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公开(公告)号:KR101828200B1
公开(公告)日:2018-02-09
申请号:KR1020167024279
申请日:2015-02-09
Applicant: 가부시키가이샤 고베 세이코쇼
CPC classification number: F04C29/0071 , F01C21/10 , F04C18/16 , F04C23/001 , F04C29/005 , F04C29/0085 , F04C2240/30 , F04C2240/40 , F04C2240/60 , F04C2240/70
Abstract: 스크루압축기는, 압축기본체(11a, 11b)와, 압축기본체(11a, 11b)의측방에배치된모터(12)와, 압축기본체(11a, 11b)에연결되고, 모터(12)의구동력을스크루로터(15A)에전달하는기어박스(13)와, 기어박스(13)와모터(12)를접속하고, 수평축 H를갖는관 형상의접속케이싱(14)을구비한다. 접속케이싱(14)에는, 접속케이싱(14) 내에수용된커플링(17)의메인터넌스를행하기위한수평방향작업구멍(27)이설치되어있다. 접속케이싱(14)에는상하방향으로연장되는리브(28)가설치되어있다. 비용의증가를억제하면서, 접속케이싱(14)의강성저하를회피하여, 메인터넌스성을향상시킬수 있다.
Abstract translation: 螺杆压缩机与压缩机主体11a,11b,配置在压缩机主体11a,11b侧的电动机12以及压缩机主体11a,11b连接, 以及连接齿轮箱13和马达12并且具有水平轴线H的管状连接壳体14。 连接壳体14设有用于维护容纳在连接壳体14中的联接器17的水平工作孔27。 连接壳体(14)设置有沿竖直方向延伸的肋(28)。 可以在抑制成本增加的同时避免连接壳体14的刚性劣化,并且可以提高维护性能。
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公开(公告)号:KR1020170102256A
公开(公告)日:2017-09-08
申请号:KR1020177018523
申请日:2016-01-06
Applicant: 에드워즈 리미티드
IPC: F04C25/02
CPC classification number: F04C25/02 , C23C16/4405 , C23C16/4412 , F04C23/001 , F04C2220/30 , F16K15/00 , H01L21/205 , H01L21/67155
Abstract: 반도체제조분야에있어서, 특히실리콘칩의제조와관련하여, 관련된펌핑장치들의효율을개선할필요가있다. 적어도제 1 및제 2 진공공정챔버를배기하기위한진공펌핑장치로서, 상기진공펌핑장치는, 적어도제 1 및제 2 진공펌프로서, 상기제 1 진공펌프의유입구는상기제 1 공정챔버의배출구와유체연통되고, 상기제 2 진공펌프의유입구는상기제 2 공정챔버의배출구와유체연통되는, 상기적어도제 1 및제 2 진공펌프; 적어도제 1 및제 2 밸브모듈로서, 상기밸브모듈들은유입구, 제 1 배출구및 제 2 배출구를포함하는적어도삼방향의밸브모듈이고, 상기제 1 밸브모듈의유입구는상기제 1 진공펌프의배출구와유체연통되고, 상기제 2 밸브장치의유입구는상기제 2 진공펌프의배출구와유체연통되는, 상기적어도제 1 및제 2 밸브모듈; 및적어도제 1 및제 2 공통펌핑라인으로서, 상기제 1 공통펌핑라인은상기제 1 및제 2 밸브모듈모두의제 1 배출구들과유체연통되고, 상기제 2 공통펌핑라인은상기제 1 및제 2 밸브모듈모두의제 2 배출구들과유체연통되는, 상기적어도제 1 및제 2 공통펌핑라인을포함하고, 상기제 1 및제 2 진공펌프는부 진공펌프이고, 상기제 1 및제 2 공통펌핑라인각각은, 상기제 1 및/또는제 2 밸브모듈을거쳐서유체연통될때에상기적어도제 1 및제 2 진공펌프각각에충분한펌핑용량을제공하기위해적어도각각의제 1 및제 2 주진공펌프를포함하고, 상기공통펌핑라인들중 적어도하나는저감장치와유체연통되는진공펌핑장치가제공된다.
