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公开(公告)号：KR1020010020218A
公开(公告)日：2001-03-15
申请号：KR1019997009803
申请日：1998-04-10
申请人： 우시오덴키 가부시키가이샤
发明人： 워카로푸로스죠지
IPC分类号： H01J37/06
CPC分类号： B29C71/04 , B29C2035/0877 , B29L2007/008 , B29L2031/3462 , H01J5/18 , H01J33/00 , H01J33/04 , H01J37/06 , H01J2237/164
摘要： 본발명은모듈형전자빔 장치에관한것으로서, 이장치는전자빔 튜브(20)에전력을제공하도록결합된전원부 시스템(12, 14, 16)을포함하는모듈형엔클로저내에수용된다. 이엔클로저의형상은복수개의이러한모듈형유닛의적층이각 유닛으로부터방사된줄무늬형상의빔이처리되는표면을완전히조사하도록형성된다. 빔은상이한선 상에놓여지지만결합된빔은처리되는표면상의폭을포괄한다. 본발명의대체실시예에있어서, 모듈형유닛은각각복수개의전자튜브(20) 및튜브에전력을제공하는필라멘트및 바이어스공급(14, 16)을포함하는복수개의전자빔 유닛을포함한다. 단일고전압스택(12)은복수개의튜브/필라멘트/바이어스부 유닛에공통이다. 데이지체인배열은단일고전압스택이모든튜브유닛에전력을제공하는것을가능하게한다. 또다른실시예에서, 모듈형유닛은단일전원에의해전력이제공되는복수개의전자튜브를포함한다.
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公开(公告)号：KR101607043B1
公开(公告)日：2016-03-28
申请号：KR1020147021504
申请日：2013-02-15
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/0451 , H01J2237/06341 , H01J2237/10 , H01J2237/1405 , H01J2237/164 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
摘要： 격막(101)을간단하게착탈할수 있고, 시료(6)를진공하와고압하에배치할수 있는하전입자선장치(111)를제공한다. 하전입자원(110)과전자광학계(1, 2, 7)를보유지지하는경통(3)과, 경통(3)에연결되는제1 하우징(4)과, 제1 하우징(4)의내측으로우묵하게들어가는제2 하우징(100)과, 경통(3) 내의공간과제1 하우징(4) 내의공간을격리하고하전입자선이투과하는제1 격막(10)과, 제2 하우징(100)의오목부(100a)의내부와외부의공간을격리하고하전입자선이투과하는제2 격막(101)과, 하전입자원(110)을수용하는제3 하우징(22)에연결되는관(23)을갖고, 제1 격막(10)은관(23)에설치되고, 관(23)과제3 하우징(22)은경통(3)에대해광축(30)의방향으로착탈가능하다. 제1 하우징(4)과제2 하우징(100)으로둘러싸인공간(105)은감압되고, 오목부(100a) 중(inside)에배치된시료(6)에, 하전입자선이조사된다.
摘要翻译： 本发明提供一种能够容易地拆卸并安装隔膜（101）并且能够在高真空且高压下放置试样（6）的带电粒子束装置（111）。 连接到镜筒3的第一外壳4和连接到第一外壳4的内部的第二外壳4.镜筒3包括用于保持带电粒子源110和电光源110的镜筒3。 隔离透镜镜筒3的外壳4中的空间并穿过带电粒子束的第一隔膜10和穿过第二外壳100的凹部的第二隔膜10， 隔离单元100a的内部空间和外部空间并传输带电粒子束的第二隔膜101以及连接到容纳带电粒子源110的第三壳体22的管23 第一光阑10安装在管23中，并且管3壳体22可相对于管3在光轴30的方向上拆卸。 第一壳体4任务2将由壳体100包围的空间105减压并且将带电粒子照射到放置在凹部100a内的样品6。
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公开(公告)号：KR1020160020483A
公开(公告)日：2016-02-23
申请号：KR1020167000604
申请日：2014-03-10
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
CPC分类号： H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/202 , H01J2237/28
摘要： 하전입자광학계와시료사이에하전입자선이투과가능한격막을설치한하전입자선장치에있어서, 시료에요철이있는경우여도시료와격막의접촉을방지한다. 일차하전입자선의조사에의해시료(6)로부터방출되는이차적하전입자를검출하는검출기(3)로부터출력되는검출신호또는당해검출신호로부터생성되는화상에의거해서, 시료(6)와격막(10)의거리를감시한다.
