公开(公告)号：KR101725137B1

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：KR1020150117737

申请日：2015-08-21

申请人： 한국표준과학연구원

发明人： 조복래 ,  안상정 ,  설인호

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/20

CPC分类号： H01J37/16 ,  G02B21/0004 ,  G02B21/02 ,  G02B21/06 ,  G02B21/36 ,  G02B21/361 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/226 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2808 ,  H01J2237/2855

摘要： 본발명은전자, 이온, 중성입자등 입자광축을따라집속되는입자빔이입사하는틈(aperture)을일면에구비하고, 그대향면에광이투과하는탈착형시료홀더를구비하여, 입자빔과광으로시료를관측또는분석할수 있는입자및 광학장치용진공시료실에관한것으로, 전자현미경또는집속이온빔관찰장비의시료실에시료가출입할경우에도시료실내부진공을유지하여관찰시간을단축하고, 광원이나광학경통을시료실내부에삽입하지않고외부에서광학영상을획득할수 있는시료실및 그시료실을구비한광-전자융합현미경을구현한다.

公开(公告)号：KR1020170038118A

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：KR1020177008485

申请日：2014-11-14

申请人： 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.

发明人： 어바누스,윌리엄헨크 ,  위랜드,마르코잔-자코

IPC分类号： H01J37/317 ,  G21K1/02 ,  G21K5/04 ,  H01J37/02 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/30

CPC分类号： G21K1/02 ,  G21K5/04 ,  H01J37/026 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3175 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/1215 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/30472

摘要： 본발명은, 중앙전극어퍼처(82)가제공되는전극바디(81)를포함하는콜리메이터전극에관한것으로, 전극바디는 2개의대향하는메인표면들사이에전극높이를정의하며, 전극바디는전극바디내부에냉각액체(102)를전달하기위한냉각도관(105)을수용한다. 전극바디는바람직하게는디스크형상또는편원(oblate) 링형상이다. 본발명은추가로, 각각냉각액체(102)를전달하기위한냉각도관(105)이제공되는제 1 콜리메이터전극및 제 2 콜리메이터전극, 및제 1 및제 2 콜리메이터전극들의냉각도관들사이에액체연결을위한연결도관(110)을포함하는, 하전입자빔 생성기에사용하기위한콜리메이터전극스택에관한것이다.

公开(公告)号：KR101722617B1

公开(公告)日：2017-04-03

申请号：KR1020167015672

申请日：2014-11-14

申请人： 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.

发明人： 어바누스,윌리엄헨크 ,  위랜드,마르코잔-자코

IPC分类号： H01J37/317 ,  G21K1/02 ,  G21K5/04 ,  H01J37/02 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/30

CPC分类号： G21K1/02 ,  G21K5/04 ,  H01J37/026 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3175 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/1215 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/30472

摘要： 본발명은, 중앙전극어퍼처(82)가제공되는전극바디(81)를포함하는콜리메이터전극에관한것으로, 전극바디는 2개의대향하는메인표면들사이에전극높이를정의하며, 전극바디는전극바디내부에냉각액체(102)를전달하기위한냉각도관(105)을수용한다. 전극바디는바람직하게는디스크형상또는편원(oblate) 링형상이다. 본발명은추가로, 각각냉각액체(102)를전달하기위한냉각도관(105)이제공되는제 1 콜리메이터전극및 제 2 콜리메이터전극, 및제 1 및제 2 콜리메이터전극들의냉각도관들사이에액체연결을위한연결도관(110)을포함하는, 하전입자빔 생성기에사용하기위한콜리메이터전극스택에관한것이다.

摘要翻译： 本发明涉及一种准直仪电极，其包括设有中心电极孔（82）的电极体（81），其中电极体限定了两个相对主表面之间的电极高度， 以及用于在体内输送冷却液体102的冷却导管105。 电极体优选为圆盘形或扁圆环形。 本发明的用于第一准直器电极和第二准直器电极，所述第二准直器电极的冷却导管之间mitje 1 mitje流体连接是现在另外球冷却管道105，分别输送的冷却液（102） 用于包括连接导管（110）的带电粒子束发生器中的准直器电极堆叠。

公开(公告)号：KR1020170022584A

公开(公告)日：2017-03-02

申请号：KR1020150117737

申请日：2015-08-21

申请人： 한국표준과학연구원

发明人： 조복래 ,  안상정 ,  설인호

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/20

CPC分类号： H01J37/16 ,  G02B21/0004 ,  G02B21/02 ,  G02B21/06 ,  G02B21/36 ,  G02B21/361 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/226 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2808 ,  H01J2237/2855