Abstract translation: 在半导体制造领域中需要提高相关泵送装置的效率,特别是与制造硅片相关的。 1.一种用于抽空至少第一和第二真空处理室的真空抽吸装置,所述真空抽吸装置至少包括第一和第二真空泵,其中第一真空泵的入口与第一处理室的出口流体连通 第二真空泵的入口与第二处理室的出口流体连通; 至少第一和第二阀模块,其中阀模块是至少三通阀模块,其包括入口,第一出口和第二出口,第一阀模块的入口连接到第一真空泵的出口, 并且其中第二阀装置的入口与第二真空泵的出口流体连通; 并且至少第一和第二公共泵送管线,其中第一公共泵送管线与第一和第二阀门模块两者的第一出口流体连通,并且其中第二公共泵送管线连接到第一和第二阀门模块 其中第一和第二公共泵送管线与所有第一和第二公共泵送管线的第二出口流体连通,其中第一和第二真空泵是真空真空泵, 至少各自的第一和第二主真空泵,用于当经由所述第一和第二阀模块流体连通时,为所述至少第一和第二真空泵中的每一个提供足够的泵送能力, 其中至少一个与消除装置流体连通。
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公开(公告)号:KR101735978B1
公开(公告)日:2017-05-15
申请号:KR1020157017701
申请日:2013-10-30
Applicant: 도시바 캐리어 가부시키가이샤
IPC: F04C18/356 , F04C23/00 , F01C21/08 , F25B1/04
CPC classification number: F04C18/3568 , F01C21/0845 , F04C18/3562 , F04C18/3564 , F04C23/001 , F04C23/008 , F25B1/04 , F25B31/00
Abstract: 일실시형태에따른회전식압축기의압축기구부는, 실린더실을갖는실린더와, 상기실린더실내에수용되는롤러와, 상기롤러에맞닿아상기실린더실내를압축측과흡입측으로구획하는제 1, 제 2 베인과, 상기제 1, 제 2 베인을상기롤러를향해부세하는 1개의부세부재를구비한다. 상기제 1 베인의후단부의상기회전축의축방향에따른양단부측에, 상기축방향의치수가동일한제 1 베인측장착부가마련된다. 상기제 2 베인의후단부의상기회전축의축방향에따른양단부측에, 상기축방향의치수가동일한제 2 베인측장착부가마련되며, 상기제 1, 제 2 베인이상기제 1, 제 2 베인측장착부를거쳐서상기부세부재에장착된다.
Abstract translation: 在根据一个实施例,并作为具有气缸室筒,其被容纳在汽缸内部的滚子的旋转式压缩机的压缩单元,其抵靠限定所述吸力侧的第一和第二叶片的滚子和所述气缸内部的压缩侧 以及一个用于将第一叶片和第二叶片朝向辊偏压的偏压部件。 在第一叶片的后端的旋转轴线的轴向方向上的两端,以便沿轴向方向上的要求尺寸设置有装备有相同的第一侧的附加叶片。 附接到所述第二叶片的后端的旋转轴线的轴向方向上的两端部,其中,所述轴和所述方向的提供额外的安装相同的第二叶片侧上的尺寸,所述第一和第二叶片至少一个基座1,一个第二叶片侧 并通过偏置构件安装到偏置构件。
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公开(公告)号:KR101696211B1
公开(公告)日:2017-01-13
申请号:KR1020147028950
申请日:2013-09-30
Applicant: 광동 메이지 컴프레셔 컴퍼니 리미티드
IPC: F04C18/356 , F04C25/00 , F04C28/24
CPC classification number: F04C29/124 , F04C18/3564 , F04C18/3568 , F04C23/001 , F04C23/008 , F04C29/128 , F04C2250/101
Abstract: 본발명은냉매충전형회전압축기에관한것으로서, 하우징, 압축기구, 분사관과분사밸브를포함한다. 압축기구는실린더, 주베어링, 부베어링, 크랭크축, 피스톤과슬라이드베인을포함하고, 실린더의실린더챔버의내벽에는충전구가설치되고, 실린더에는충전홀을구비하는충전통로가형성된다. 분사밸브는실린더챔버내부의압력이충전홀내부의압력보다큰 경우닫힘상태가되어충전홀과충전구를격리시킨다. 분사밸브는실린더챔버내부의압력이충전홀내부의압력보다작은경우열림상태가되어충전홀과충전구를도통시킨다. 분사밸브가닫힘상태일때 분사밸브와충전구사이에압축기체가유입가능한공극을분사밸브에의한틈새용적이라고하며, 분사밸브에의한틈새용적과실린더의흡기용적사이의비율값의범위는 0.3%~1.5%이다.