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公开(公告)号：KR1020150052355A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：KR1020157010657
申请日：2012-07-04
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/06 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/166 , H01J2237/18 , H01J2237/202 , H01J2237/2445 , H01J2237/2608
摘要： 대기압공간과감압공간을분리하기위한박막주변부의구성을최적화함으로써, 시료(6)를대기분위기또는가스분위기에서관찰하는것이가능한하전입자선장치를제공한다. 제1 하우징(7)을배기하는진공배기펌프(4)와, 제1 하우징(7) 내에서, 조사에의해얻어지는하전입자선을검출하는검출기(3)와, 적어도제1 하우징(7) 또는제2 하우징(8)의어느일부이거나, 또는별체로서구성되고, 제1 하우징(7) 내와제2 하우징(8) 내와의사이의적어도일부를이격하는격벽부와, 격벽부에설치되고, 하전입자조사부측의개구면적이시료(6)측의개구면적보다도큰 개구부(10a)와, 개구부(10a)의시료(6)측을덮고, 1차하전입자선및 하전입자선을투과또는통과시키는박막(13)을구비하는하전입자선장치를제공한다.
摘要翻译： 本发明提供一种带电粒子束装置，其能够通过使用于分离大气压空间和减压空间的薄膜周边部的结构最优化来观察空气气氛或气体气氛中的试样（6）。 和所述第一壳体（7），用于（7）在抽空所述第一壳体（4）真空泵，和用于检测带电粒子束检测器3通过照射至少一个第一壳体（7）获得，或 分隔壁部分形成为第二壳体8的一部分或者作为单独的构件并且将第一壳体7的内部和第二壳体8的内部之间的至少一部分分开， 和开口面积比所述开口（10A），覆盖所述开口（10A）的样品6侧，1个chaha用于发射或使带电粒子束和带电粒子束较大的样品6侧的开口面积的带电粒子照射部侧 还有一个薄膜（13）。
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公开(公告)号：KR1020150046265A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：KR1020157007382
申请日：2013-09-25
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/164 , H01J2237/2608
摘要： 대기압또는대기압과거의동등한압력의가스분위기하에서의관찰을행하는하전입자선장치에서는, 시료가재치되는대기압공간과전자광학경통내부의진공공간을격리하는격막은전자선을투과시키기위해서매우얇고, 파손될가능성이높다. 격막을교환할때에는격막위치를조정할필요가생기지만, 종래기술의방법으로는, 이격막위치의조정을용이하게행할수는없었다. 진공분위기와대기분위기또는가스분위기를구획하는박막을채용하는구성의하전입자선장치에있어서, 시료가재치된공간의압력이케이싱내부의압력보다크게유지되도록시료가재치된공간을격리하고, 1차하전입자선을투과또는통과시키는착탈가능한격막과, 시료가재치된공간의압력과케이싱내부의압력을유지한채, 상기격막을이동가능하게하는가동부재를구비한다.