摘要： 본발명은전자, 이온, 중성입자등 입자광축을따라집속되는입자빔이입사하는틈(aperture)을일면에구비하고, 그대향면에광이투과하는탈착형시료홀더를구비하여, 입자빔과광으로시료를관측또는분석할수 있는입자및 광학장치용진공시료실에관한것으로, 전자현미경또는집속이온빔관찰장비의시료실에시료가출입할경우에도시료실내부진공을유지하여관찰시간을단축하고, 광원이나광학경통을시료실내부에삽입하지않고외부에서광학영상을획득할수 있는시료실및 그시료실을구비한광-전자융합현미경을구현한다.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于颗粒和光学装置的真空样品室，该真空样品室包括：在其一个表面上具有孔，沿着诸如电子，离子和中性的颗粒的光轴聚焦的粒子束 颗粒是事件; 并且在其相对表面上具有透光性的可拆卸的样品保持器，从而能够通过粒子束和光来观察和分析样品。 本发明实现了一种样品室，即使在将样品放入或从电子显微镜或聚焦离子束观察设备的样品室中取出，也能够获得光学图像的同时通过保持真空来减少观察时间 在其外部没有将光源或光学筒插入样品室中; 以及包含样品室的光电子融合显微镜。

公开(公告)号：KR101671323B1

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：KR1020147036503

申请日：2013-06-28

申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈

发明人： 오미나미유스케 ,  이토스케히로

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18

CPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/00 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2605

摘要： 일차하전입자선을시료상에조사해서, 상기조사에의해얻어지는이차하전입자신호를검출하여, 상기시료를관찰하는시료관찰방법에있어서, 진공상태로유지된하전입자광학경통내에서발생하는상기일차하전입자선을, 상기시료가재치된공간과상기하전입자광학경통을격리하도록배치된격막을투과또는통과시키고, 대기압또는대기압보다약간의부압상태의소정의가스분위기에놓여진상기시료에상기일차하전입자선을조사하는것에의하여얻어지는투과하전입자선을검출하는것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR101658975B1

公开(公告)日：2016-09-23

申请号：KR1020117020918

申请日：2009-08-12

申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.

发明人： 스위니요셉디 ,  예다베샤라드엔 ,  빌올레그 ,  카임로버트 ,  엘드릿지데이비드 ,  펭린 ,  비숍스티븐이 ,  올랜더더블유칼 ,  탕잉

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01J37/317 ,  H01J37/08 ,  H01J37/16 ,  C23C14/48 ,  C23C14/54 ,  C23C14/56

CPC分类号： H01J37/08 ,  C23C14/48 ,  C23C14/54 ,  C23C14/564 ,  H01J27/08 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/32862 ,  H01J2237/0209 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/082 ,  H01J2237/22

摘要： 본발명은, 캐쏘드바이어스전력을모니터링하고캐쏘드를에칭또는재성장시키기위해서비교된값에따라보정작용을취함으로써, 이온주입시스템을위한간접적으로가열된캐쏘드에서캐쏘드의성장/에칭을가능하게하는반응성세정제및/또는온도를사용하는, 이온주입시스템또는그의컴포넌트의세정에관한것이다.

公开(公告)号：KR1020160086390A

公开(公告)日：2016-07-19

申请号：KR1020167015699

申请日：2014-11-14

申请人： 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.

发明人： 어바누스,윌리엄헨크 ,  위랜드,마르코잔-자코

IPC分类号： H01J37/02 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  G21K1/02 ,  G21K5/04

CPC分类号： G21K1/02 ,  G21K5/04 ,  H01J37/026 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3175 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/1215 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/30472

摘要： 본발명은광학축(A)을따라하전입자빔을조작하기위한복수의적층된전극들(71-80)을포함하는전극스택(70)에관한것이다. 각각의전극은하전입자빔의통과를허용하기위한전극어퍼처를갖는전극바디를포함한다. 전극바디들은상호이격되며전극어퍼처들은광학축을따라서동축으로정렬된다. 전극스택은축 방향(Z)을따라미리결정된상호거리들로전극들(71-80)을포지셔닝시키기위한, 인접한전극들의각각의쌍 사이의전기적으로절연성인스페이싱구조물들(89)을포함한다. 제 1 전극및 제 2 전극각각은하나또는그 초과의지지부분들(86)을갖는전극바디를포함하고, 각각의지지부분은적어도하나의스페이싱구조물(89)을수용하도록구성된다. 전극스택은제 1 전극및 제 2 전극의지지부분들(86)뿐만아니라개재스페이싱구조물(89)을함께홀딩하도록구성된적어도하나의클램핑부재(91-91c)를갖는다.