Abstract translation: 制冷剂填充旋转压缩机包括壳体,压缩机构,注射管和喷射阀组件。 压缩机构包括气缸,主轴承,辅助轴承,曲轴,活塞和滑动叶片。 气缸的气缸室的内壁形成有填充口,并且气缸设置有具有填充孔的填充通道。 当气缸室内的压力高于填充孔中的压力时,喷射阀组件处于关闭状态,从而将填充孔与填充口分开,并且当内部的压力为内部时,喷射阀组件处于打开状态 气缸室比填充孔中的气缸室低,以便使填充孔与填充口连通,当注射阀组件处于关闭状态时,该填充口在喷射阀组件和填充口之间的空间中被压缩 存在气体被称为由喷射阀组件形成的间隙体积,并且由喷射阀组件形成的间隙容积与气缸的储备容积之间的比率为0.3%至1.5%。
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公开(公告)号:KR1020160102151A
公开(公告)日:2016-08-29
申请号:KR1020167005749
申请日:2014-12-05
Applicant: 미우라고교 가부시키카이샤
CPC classification number: F04C18/0223 , F04C23/001 , F04C27/005 , F04C29/0057 , F04C2230/70
Abstract: 선회스크롤(3)은기판부(12)의양면에소용돌이형상의선회랩(5)이형성되어있다. 하우징(2)은선회랩(5)이선회가능하게수용되는수용구멍(6)을구비하고, 그수용구멍(6)보다외측에있어서선회스크롤(3)의외주부를둘레방향 3개소이상에서크랭크축(18)에의해선회가능하게유지한다. 고정스크롤(4)은단판(20)의편면에소용돌이형상의고정랩(7)이형성되어있다. 고정랩(7)을선회랩(5)과맞물려서선회스크롤(3)을끼우도록하우징(2)에고정스크롤(4)이착탈가능하게설치되어있다.
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公开(公告)号:KR1020160072764A
公开(公告)日:2016-06-23
申请号:KR1020150092654
申请日:2015-06-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: F04C18/356 , F04C29/00
CPC classification number: F04C23/003 , F04C18/356 , F04C18/3564 , F04C23/001 , F04C23/008 , F04C23/02 , F04C29/0021 , F04C29/0057 , F04C2210/26 , F04C2240/40 , F04C2240/60 , F04C2240/807 , F04C2270/12 , F04C2270/13
Abstract: 전체적인동적밸런스를잡아주고, 고속운전시에도저진동저소음화할수 있으며, 복수개의실린더각각의내부에마련되어냉매를압축시키는작동실을서로연통시키는연통로를설치하여효율을향상시킬수 있는회전식압축기를제공한다. 회전식압축기는하우징, 상기하우징내부에마련되어동력을발생시키며, 고정자와로터를포함하는구동모터및 상기구동모터로부터동력을전달받아냉매를압축시키며, 내부에상기냉매를압축시키는작동실이마련되는복수개의실린더를포함하는압축부를포함하며, 상기복수개의실린더각각에마련되는상기작동실은서로다른용적을갖도록마련되며, 동적균형을유지하기위해마련되는밸런서가상기로터의하부에만마련된다.
