成在表面浮雕图案yisuji层，所述树脂层是 溶剂可溶的树脂，和sanggiyi和具有可能的和兄弟以及有具有溶剂可溶性树脂和相容的取代基，还包括具有渗出性的溶剂可溶的树脂添加剂，其中所述添加剂是在树脂层的一个表面上的耦合取代基 并且能够与添加剂的同胞结合的组与树脂结合以结合树脂层和释放层。

公开(公告)号：KR101836231B1

公开(公告)日：2018-03-08

申请号：KR1020160109920

申请日：2016-08-29

Applicant: 하이맥스 테크놀로지스 리미티드

Inventor： 친-더리 ,  한-이쿠 ,  주-핀차이

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/30 ,  G03F7/20 ,  G03F7/16

CPC classification number: B29D11/00865 ,  B29C31/008 ,  B29C33/306 ,  B29C35/0805 ,  B29C59/026 ,  B29C59/046 ,  B29C2035/0827 ,  B29C2037/90 ,  B29C2059/023 ,  B29D11/00769 ,  B29D11/00951 ,  B29K2105/24 ,  B29K2105/243 ,  B29L2011/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 임프린팅장치는, 제 1 컨베이어유닛, 가요성임프린팅주형필름(mold film) 및구동롤러세트를포함한다. 제 1 컨베이어유닛은임프린팅장치의작업영역으로작업물을전달하도록적응된다. 가요성임프린팅주형필름은임프린팅세그먼트들을갖는다. 임프린팅세그먼트들중 적어도하나는작업영역내에위치된다. 작업물은대응하는임프린팅세그먼트를통하여작업영역내에서임프린트되도록적응된다. 가요성임프린팅주형필름은부분적으로구동롤러세트에감기고, 작업영역내에위치된임프린팅세그먼트는구동롤러세트로부터펼쳐지고, 구동롤러세트는가요성의임프린팅주형필름을구동시키도록적응되어서, 구동롤러세트에감긴임프린팅세그먼트들중 적어도다른하나가구동롤러세트로부터펼쳐져서작업영역으로이동된다. 그외에, 임프린팅방법이또한제공된다.

公开(公告)号：KR1020170133501A

公开(公告)日：2017-12-05

申请号：KR1020177032065

申请日：2016-03-07

Applicant: 캐논 가부시끼가이샤

Inventor： 데라오츠토무

IPC: G03F7/00 ,  B29C59/02 ,  B29C37/00

CPC classification number: B29C59/002 ,  B29C59/02 ,  B29C2037/90 ,  B29C2037/903 ,  B29C2037/906 ,  B29C2059/023 ,  G03F7/0002

Abstract: 본발명은기판상의임프린트재에몰드를사용해서패턴을형성하는임프린트처리를행하는임프린트장치를제공하며, 상기장치는기판을촬상해서화상을취득하도록구성된촬상유닛, 및몰드와기판사이에존재하는이물질을검출하는검출처리를행하도록구성된처리유닛을포함하고, 처리유닛은기준화상과, 몰드와기판상의임프린트재가서로접촉한상태에서상기촬상유닛에의해취득된화상을비교함으로써검출처리를행하며, 화상이기판외부영역을포함하는경우, 기판외부영역은검출처리의대상으로부터제외된다.

Abstract translation: 在基板上的压印材料使用模具本发明提供了一种压印设备执行压印处理，以形成图案，所述装置包括图像拾取单元，以及在模具与基片之间存在的异物被配置成通过感测基板获取图像 通过在配置成执行检测处理的处理单元由所述图像拾取单元获得的图像进行比较来执行的检测处理，并且该处理单元彼此接触的材料压印在基准图像上，并在模具和用于检测所述基板hansangtae，图像 包括区域外的衬底，所述衬底区域外时，它被排除在检测处理的目标。

公开(公告)号：KR1020170129316A

公开(公告)日：2017-11-27

申请号：KR1020160059463

申请日：2016-05-16

Applicant: (주)아모레퍼시픽

Inventor： 정해원 ,  이오수

IPC: B29C59/02 ,  A45D40/00 ,  B29L31/00

CPC classification number: B29C59/022 ,  A45D40/00 ,  A45D2040/0006 ,  A45D2200/1036 ,  B29C2059/023 ,  B29L2031/718

