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公开(公告)号:KR101919901B1
公开(公告)日:2018-11-19
申请号:KR1020120049778
申请日:2012-05-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G06T7/0004 , G06T7/001 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148
Abstract: 본발명의웨이퍼검사방법은웨이퍼상에제조공정을수행하는단계와, 상기제조공정이수행된웨이퍼상의웨이퍼측정영역에 1회의다파장광을조사하는단계와, 상기조사된광에의해상기웨이퍼측정영역에서반사된반사광을이용하여스펙트럴큐브(spectral cube)를생성하는단계와, 상기스펙트럴큐브로부터원하는웨이퍼검사영역의스펙트럼을추출하는단계와, 스펙트럼인식알고리즘에포함된스펙트럼을이용하여상기추출된스펙트럼을분석하여상기원하는웨이퍼검사영역을검사하는단계를포함한다. 상기스펙트럴큐브생성단계는, 상기웨이퍼상에 1회의다파장광의조사에따른상기웨이퍼측정영역에해당하는상기스펙트럴큐브를생성하는것을포함한다.
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公开(公告)号:KR101908617B1
公开(公告)日:2018-10-16
申请号:KR1020170001834
申请日:2017-01-05
Applicant: 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지
CPC classification number: G06T7/0004 , G06T7/60 , G06T7/70 , G06T9/00 , G06T2207/30148 , H01J37/3026 , H01J37/3174 , H01J2237/31762 , H01J2237/31776 , H04N19/423
Abstract: 일실시형태에따른묘화데이터의작성방법은, 하전입자빔을이용하여대상물에복수의도형패턴을묘화하는묘화장치에입력되는묘화데이터의작성방법으로서, 복수의도형정보가정의되고또한상기복수의도형정보의전 또는후에각 도형의도스량정보가연속으로정의되는데이터포맷에따라상기묘화데이터를작성한다. 2 번째이후의도형의도스량정보를, 상기도형의 1 개이상전의도형의도스량정보에기초하는표현으로변환하고, 도형마다도스량정보의데이터길이를가변으로한다. 예를들면, 2 번째이후의도형의도스량정보를, 상기도형의도스량과 1 개전의도형의도스량과의차분표현으로변환하고, 차분값의크기에따라차분표현의데이터길이를변경한다.
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公开(公告)号:KR101890652B1
公开(公告)日:2018-09-28
申请号:KR1020170023957
申请日:2017-02-23
Applicant: (주)쓰리코아
CPC classification number: G01N21/8806 , G01B11/25 , G01B11/2513 , G01B11/2545 , G06T7/0004
Abstract: 본발명은필터자동교체형라인가이드조명제어장치에관한것으로서, 케이스와; 상기케이스내부에구비되는제어부와; 상기케이스내부에구비되는조사장치부와; 상기조사장치부에서조사되는빛을다양한색으로연출하는필터교환장치;를더 포함하는것을특징으로한다. 상술한바와같이본 발명은케이스내부로조사장치부를구비함으로써, 상기조사장치부를구성하는 LED판, 방열부재, 방열판및 방열팬이상호작용하여, LED 렌즈로조사하여, LCD/OLED 패널양호/불량상태를정확하게검사할수 있는동시에, 검사하는과정에서발생하는열을신속하게발산시켜, 각종시스템의성능을최대한으로유지할수 있는효과가있다. 또한, LED 렌즈전방부로, 필터교환장치를설치함으로써, 상기필터교환장치에칼라필터를자동으로교체함은물론, 원격제어가능하여, 사용자의편의성및 생산성을향상시킬수 있는동시에, 검사시, 빛파장에상호대응하게다양한색을연출하여, LCD/OLED 패널의불량유무를정확하게조사함으로, 검사작업의정확도를향상시키는효과가있다.
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公开(公告)号:KR101897434B1
公开(公告)日:2018-09-10
申请号:KR1020180026023
申请日:2018-03-05
Applicant: 조현태
Inventor: 조현태
CPC classification number: G06T7/0004 , G06T3/0068 , G06T7/30 , G06T17/20 , G06T2207/30204
Abstract: 본발명의일 실시예에따른시공검수방법은, (a) 데이터수집부가시공된구조물을스캔하여, 스캔된구조물에대한구조데이터를획득하는단계; (b) 영상생성부가획득된구조데이터를바탕으로하여스캔영상을모델링하는단계; (c) 제어부가스캔영상과설계도면을정합하는단계; 및 (d) 제어부가스캔영상에서설계도면과상이한부분을표시하는단계를포함하는것을특징으로할 수있다.