Abstract translation: 提供一种能够保持整体动平衡的旋转式压缩机,即使在高速运转的情况下也能够降低振动和噪音,并且通过安装连接形成在多个气缸内的操作室的连接通道并且压缩 冷却液。 旋转式压缩机包括:壳体; 形成在所述壳体内的驱动电动机,产生动力并且包括定子和转子; 以及压缩单元,通过从包括多个气缸的驱动电动机接收动力来压缩冷却剂,其中形成压缩冷却剂的操作室。 形成在每个多个气缸中的操作室形成为具有不同的体积。 保持动平衡的平衡器仅在转子的下侧形成。
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公开(公告)号:KR1020160029453A
公开(公告)日:2016-03-15
申请号:KR1020140119019
申请日:2014-09-05
Inventor: 김데이비드
CPC classification number: F04C23/001 , F04C25/02 , F04C29/124 , F04C2210/22 , F04C2240/40 , Y10S415/00 , Y10S417/00
Abstract: 본발명은고진공영역의진공도를얻을수 있고, 낮은압력하에서도기존펌프에비해배기속도가크며, 2단의실린더구조만으로고진공의달성이가능하여배기되는공정가스의경로가복잡하지않고또 길지않아펌프내를지나는가스의운반속도를최대로높일수 있는 2단형건식진공펌프를제공하는데 있다. 이를위해본 발명의 2단형건식진공펌프는내부수용공간을가지고있으며, 일측에는흡입구가구비되고, 타측에는배기구가구비되어있는펌프몸체실린더; 상기펌프몸체실린더의내부수용공간을형성하는 1단실린더와 2단실린더; 상기 1단실린더와 2단실린더를관통하여나란히설치되는 2개의펌프축, 상기 1단실린더를통과하는펌프축에서로맞물려동기하여반대방향으로회전하도록설치되는한 쌍의루츠형로터; 상기 2단실린더를통과하는펌프축에서로맞물려동기하여반대방향으로회전하도록설치되는한 쌍의스크류형로터; 상기어느한 펌프축을회전구동하기위한모터; 상기 2개의펌프축이연동하여회전하도록상기펌프축 상에서로맞물려설치되는한 쌍의기어; 상기흡입구와상기 1단실린더를연결하는 1단흡입통로; 상기 1단실린더와 2단실린더를연결하는배기이송통로; 상기배기이송통로와상기배기구를연결하는 1단배기통로; 상기 2단실린더의후단과상기배기구를연결하는 2단배기통로; 상기 1단배기통로를통해배기되는가스압력에의해개폐되는 1단배기밸브; 상기 2단배기통로를통해배기되는가스압력에의해개폐되는 2단배기밸브; 적어도상기 2단실린더와상기펌프축의베어링지지부를냉각하도록냉각수가순환하는냉각수재킷;을포함하여구성되어있다.
Abstract translation: 本发明提供一种二级型干式真空泵,它能够获得高度真空区域的真空度,其中与常规泵在低压下相比排气速度更大,并且达到高度 只有两级气缸结构才能进行真空,用于通气过程气体的路线不复杂和长,从而使通过泵内部的气体的运输速度最大化。 为了实现这一点,根据本发明,两级式干式真空泵包括:泵体缸体; 第一级缸和第二级缸; 一对根型转子; 一对螺杆式转子; 电机 一对齿轮; 第一级吸入路径; 排气传送路径; 第一级排气通道; 第二级排气通道; 第一级排气阀; 第二级排气阀; 和冷却水套。
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公开(公告)号:KR1020150081142A
公开(公告)日:2015-07-13
申请号:KR1020140000822
申请日:2014-01-03
Applicant: 엘지전자 주식회사
CPC classification number: F04C18/356 , F04C23/001 , F04C23/008 , F04C29/12 , F04C2210/26 , F04C2240/40 , Y10S415/00 , Y10S417/902
Abstract: 본발명은로터리압축기에관한것이다. 본발명의실시예에따른로터리압축기에는, 내부공간을가지는케이싱; 상기케이스의내부공간에제공되며, 구동력을발생시키는모터; 상기모터에결합되어회전하는회전축; 상기회전축의회전에따라편심회전하는롤링피스톤; 상기롤링피스톤이수용되는압축공간부를가지는실린더; 상기케이싱에결합되며, 냉매를흡입하는흡입공을가지는냉매흡입부; 및상기냉매흡입부에연통하며, 상기냉매흡입부에서흡입된냉매를상기실린더의압축공간부로가이드하는본체부가포함되며, 상기냉매흡입부의일방향높이는, 상기본체부의일방향높이보다크게형성되는것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及旋转式压缩机。 根据本发明实施例的旋转式压缩机包括具有内部空间的壳体; 形成在壳体的内部空间中并产生驱动力的电动机; 旋转轴在与电机接合的同时旋转; 滚动活塞根据旋转轴的旋转而偏心旋转; 具有压缩空间单元的圆柱体,其中接收所述滚动活塞; 连接到壳体并具有吸入冷却剂的吸入孔的冷却剂吸入单元; 以及与冷却剂吸引单元连接并将由冷却剂吸引单元吸引的冷却剂引导到气缸的压缩空间单元的主体单元。 本发明的特征在于,冷却剂吸入单元的一侧的高度大于主体单元的一侧的高度。