公开(公告)号：KR1020160047845A

公开(公告)日：2016-05-03

申请号：KR1020140144289

申请日：2014-10-23

申请人： 삼성전자주식회사

发明人： 고원희 ,  전인수

IPC分类号： B65G49/00 ,  B65G43/00

CPC分类号： H01J37/16 ,  G01N1/42 ,  G01N2001/002 ,  G01R19/0084 ,  H01J37/185 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/204

摘要： 본발명의일 실시예에따른수송장치는피수송대상을이송시킬수 있는수송장치로서, 일단부에상기피수송대상이연결되며, 상기피수송대상의이송방향으로연장된수송로드; 상기수송로드를상기피수송대상의이송방향으로이동시키는수송기; 상기수송로드의외벽부에배치되는하나이상의접촉센서부; 를포함할수 있다.

摘要翻译： 根据本发明的一个实施例的输送被输送物体的输送装置，其特征在于，包括：输送杆，其能够使所述物体的一端连接并沿着物体的输送方向延伸; 使输送杆沿着物体的输送方向移动的输送机; 以及布置在输送杆的外壁部分中的一个或多个接触传感器部件。

公开(公告)号：KR1020150083142A

公开(公告)日：2015-07-16

申请号：KR1020157017580

申请日：2009-02-06

申请人： 램 리써치 코포레이션

发明人： 카드코데이얀바비 ,  맥체스니존 ,  페이프에릭 ,  딘드사라진더

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/205

CPC分类号： H01L21/3065 ,  C23C14/564 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/505 ,  H01J37/16 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32495 ,  H01J37/32568 ,  H01J2237/0213 ,  H01L21/02104 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67069

摘要： 플루오르및 산소라디칼과같은플라즈마발생라디칼로부터 RF 스트랩을보호하기위해플라즈마챔버에서이용되는플렉시블폴리머또는엘라스토머코팅된 RF 리턴스트랩, 및플라즈마프로세싱장치에서입자오염이감소된반도체기판을프로세싱하는방법이개시된다. 코팅된 RF 스트랩은입자발생을최소화하고, 코팅되지않은베이스컴포넌트보다더 낮은부식률을나타낸다. 전도성플렉시블베이스컴포넌트상에플렉시블코팅을갖는이러한코팅된부재는조정가능갭 용량결합형플라즈마리액터챔버에서하나이상의전극의이동을허용하도록구성되는 RF 접지리턴을제공한다.

公开(公告)号：KR101530282B1

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：KR1020140116933

申请日：2014-09-03

申请人： 히타치하이테크놀로지즈코리아 주식회사

发明人： 형형철

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J9/38

CPC分类号： A61L2/14 ,  H01J37/16 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2065

摘要： 본발명은전자현미경플라즈마클리너에관한것이다. 보다상세하게는효과적인플라즈마(Plasma) 발생을위해 3중구조의플라즈마생성전극과멀티가스(Multi Gas) 분사노즐을갖춘유기물 Cleaner에관한것이다. 본발명의일례와관련된전자빔을이용하여시료의상을확대하는전자현미경을플라즈마를이용하여클리닝(cleaning)하는장치는, 상기시료를내부에배치하고, 전자의흐름을이용하기위해상기내부가진공인진공챔버; 상기전자빔을생성하고, 상기생성된전자빔을상기시료로출력하는전자총; 상기시료를투과한전자빔을확대하여형광판위에투영하는전자렌즈; 기설정된범위의무선주파수(RADIO FREQUENCY)를갖는제 1 신호를생성하는 RF 콘트롤러; 및플라즈마(Plasma)를생성하고, 상기 RF 콘트롤러로부터상기제 1 신호를수신하며, 상기플라즈마및 제 1 신호를이용하여활성화된산소라디칼(oxigen radical) 및이온을생성하고, 상기활성화된산소라디칼및 이온을상기진공챔버내부로공급하는플라즈마헤드;를포함하되, 상기진공챔버내부로공급된활성화된산소라디칼및 이온을이용하여상기진공챔버내부에존재하는오염(contamination)을제거할수 있다.

摘要翻译： 本发明涉及一种电子显微镜等离子体清洁器，更具体地说，涉及具有三重结构的等离子体发生电极，用于有效地产生等离子体的有机清洁剂和多气体注入喷嘴。 一种用于使用与本发明的实施例相关的电子束放大与等离子体的样品的电子显微镜的装置，包括：真空室，用于将样品布置在内部，并具有空的内部以使用 电子; 用于产生电子束的电子枪，并将所生成的电子束输出到样品中; 电子透镜，用于放大穿透样品的电子束，并将电子束投射在荧光屏上; RF控制器，用于产生具有预设范围的射频的第一信号; 以及用于产生等离子体的等离子体头，从RF控制器接收第一信号，产生氧自由基和用等离子体和第一信号激活的离子，并将激活的等离子体和第一信号提供在真空室内。 本发明能够利用激活的氧自由基和真空室内供给的离子去除真空室内存在的污染物。