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公开(公告)号:KR101894683B1
公开(公告)日:2018-09-04
申请号:KR1020177009799
申请日:2016-05-24
Applicant: 신닛테츠스미킨 카부시키카이샤
IPC: G01B11/245 , G01B11/25 , G01N21/892
CPC classification number: G01B11/2509 , G01B11/245 , G01B11/26 , G01N21/86 , G01N21/8903 , G01N21/8914 , G01N21/892 , G01N2021/8636 , G01N2021/8908 , G01N2021/8918 , G06T7/0004 , G06T7/521 , G06T7/586 , G06T2207/10024 , G06T2207/10152 , G06T2207/30136
Abstract: 보다고속, 고밀도또한간편하게금속체의형상검사를실시한다. 본발명의장치는, 금속체에대하여적어도 2개의조명광을조사하여반사광을서로구별하여측정하는측정장치와, 측정결과에기초하여금속체의형상검사에사용되는정보를산출하는연산처리장치를구비한다. 측정장치는, 피크파장이상이한띠 형상의조명광을각각조사하는복수의조명광원과, 금속체의표면의연직상방에조사되는조명광의피크파장의개수와동일한수만큼병치되고, 각각이갖는시프트렌즈에의해금속체의동일부위를촬상하도록설정되며, 대역통과필터를갖는복수의모노크롬라인센서카메라를갖는다. 복수의조명광원중 적어도 2개는, 금속체표면의법선방향과제1 조명광원의광축이이루는각도와법선방향과제2 조명광원의광축이이루는각도가대략동일하게되고, 라인센서카메라를사이에두고금속체와측정장치의상대이동방향으로대향하도록배치된다.
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公开(公告)号:KR101878250B1
公开(公告)日:2018-07-13
申请号:KR1020177010026
申请日:2015-10-14
Applicant: 후지필름 가부시키가이샤
Inventor: 이와미가즈치카
CPC classification number: G06T7/0004 , G06F3/044 , G06F2203/04103 , G06F2203/04111 , G06F2203/04112 , G06K9/4661 , G06T7/90 , G06T2207/10024 , G06T2207/10056 , H04N9/083 , H04N9/735 , H05K9/0096
Abstract: 도전성필름은, 적어도 1시점에있어서, 배선부의복수의금속세선의랜덤메시패턴을포함하는합성배선패턴의투과율화상데이터및 복수색의광을각각점등했을때의각 색의화소배열패턴의명도화상데이터의 2DFFT 스펙트럼의제1 및제2 피크주파수그리고제1 및제2 피크강도로부터각 색별로산출되는노이즈의주파수및 강도에있어서, 표시유닛의표시해상도에따라규정되는주파수임곗값이하의각 노이즈의주파수에있어서의노이즈의강도중 제1 강도임곗값이상의노이즈의강도에각각인간의시각응답특성을관찰거리에따라작용시켜얻어진각 색의노이즈의평갓값으로부터산출한노이즈의평가지표가평가임곗값이하가되는다각형의배선패턴을갖는다.
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公开(公告)号:KR101867015B1
公开(公告)日:2018-06-14
申请号:KR1020170138430
申请日:2017-10-24
Applicant: (주) 엠브이텍
IPC: G01N21/896 , G01N21/88 , G06T7/00
CPC classification number: G01N21/896 , G01N21/8851 , G01N2021/8854 , G01N2021/8887 , G06T7/0004
Abstract: 본발명은검사시스템을개시한다. 보다상세하게는, 본발명은글라스를촬영한디지털이미지를이용하여글라스에존재하는크랙, 스크래치또는이물을검출및 판별하는글라스결함검사장치, 검사방법및 검사시스템에관한것이다. 본발명의실시예에따르면, 카메라에의해획득된글라스의이미지에대하여연결화소검출방법을적용하여복수의불량후보군을선정하고, 각불량후보군을이루는화소와임계값을비교하여화소위치별데이터를산출및 정렬하며, 그데이터에기초하여선의두께를산출함으로써, 신속하고정확하게글라스에발생한결함을판별할수 있는효과가있다.