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公开(公告)号:KR1020150023901A
公开(公告)日:2015-03-05
申请号:KR1020157002260
申请日:2013-06-12
Applicant: 스털링 인더스트리 컨설트 게엠베하
IPC: F04C18/16
CPC classification number: F04C23/003 , F04C18/084 , F04C18/086 , F04C18/16 , F04C23/001 , F04C29/12 , F04C2220/12 , F04C2230/605 , F04C2240/402 , F04C2250/101
Abstract: 본 발명은 두 개의 스크류(screw)를 가지는 스크류 펌프에 관한 것으로, 상기 스크류 펌프에서, 각 스크류(14)는 제1 나사산(19) 및 제2 나사산(19)을 포함한다. 상기 나사산들(19)은 각각의 경우에각각 흡입면(20)에서 배출면(21)으로 연장한다. 상기 나사산들(19)은 서로 체결되어, 결과적으로 상기 나사산들(19)는 복수 개의 워킹 챔버로 분할되고, 흡입면(20)에서 배출면(21)까지의 체적은 감소한다. 본 발명에 따르면, 상기 나사산들(19)는 두 개의 나사산 턴(thread turm)을 가진다. 또한, 본 발명은 이 타입의 펌프를 위한 스크류(screw)에 관한 것이다. 2-회전(two-turn) 나사산들의 균일한 질량 분포로 인해, 상기 펌프는 고회전 속도에서 작동될 수 있어, 결과적으로 펌프의 처리량이 증가된다.
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公开(公告)号:KR1020150009245A
公开(公告)日:2015-01-26
申请号:KR1020130083449
申请日:2013-07-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: F25B1/00 , F04C18/344 , F04C29/02
CPC classification number: C10M125/02 , C09K5/045 , C10M171/008 , C10M2201/041 , C10N2220/082 , C10N2220/302 , C10N2240/30 , F04C18/3564 , F04C23/001 , F04C23/008 , F04C2210/26 , F25B1/04 , F25B13/00 , F25B31/002 , F25B49/022 , F25B2313/0293 , F25B2313/0294 , F25B2400/12 , F25B2500/06 , F25B2500/16 , F25B2600/027 , F25B2700/21152
Abstract: 냉매를 압축하는 압축기, 실외 공기와 상기 냉매 사이의 열교환을 수행하는 실외 열교환기, 실내 공기와 상기 냉매 사이의 열교환을 수행하는 실내 열교환기, 상기 냉매를 감압하는 팽창밸브를 포함하되, 상기 냉매는 수소불화탄소(hydro fluoro carbon, HFC)로 이루어지고, 상기 압축기는 상기 냉매를 압축하는 압축부, 상기 압축부와 연결된 회전축을 통하여 상기 압축부에 회전력을 제공하는 모터부, 상기 회전축과 상기 압축부 사이의 마찰을 감소시키고 상기 압축기의 온도를 낮추는 오일을 저장하는 오일 수용부를 포함하고, 상기 오일은 탄소 나노 입자를 포함하는 공기조화기는 압축기에서의 토출 온도가 높은 수소불화탄소 계열의 냉매를 이용하더라도 고온으로 인한 압축기의 열화를 방지할 수 있을 뿐만 아니라 압축기의 동작 온도를 낮춤으로써 공기조화기의 신뢰성 및 성능을 향상시킬 수 있다.
Abstract translation: 一种空调器,包括:压缩机,用于按压制冷剂; 室外热交换器,用于与室外空气进行热交换; 室内热交换器,用于将制冷剂与室内空气进行热交换; 以及用于对制冷剂进行减压的膨胀阀。 制冷剂由氢氟碳(HFC)组成。 压缩机包括:按压制冷剂的按压单元; 马达单元,其通过与所述按压单元连接的旋转轴为所述按压单元提供旋转力; 以及用于减少旋转轴和加压单元之间的摩擦并储存油以降低压缩机的温度的油容纳单元。 此外,油包含碳纳米颗粒。 即使在压缩机中使用排出温度高的氢氟碳系制冷剂,也能够防止压缩机由于高温而导致的劣化,而且通过降低空调的性能和可靠性, 压缩机的工作温度。
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