公开(公告)号：KR102481380B1

公开(公告)日：2022-12-27

申请号：KR1020150151095

申请日：2015-10-29

IPC分类号： H10K71/00 ,  B23K26/08 ,  B23K26/38 ,  B23K26/402 ,  B25B11/00 ,  B23K26/082 ,  B23K26/0622 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  B23K103/00 ,  B23K101/42

摘要： 본발명은기판절단용스테이지및 기판절단장치를개시한다. 본발명은기판이로딩되며제1 개구를가지는복수개의셀 영역과, 상기복수개의셀 영역의외측에배치되고, 상기제1 개구의직경보다직경이큰 제2 개구를가지는가장자리영역과, 상기복수개의셀 영역사이에배치되는더미영역및 상기셀 영역과상기더미영역의사이또는, 상기셀 영역과상기가장자리영역의사이에배치되는절단홈부를포함한다.

公开(公告)号：KR102433236B1

公开(公告)日：2022-08-19

申请号：KR1020197022436

申请日：2017-12-28

IPC分类号： H01L33/00 ,  H01L33/62 ,  H01L33/20 ,  H01L33/48 ,  B23K1/00 ,  B23K3/06 ,  B23K103/00 ,  B23K101/40

摘要： 발광디바이스들을제조하는방법은 (ⅰ) 캐비티를정의하는반사기컵과 (ⅱ) 캐비티의바닥표면에배치된복수의금속패드를포함하는패키지몸체를제공하는단계; 금속패드들각각상에각각의땜납패턴을퇴적하기위해저장소스텐실프린팅을수행하는단계 - 저장소스텐실프린팅은반사기컵 위에배치되는 3D 전기주조스텐실을사용하여수행되고, 3D 전기주조스텐실은반사기컵의하나이상의측벽과계합하도록구성된립, 및립으로부터멀리그리고캐비티내로연장되는저장소를포함함 -; 금속패드들상에형성되는땜납패턴들상에 LED 다이를배치하고금속패드들에 LED 다이를부착하기위해리플로우납땜을수행하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR1020220076319A

公开(公告)日：2022-06-08

申请号：KR1020210158587

申请日：2021-11-17

IPC分类号： B23K26/352 ,  B23K26/38 ,  G02B5/30 ,  B23K103/00

摘要： 이형을갖고또한크랙이억제된편광판의간편·저렴한제조방법을제공하는것이다. 본발명의실시형태에의한이형을갖는편광판의제조방법은, 레이저조사에의해편광판에이형을형성하는것; 및, 이형이형성된편광판을, 레이저조사에의해매엽상으로절단하는것;을포함한다. 하나의실시형태에서는, 당해제조방법은, 이형이형성된편광판을, 직선상의레이저조사에의해매엽상으로절단하는것을포함한다. 하나의실시형태에서는, 당해이형은평면시한경우에오목부가되는형상이다.

公开(公告)号：KR102388994B1

公开(公告)日：2022-04-22

申请号：KR1020217027958

申请日：2017-03-22

IPC分类号： B23K26/53 ,  B23K26/36 ,  B23K26/064 ,  B23K103/00

摘要： 본발명은고형체(1)로부터하나이상의고형체층(14)을분리하는방법에관한것으로, 고형체부분(6), 특히고형체층을고형체(1)로부터분리시키기위해균열을유도하는균열유도영역(4)이변형(2)에의해제공된다. 본발명은바람직하게는: 레이저적용장치(8)에대해고형체(1)를이동시키는단계와, 레이저적용장치(8)에의해레이저빔들(10)을연속적으로생성하여하나이상의변형(2)을각각생성하는단계와, 고형체층(14)을고형체(1)로부터제거하는단계를포함하며, 여기서레이저적용장치(8)는하나이상의파라미터, 특히정의된위치에서및 정의된고형체깊이에대한고형체의투과에따라변형의정의된생성을위해조정되며, 여기서고형체내의영향받은체적의영역에서및/또는영향받은표면의영역에서고형체(1)의불균일은레이저적용장치(8)의조정에의해보상될수 있다.

公开(公告)号：KR102375189B1

公开(公告)日：2022-03-16

申请号：KR1020200068017

申请日：2020-06-05

IPC分类号： C03B33/085 ,  C03B33/095 ,  B23K26/382 ,  B23K26/70 ,  B23K103/00

摘要： 본발명은예열장치와레이저를이용한유리관을절단하는방법이며, 상세하게는, 유리관을크랙과칩핑및 오염없이절단하기위하여유리관의절단예정선부근에가스토치로유리관의연화점근처까지예열시키는단계와, 예열된유리관의절단예정선을따라유리에잘 흡수되는파장을가진 CO2 레이저빔을이용하여유리관을절단하는유리관절단방법및 장치에관한것이다.

