메모리 셀들
    8.
    发明授权
    메모리 셀들 有权
    记忆细胞

    公开(公告)号:KR101573158B1

    公开(公告)日:2015-12-01

    申请号:KR1020147005528

    申请日:2012-07-16

    Abstract: 일부실시예들은메모리셀들을포함한다. 메모리셀은한 쌍의전극들사이의스위칭영역및 이온소스영역을포함할수 있다. 스위칭영역은전도성브리지를가역적으로유지하도록구성될수 있으며, 메모리셀은전도성브리지가스위칭영역내에서유지될때 저저항상태에있고전도성브리지가스위칭영역내에있지않을때 고저항상태에있다. 메모리셀은전도성브리지를스위칭영역내에서배향시키기위해스위칭영역을가로질러연장되는정렬된프레임워크를포함할수 있으며, 프레임워크는메모리셀의고저항및 저저항상태들둘 다에서스위칭영역내에유지된다.

    감소된 하부 전극을 갖는 저항성 메모리 셀
    9.
    发明公开
    감소된 하부 전극을 갖는 저항성 메모리 셀 审中-实审
    具有降低底电极的电阻记忆体

    公开(公告)号:KR1020150132123A

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:KR1020157023706

    申请日:2014-03-03

    Abstract: 저항성메모리셀(100)은링 형상의하부전극(102), 상부전극(108), 및하부전극과상부전극사이에배치된전해질층(106)을포함한다. 하부전극컨택상에유전층을형성하는공정, 상기유전층에비어를에칭하여상기하부전극컨택의적어도한 부분을노출시키는공정, 상기유전층상에그리고상기비어안에전도성비어라이너를침착하는공정,- 상기비어에침착된상기비어라이너는상기비어에링 형상의구조체및 노출된하부전극컨택과컨택하는컨택부를형성하고, 상기링 형상의구조체는상기링 형상의구조체의반지름방향의내측캐비티를정의함 -그리고상기비어라이너의상기링 형상의구조체가상기링 형상의하부전극을형성하도록, 상기링 형상의구조체의반지름방향의내측에있는상기캐비티를유전체충전재로충전하는공정을포함하는링 형상의하부전극을형성단계,1 상기하부전극상에전해질층을침착하는단계, 및상기전해질층 상에상부전극을침착하는단계를포함하여이루어진다.

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