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公开(公告)号:KR101865770B1
公开(公告)日:2018-06-08
申请号:KR1020170137136
申请日:2017-10-23
Applicant: 주식회사 이바다
Inventor: 배상완
CPC classification number: G06T7/0004 , G01M3/02 , G01N21/8806 , G06T5/001 , G06T5/50 , G06T2207/30108 , H04N5/2258
Abstract: 본발명은터널균열및 누수탐지시스템으로, 콘크리트구조물에대한영상데이터를생성하는이미지센서부, 상기생성된영상데이터에대한이미지개선신호처리, 왜곡보정및 거리보정을수행하는이미지처리부, 상기이미지처리부에서생성된영상데이터를병합하는영상병합부, 상기영상병합부에서생성된영상데이터를압축하는영상압축부를포함하는복수개의영상촬영기기, 상기복수개의영상촬영기기로부터제공되는복수개의영상데이터를수신하는통신부및 상기통신부에서수신된영상데이터를기초로콘크리트구조물의균열및 누수를판별하는영상처리부를포함한다.
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公开(公告)号:KR20180056376A
公开(公告)日:2018-05-28
申请号:KR20170149424
申请日:2017-11-10
Applicant: GEN ELECTRIC
Inventor: SALM JACOB ANDREW , BAS ONAT , TURAN BIROL
CPC classification number: G06T7/0004 , F01D5/005 , F01D5/225 , F01D21/003 , F05D2260/81 , G01B11/002 , G01B11/16 , G01B21/16 , G01N21/8851 , G01N2201/12 , G06T7/004 , G06T7/60 , G06T19/20 , G06T2200/04 , G06T2200/08 , G06T2207/30164
Abstract: 블레이드스테이지(154)를가상적으로검사하기위한시스템및 방법이개시된다. 시스템은, 블레이드스테이지(154)의각 블레이드(140)의슈라우드(134, 134A, 134B, 152)의 3-차원모델(132)을획득하기위한디지털화장치(130)를포함할수 있을것이다. 컴퓨터시스템이, 디지털화장치(130)를사용하여디지털화함에의해생성되는블레이드스테이지(154)의각 블레이드(140)의슈라우드(134, 134A, 134B, 152)의 3-차원모델(132)로부터각 슈라우드(134, 134A, 134B, 152)의복수의기준점에대한기하학적위치데이터를추출하는프로세스; 기하학적위치데이터및 블레이드스테이지(154)의알려진치수들에기초하여, 블레이드스테이지(154)의슈라우드들(134, 134A, 134B, 152)에대한 3-차원가상렌더링(150)을생성하는프로세스로서, 3-차원가상렌더링(150)은, 각슈라우드(134, 134A, 134B, 152)의복수의기준점에대한렌더링을포함하는것인, 3-차원가상렌더링(150)을생성하는프로세스; 및 3-차원가상렌더링(150)을사용하여블레이드스테이지(154)를검사하는프로세스를실행하도록구성되는, 적어도하나의모듈을포함할수 있을것이다.
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公开(公告)号:KR101855778B1
公开(公告)日:2018-05-09
申请号:KR1020160165277
申请日:2016-12-06
Applicant: 현대자동차주식회사
CPC classification number: G06T19/20 , B62D65/005 , G05B2219/32014 , G06F1/163 , G06F3/011 , G06F3/017 , G06T7/0004 , B60S5/00
Abstract: 본발명의실시예에따른가상마킹을이용한차체결함제거방법에의하면, 차체표면에형성된결함에대한결함데이터를입력받는단계, 상기차체에대응하는 3D모델에상기결함데이터에대응하여가상마커를형성하는단계, 상기가상마커가형성된상기 3D모델데이터를작업자의웨어러블기기로전송하는단계, 및상기차체와상기작업자의위치를각각감지하고, 상기작업자가상기차체를바라로는방향에따라서상기웨어러블기기의화면에보여지는상기 3D모델을변형시키는단계를포함할수 있다.
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