摘要翻译： 在大气压或基本上等于大气压的气体环境下对样品进行观察的带电粒子束装置中，分离放置样品的大气压力空间的膜片和 电子光学镜筒的内部被制成非常薄，以便允许电子束透射并且以很高的可能性被损坏。 虽然在更换隔膜时，需要调节隔膜的位置，但是不可能通过常规方法容易地进行隔膜位置的调节。 在采用分离真空环境和大气环境或气体环境的薄膜的结构的带电粒子束装置中，可以将放置样品的空间分隔开的可拆卸隔膜， 放置样品的空间中的压力保持在比壳体内部的压力大的水平面上，并且允许一次带电粒子束通过其的传播或通过;以及可移动膜片的可动件， 提供其中放置样品的空间中的压力以及壳体内部的压力原样保持的状态。
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公开(公告)号：KR1020140143462A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：KR1020147032861
申请日：2012-03-02
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/16 , H01J2237/164 , H01J2237/1825 , H01J2237/2007 , H01J2237/2608
摘要： 종래의 고진공형 하전 입자 현미경의 구성을 크게 변경하는 일 없이, 피관찰 시료를 대기 분위기 혹은 가스 분위기에서 관찰하는 것이 가능한 하전 입자선 장치 또는 하전 입자 현미경을 제공한다. 진공 분위기와 대기 분위기(또는 가스 분위기)를 구획하는 박막(10)을 채용하는 구성의 하전 입자선 장치에 있어서, 상기 박막(10)을 보유 지지할 수 있고, 또한 내부를 대기 분위기 혹은 가스 분위기로 유지 가능한 어태치먼트(121)를 고진공형 하전 입자 현미경의 진공실(7)에 삽입하여 사용한다. 당해 어태치먼트(121)는, 상기 진공 시료실의 진공 격벽에 진공 시일되어 고정된다. 어태치먼트 내부를 헬륨이나 질소 혹은 수증기와 같은 대기 가스보다도 질량이 가벼운 경원소 가스로 치환함으로써, 더욱 화질이 향상된다.
摘要翻译： 提供一种能够在空气气氛或气体环境中观察观察目标样品的带电粒子束装置或带电粒子显微镜，而不会对传统的高真空带电粒子显微镜的构造进行显着变化。 在构成为使用薄膜（10）分离真空环境和空气气氛（或气体环境）的带电粒子束装置中，能够保持薄膜（10）的附件（121），其内部 可以在空气气氛中保持，或者将气体环境插入到高真空带电粒子显微镜的真空室（7）中。 附件（121）被真空密封并固定到真空样品室的真空隔板。 通过用氦气或具有比大气气体如氮气或水蒸气更低的质量的轻质气体代替附件中的气氛来进一步改善图像质量。
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公开(公告)号：KR1020130118359A
公开(公告)日：2013-10-29
申请号：KR1020137020260
申请日：2011-11-02
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/2608 , H01J2237/2811
摘要： 대형의 시료라도 대기 분위기 혹은 가스 분위기에서 관찰하는 것이 가능한 하전 입자선 장치 또는 하전 입자 현미경을 제공한다. 진공 분위기와 대기 분위기(또는, 가스 분위기)를 구획하는 박막을 채용하는 구성의 하전 입자선 장치에 있어서, 하전 입자 광학계를 저장하는 하전 입자 광학 경통과, 당해 하전 입자 광학 경통으로부터 출사되는 1차 하전 입자선이 상기 박막까지 도달하기 위한 경로를 진공 분위기로 유지하는 하우징과, 상기 하전 입자 광학 경통(lens tube)과 제1 하우징을 장치 설치면에 대해 지지하는 기구를 구비하고, 당해 지지 기구로서, 대형 시료를 반입하기 위한 개방구를 갖는 하우징, 혹은 지주 등 하우징 이외의 형상의 기구를 채용한다.
