웨이퍼 검사 방법
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:KR101919901B1

    公开(公告)日:2018-11-19

    申请号:KR1020120049778

    申请日:2012-05-10

    Abstract: 본발명의웨이퍼검사방법은웨이퍼상에제조공정을수행하는단계와, 상기제조공정이수행된웨이퍼상의웨이퍼측정영역에 1회의다파장광을조사하는단계와, 상기조사된광에의해상기웨이퍼측정영역에서반사된반사광을이용하여스펙트럴큐브(spectral cube)를생성하는단계와, 상기스펙트럴큐브로부터원하는웨이퍼검사영역의스펙트럼을추출하는단계와, 스펙트럼인식알고리즘에포함된스펙트럼을이용하여상기추출된스펙트럼을분석하여상기원하는웨이퍼검사영역을검사하는단계를포함한다. 상기스펙트럴큐브생성단계는, 상기웨이퍼상에 1회의다파장광의조사에따른상기웨이퍼측정영역에해당하는상기스펙트럴큐브를생성하는것을포함한다.

    필터자동교체형 라인가이드 조명제어장치

    公开(公告)号:KR101890652B1

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:KR1020170023957

    申请日:2017-02-23

    Inventor: 정명섭 이성우

    Abstract: 본발명은필터자동교체형라인가이드조명제어장치에관한것으로서, 케이스와; 상기케이스내부에구비되는제어부와; 상기케이스내부에구비되는조사장치부와; 상기조사장치부에서조사되는빛을다양한색으로연출하는필터교환장치;를더 포함하는것을특징으로한다. 상술한바와같이본 발명은케이스내부로조사장치부를구비함으로써, 상기조사장치부를구성하는 LED판, 방열부재, 방열판및 방열팬이상호작용하여, LED 렌즈로조사하여, LCD/OLED 패널양호/불량상태를정확하게검사할수 있는동시에, 검사하는과정에서발생하는열을신속하게발산시켜, 각종시스템의성능을최대한으로유지할수 있는효과가있다. 또한, LED 렌즈전방부로, 필터교환장치를설치함으로써, 상기필터교환장치에칼라필터를자동으로교체함은물론, 원격제어가능하여, 사용자의편의성및 생산성을향상시킬수 있는동시에, 검사시, 빛파장에상호대응하게다양한색을연출하여, LCD/OLED 패널의불량유무를정확하게조사함으로, 검사작업의정확도를향상시키는효과가있다.

    시공 검수 장치 및 방법
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:KR101897434B1

    公开(公告)日:2018-09-10

    申请号:KR1020180026023

    申请日:2018-03-05

    Applicant: 조현태

    Inventor: 조현태

    Abstract: 본발명의일 실시예에따른시공검수방법은, (a) 데이터수집부가시공된구조물을스캔하여, 스캔된구조물에대한구조데이터를획득하는단계; (b) 영상생성부가획득된구조데이터를바탕으로하여스캔영상을모델링하는단계; (c) 제어부가스캔영상과설계도면을정합하는단계; 및 (d) 제어부가스캔영상에서설계도면과상이한부분을표시하는단계를포함하는것을특징으로할 수있다.

    글라스 결함 검사 장치, 검사 방법 및 검사 시스템

    公开(公告)号:KR101867015B1

    公开(公告)日:2018-06-14

    申请号:KR1020170138430

    申请日:2017-10-24

    Inventor: 권기선 송종현

    Abstract: 본발명은검사시스템을개시한다. 보다상세하게는, 본발명은글라스를촬영한디지털이미지를이용하여글라스에존재하는크랙, 스크래치또는이물을검출및 판별하는글라스결함검사장치, 검사방법및 검사시스템에관한것이다. 본발명의실시예에따르면, 카메라에의해획득된글라스의이미지에대하여연결화소검출방법을적용하여복수의불량후보군을선정하고, 각불량후보군을이루는화소와임계값을비교하여화소위치별데이터를산출및 정렬하며, 그데이터에기초하여선의두께를산출함으로써, 신속하고정확하게글라스에발생한결함을판별할수 있는효과가있다.

    터널 균열 및 누수 탐지 시스템

    公开(公告)号:KR101865770B1

    公开(公告)日:2018-06-08

    申请号:KR1020170137136

    申请日:2017-10-23

    Inventor: 배상완

    Abstract: 본발명은터널균열및 누수탐지시스템으로, 콘크리트구조물에대한영상데이터를생성하는이미지센서부, 상기생성된영상데이터에대한이미지개선신호처리, 왜곡보정및 거리보정을수행하는이미지처리부, 상기이미지처리부에서생성된영상데이터를병합하는영상병합부, 상기영상병합부에서생성된영상데이터를압축하는영상압축부를포함하는복수개의영상촬영기기, 상기복수개의영상촬영기기로부터제공되는복수개의영상데이터를수신하는통신부및 상기통신부에서수신된영상데이터를기초로콘크리트구조물의균열및 누수를판별하는영상처리부를포함한다.

    가상 블레이드 검사
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:KR20180056376A

    公开(公告)日:2018-05-28

    申请号:KR20170149424

    申请日:2017-11-10

    Applicant: GEN ELECTRIC

    Abstract: 블레이드스테이지(154)를가상적으로검사하기위한시스템및 방법이개시된다. 시스템은, 블레이드스테이지(154)의각 블레이드(140)의슈라우드(134, 134A, 134B, 152)의 3-차원모델(132)을획득하기위한디지털화장치(130)를포함할수 있을것이다. 컴퓨터시스템이, 디지털화장치(130)를사용하여디지털화함에의해생성되는블레이드스테이지(154)의각 블레이드(140)의슈라우드(134, 134A, 134B, 152)의 3-차원모델(132)로부터각 슈라우드(134, 134A, 134B, 152)의복수의기준점에대한기하학적위치데이터를추출하는프로세스; 기하학적위치데이터및 블레이드스테이지(154)의알려진치수들에기초하여, 블레이드스테이지(154)의슈라우드들(134, 134A, 134B, 152)에대한 3-차원가상렌더링(150)을생성하는프로세스로서, 3-차원가상렌더링(150)은, 각슈라우드(134, 134A, 134B, 152)의복수의기준점에대한렌더링을포함하는것인, 3-차원가상렌더링(150)을생성하는프로세스; 및 3-차원가상렌더링(150)을사용하여블레이드스테이지(154)를검사하는프로세스를실행하도록구성되는, 적어도하나의모듈을포함할수 있을것이다.

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