公开(公告)号：KR102356415B1

公开(公告)日：2022-02-08

申请号：KR1020217005915

申请日：2018-03-05

IPC分类号： B23K26/402 ,  B23K26/00 ,  B23K26/0622 ,  C03C23/00 ,  B23K26/53 ,  B81C1/00 ,  B23K103/00

摘要： 본발명은투명한또는투과성유리기판 (2) 안으로적어도하나의관통구멍 (1) 을도입하기위한방법에관한것이며, 상기유리기판 (2) 은전자기방사선, 특히레이저를이용해빔축 (s) 을따라선택적으로변조된다. 상기변조들이유리기판 (2) 안에서빔축 (s) 을따라, 서로다른특성들을갖는전자기방사선에의해, 예컨대서로다른펄스에너지에의해, 생성됨으로써, 상기유리기판 (2) 안의에칭공정이비균질하게서로다른에칭률들로진행된다. 이를통해, 상기투명한또는투과성재료안에서에칭처리를근거로생기는관통구멍 (1) 을타겟팅하여그리고선택적으로상기변조들의서로다른특성들을통해형성하는그리고예컨대상기관통구멍 (1) 의원뿔각도 (α, β) 를변화시키는가능성이만들어내진다.

公开(公告)号：KR102340906B1

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：KR1020207022441

申请日：2014-04-29

IPC分类号： B29C64/20 ,  B29C64/386 ,  B22F3/105 ,  B23K103/00 ,  B23K26/06 ,  B23K26/32 ,  B23K26/34 ,  B33Y30/00 ,  B33Y50/02

摘要： 본발명의일 실시예에따른 3차원물체를형성하기위한인쇄시스템은 (a) 유도라만산란에의해가시광의코히런트빔을생성하는레이저광 소스; (b) 상기레이저광 소스와광학적소통하는서브스트레이트; (c) 상기레이저광 소스의하류에있는스캐닝모듈; 및 (d) 상기레이저광 소스및 상기스캐닝모듈에작동되게연결된컴퓨터제어시스템;을포함한다. 상기스캐닝모듈은상기서브스트레이트에대하여가시광의상기코히런트빔의스캐닝운동을발생시키며, 상기스캐닝운동은 3차원물체의예정된형상에대응한다. 상기컴퓨터제어시스템은, 상기서브스트레이트로부터상기물체를형성하기위해, (i) 예정된방식으로상기스캐닝운동을제어하고 (ii) 상기레이저광 소스의파워를조절하도록프로그램된다.

公开(公告)号：KR102328501B1

公开(公告)日：2021-11-18

申请号：KR1020187035530

申请日：2017-06-01

IPC分类号： B23K26/38 ,  B23K26/40 ,  G02B5/30 ,  B23K103/00

摘要： 필름의크랙을방지하면서, 레이저광에의해필름을오려내는방법을제공한다. 본발명의필름의오려내기방법은레이저광 조사에의해편광자를포함하는필름을오려내고, 해당필름에소정형상의오려냄부를형성하는것을포함하며, 해당레이저광 조사에의한오려내기개시점에서의오려냄부의접선(A) 또는해당개시점을포함하는오려냄부의변(B)과, 편광자의흡수축이이루는각이 0°∼85° 또는 95°∼180°이다.

公开(公告)号：KR102326741B1

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：KR1020210108822

申请日：2021-08-18

IPC分类号： B23K13/01 ,  B23K37/00 ,  B23K103/00

摘要： 본발명은실리콘파우더와고주파가열장치를이용한실리콘부품의접합방법에관한것으로서, 하부링과상부링접합면에결합요철구조를형성하는단계; 상기하부링과상부링을실리콘부품접합장치에장착하는단계; 하부링과상부링접합면의결합요철구조에단결정실리콘분말을투입하는단계; 및상기하부링과상부링사이의접합면을가열융착하는단계;를포함하여구성되는것을특징으로하므로, 상기한조립구조의실리콘파우더와고주파가열장치를이용하여실리콘부품을융착결합함으로써식각및 성막의품질을제고할수 있다는이점이있다.

公开(公告)号：KR102312237B1

公开(公告)日：2021-10-12

申请号：KR1020170124185

申请日：2017-09-26

IPC分类号： H01L21/78 ,  H01L21/66 ,  H01L21/76 ,  B23K26/38 ,  B23K103/00

摘要： 본발명은레이저스폿형상을용이하게판정할수 있도록하는것을과제로한다. 검사용웨이퍼(TS)에대하여흡수성을갖는파장의펄스레이저광선을조사한다. 이조사에의해, 복수의레이저스폿(LS)을형성하여, 인접하는레이저스폿사이에는간극(S)이개재된다. 그후, 촬상수단(50)에의해레이저스폿을촬상하여, 제어수단(60)에의해촬상한레이저스폿화상으로부터레이저스폿의윤곽을추출하여, 기억수단(61)에미리기억되어있는이상의레이저스폿형상의윤곽과의유사도를산출한다. 그리고, 유사도가임계값을하회하는경우에, 레이저스폿형상은적정하지않다고판정하여그 취지를통지한다.