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公开(公告)号：KR101257135B1
公开(公告)日：2013-04-22
申请号：KR1020087015674
申请日：2007-02-08
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 마츠무라타츠야
CPC分类号： H01J35/06 , H01J33/04 , H01J2235/087 , H01J2237/061 , H01J2237/06308 , H01J2237/164
摘要： 전자선 발생 장치(1a)는 전자총(2), 진공 용기(3), 테두리재(11), 및 창재(13)를 구비한다. 전자총(2)은 전자선 EB를 출사하는 필라멘트(7)를 가진다. 진공 용기(3)는 필라멘트(7)를 수용한다. 테두리재(11)는 전자선 EB를 통과시키기 위한 전자 통과공(11c)을 가지고 있고, 진공 용기(3)에 착탈 가능하게 장착된다. 창재(13)는 전자 통과공(11c)을 기밀하게 닫도록 테두리재(11)에 접합(땜질부착)되고, 전자선 EB를 투과한다.
전자선, 창재, 테두리재, 땜질부착, 통과공, 필라멘트, 출사-
公开(公告)号：KR1020080100335A
公开(公告)日：2008-11-17
申请号：KR1020087015674
申请日：2007-02-08
申请人： 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人： 마츠무라타츠야
CPC分类号： H01J35/06 , H01J33/04 , H01J2235/087 , H01J2237/061 , H01J2237/06308 , H01J2237/164
摘要： An electron beam generating apparatus (1a) is provided with an electron gun (2), a vacuum container (3), a frame material (11) and a window material (13). The electron gun (2) has a filament (7) which outputs an electron beam (EB). The vacuum container (3) stores the filament (7). The frame material (11) is provided with an electron passing hole (11c) for passing through the electron beam (EB), and is removably attached to the vacuum container (3). The window material (13) is bonded (soldered) on the frame material (11) to airtightly close the electron passing hole (11c), and permits the electron beam (EB) to permeate.
摘要翻译： 电子束发生装置（1a）设置有电子枪（2），真空容器（3），框架材料（11）和窗口材料（13）。 电子枪（2）具有输出电子束（EB）的灯丝（7）。 真空容器（3）存放灯丝（7）。 框架材料（11）设置有用于穿过电子束（EB）的电子通过孔（11c），并且可移除地附接到真空容器（3）。 将窗材料（13）粘合（焊接）在框架材料（11）上以气密地封闭电子通过孔（11c），并允许电子束（EB）渗透。
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公开(公告)号：KR101691872B1
公开(公告)日：2017-01-02
申请号：KR1020157007382
申请日：2013-09-25
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/164 , H01J2237/2608
摘要： 대기압또는대기압과거의동등한압력의가스분위기하에서의관찰을행하는하전입자선장치에서는, 시료가재치되는대기압공간과전자광학경통내부의진공공간을격리하는격막은전자선을투과시키기위해서매우얇고, 파손될가능성이높다. 격막을교환할때에는격막위치를조정할필요가생기지만, 종래기술의방법으로는, 이격막위치의조정을용이하게행할수는없었다. 진공분위기와대기분위기또는가스분위기를구획하는박막을채용하는구성의하전입자선장치에있어서, 시료가재치된공간의압력이케이싱내부의압력보다크게유지되도록시료가재치된공간을격리하고, 1차하전입자선을투과또는통과시키는착탈가능한격막과, 시료가재치된공간의압력과케이싱내부의압력을유지한채, 상기격막을이동가능하게하는가동부재를구비한다.
摘要翻译： 在大气压或基本上等于大气压的气体环境下对样品进行观察的带电粒子束装置中，分离放置样品的大气压力空间的膜片和 电子光学镜筒的内部被制成非常薄，以便允许电子束透射并且以很高的可能性被损坏。 虽然在更换隔膜时，需要调节隔膜的位置，但是不可能通过常规方法容易地进行隔膜位置的调节。 在采用分离真空环境和大气环境或气体环境的薄膜的结构的带电粒子束装置中，可以将放置样品的空间分隔开的可拆卸隔膜， 放置样品的空间中的压力保持在比壳体内部的压力大的水平面上，并且允许一次带电粒子束通过其的传播或通过;以及可移动膜片的可动件， 提供其中放置样品的空间中的压力以及壳体内部的压力原样保持的状态。
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