Abstract: 본발명은양, 음각으로오픈셀과클로즈셀이함께형성된함침부재제조방법에관한것으로서, 더욱상세하게는제1클로즈셀성형부와제1오픈셀유지공간이형성된가열된금속몰드에함침부재를놓고펀치로가압하면제1클로즈셀성형부가함침부재에클로즈셀구조의음각부를형성하고, 제1오픈셀유지공간은함침부재에열을가하지않아함침부재가오픈셀로유지되어오픈셀구조의양각부가형성되게되는데이때, 함침부재의표면을제1오픈셀유지공간끝까지가압하지않음으로써, 제1오픈셀유지공간에서형성된양각부는열이가해지지않아오픈셀구조를그대로유지하며, 제1클로즈셀성형부에서녹은음각부는클로즈셀이되어양, 음각으로오픈셀과클로즈셀이함께형성된함침부재제조가가능하며, 상기함침부재에화장료를함침시켜사용할경우양, 음각부의오픈셀과클로즈셀에의해과다한화장료배출이되지않아적당량을배출시켜사용할수 있는양, 음각으로오픈셀과클로즈셀이함께형성된함침부재제조방법에관한것이다. 본발명의양, 음각으로오픈셀과클로즈셀이함께형성된함침부재제조방법은제1오픈셀유지공간(11)과제1클로즈셀성형부(12)가형성되어있는가열된금속몰드(10)에함침부재(20)가투입되는투입단계(S100)와, 상기함침부재(20)가펀치(30)에의해가압되는가압단계(S200)와, 상기가열된금속몰드(10)와펀치(30)에의해함침부재(20)의한쪽표면(21)에양각부(211)와음각부(212)가형성되는양음각성형단계(S300)와, 상기함침부재(20)의가압이해제되는가압해제단계(S400)와, 상기표면(21)에양,음각부(211,212)가형성된함침부재(20)를꺼내는취출단계(S500)로이루어진다.

公开(公告)号：KR1020170118699A

公开(公告)日：2017-10-25

申请号：KR1020177019126

申请日：2015-12-09

Applicant: 더 차레스 스타크 드레이퍼 래보레이토리, 인코포레이티드

Inventor： 카터데이비드제이. ,  스리람티루넬벨리에스. ,  쿠마르파르산트 ,  모리스클레이턴 ,  맥팔랜드윌리엄더블유. ,  쿡유진에이치. ,  르블랑존 ,  김벨알라

IPC: B29C33/42 ,  B29C39/10 ,  B29C33/38 ,  A41D19/015 ,  B29C37/00 ,  B29C39/02 ,  B29C45/37 ,  B81C99/00 ,  B29C59/02

CPC classification number: A41D19/01564 ,  B29C33/3842 ,  B29C33/424 ,  B29C33/58 ,  B29C37/0053 ,  B29C39/026 ,  B29C39/10 ,  B29C39/26 ,  B29C45/372 ,  B29C2059/023 ,  B29D99/0067 ,  B29K2075/00 ,  B29K2105/0097 ,  B29K2863/00 ,  B29K2891/00 ,  B29L2031/4864

Abstract: 마이크로스케일구조체를캐스팅하는몰드가제 1 깊이를갖는제 1 캐비티를포함하는상면을포함한다. 마이크로스케일구조체의어레이에대한네가티브패턴이상기제 1 캐비티의표면에규정된다. 상기몰드는상기마이크로스케일구조체의어레이에대한네가티브패턴외부의캐비티에규정된제 2 깊이를갖는적어도하나의제 2 캐비티를포함한다. 상기적어도하나의제 2 캐비티는상기마이크로스케일구조체의스탠드오프에대한네가티브패턴을규정한다. 패브릭고정프레임이상기제 1 캐피티에배치된다.

Abstract translation: 铸造微型结构的模具包括顶面，该顶面包括具有第一深度的第一腔体。 微型结构阵列的负模式被限定在衬底1腔体的表面上。 所述模具包括至少一个第二腔体，所述第二腔体具有第二深度，所述第二深度限定在用于微米级结构阵列的负图案外部的腔体中。 该至少一个第二腔体限定用于微型结构的支架的负图案。 布料固定框架异常。

公开(公告)号：KR1020170034879A

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：KR1020170036341

申请日：2017-03-22

Applicant: 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 ,  다우 글로벌 테크놀로지스 엘엘씨

Inventor： 챙시-웨이 ,  박종근 ,  트레포나스3세피터 ,  크레이머존더블유. ,  보겔에린비. ,  허스태드필립디.

IPC: C08G77/442 ,  C08G85/00 ,  C08F299/08 ,  C08F297/00 ,  C08J3/00 ,  B05D3/02 ,  B29C71/02

CPC classification number: C08G77/442 ,  B29C59/14 ,  B29C71/0009 ,  B29C71/02 ,  B29C2059/023 ,  B29C2071/022 ,  B81C1/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 방향족고리상에적어도하나의알킬치환을갖는비닐방향족모노머로부터유도된제1 블록; 및실록산모노머로부터유도된제2 블록;을포함하며, 여기서, 상기제1 블록과제2 블록사이의상호작용을측정한카이파라미터가 200℃의온도에서 0.03 내지 0.18인, 블록코폴리머가개시된다. 비닐방향족모노머를중합하여제1 블록을형성하는단계; 및상기제1 블록상에제2 블록을중합하여블록코폴리머를형성하는단계;를포함하며, 여기서, 상기제2 블록은실록산모노머를중합하는것에의해유도되며; 상기블록코폴리머는 200℃의온도에서 0.03 내지 0.18의카이파라미터를갖고; 상기카이파라미터는코폴리머의상기제1 블록과제2 블록사이의상호작용을측정한것인, 방법이개시된다.

Abstract translation: 衍生自在芳环上具有至少一个烷基取代基的乙烯基芳族单体的第一嵌段; 和衍生自硅氧烷单体的第二嵌段，其中在200℃的温度下测量第一嵌段任务2嵌段之间的相互作用的Kai参数为0.03至0.18。 结合乙烯基芳族单体形成第一嵌段; 并且通过组合第一嵌段上的第二嵌段形成嵌段共聚物，其中第二嵌段通过聚合硅氧烷单体得到; 嵌段共聚物在200℃的温度下具有0.03至0.18的K ai参数; 其中，Kai参数测量第一块任务和共聚物的两个嵌段之间的相互作用。

公开(公告)号：KR1020170029623A

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：KR1020177004495

申请日：2015-10-28

Applicant: 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤

Inventor： 무라모또유따까 ,  기쿠치마사나오

IPC: B29C59/04 ,  B32B3/26 ,  B29D7/01

CPC classification number: B29D7/01 ,  B29C35/10 ,  B29C59/04 ,  B29C59/046 ,  B29C2035/0827 ,  B29C2059/023 ,  B29D11/00596 ,  B29D11/00788 ,  B29K2105/16 ,  B32B3/28 ,  G02B27/2292 ,  H01L23/49816 ,  B32B3/26

Abstract: [과제] 필러충전필름, 매엽필름, 적층필름, 첩합체, 및필러충전필름의제조방법을제공하는것에있다. [해결수단] 상기과제를해결하기위해서본 발명의어느관점에의하면, 필름본체와, 필름본체의표면에형성된복수의오목부와, 오목부의각각에충전된필러를구비하고, 오목부의개구면의직경은적어도가시광파장보다크고, 오목부의배열패턴은필름본체의길이방향을따른주기성을갖고, 필름본체의일방의단부에있어서의필러의충전율과, 필름본체의다른부분에있어서의필러의충전율의차는 0.5% 미만인, 필러충전필름이제공된다.

Abstract translation: 要解决的问题：提供填充剂填充膜，片状膜，层压膜，接合体和填充填充膜的制造方法。解决方案：提供填充物填充膜，其包括膜体 ，形成在膜体表面上的多个凹部和填充在每个凹部中的填料。 凹部中的开口表面的直径至少大于可见光的波长，并且凹部的布置图案沿着胶片主体的长度方向具有周期性，并且填充物在一个方向上的填充率之间的差异 胶片体的其他部分的填充物的填充率小于0.5％。选择的图：图1

公开(公告)号：KR1020170016826A

公开(公告)日：2017-02-14

申请号：KR1020167031838

申请日：2015-06-08

Applicant: 소켄 케미칼 앤드 엔지니어링 캄파니, 리미티드

Inventor： 미즈카미유타카

IPC: B01D59/04 ,  B29C33/38 ,  G03F7/00 ,  B29C43/02

CPC classification number: B29C59/04 ,  B29C33/38 ,  B29C59/002 ,  B29C2059/023 ,  B29L2007/008 ,  B32B37/0053 ,  B32B38/06 ,  B01D59/04 ,  B29C2043/025 ,  G03F7/0002

Abstract: 본발명은, 롤전사방식의임프린트장치에있어서사용되는롤체에, 수지제몰드를, 간편한방법으로정확한위치에고정시키고, 수지제몰드와피전사체수지의위치관계의조절을용이하게한다. 본발명의임프린트용전사롤체는, 표면에미세한요철패턴이형성된수지제몰드가첩부된수지필름기재를롤체본체의둘레면에권회하는임프린트용전사롤체로서, 상기롤체본체를 2 개로분할함으로써상기롤체본체를일방의분할체와타방의분할체에의해구성함과함께, 이들제 1 분할체와제 2 분할체가접합되는서로의분할면사이에상기수지필름기재의일단측을협지시켜, 상기제 1 분할체와상기제 2 분할체를일체화시킨후에, 상기수지필름기재가상기롤체본체의둘레방향으로권회되는것을특징으로한다.

Abstract translation: 本发明通过简单的方法将树脂模具固定在用于辊转印系统的压印装置的辊上的精确位置，从而有助于控制树脂模具与转印对象树脂的对准。 本发明的压印转印辊是一种压印转印辊，其包括在其周边表面上卷绕有树脂膜基材的辊体，在该树脂膜基材上形成具有形成在其上的微细凹凸图案的树脂模具 表面已经被固定，其中辊体被分成两部分，由一个分割体和另一个分隔体构成，并且在这些第一分割体的分开的面和第二分割体之间被接合在一起，树脂薄膜的一端 将基板夹在中间以使第一分割体和第二分割体整合，然后在辊体的圆周方向上卷绕树脂膜基板。