투명체의 제조 방법, 투명체 및 비정질체

    公开(公告)号:KR102441105B1

    公开(公告)日:2022-09-06

    申请号:KR1020177011076

    申请日:2015-09-25

    摘要: 신규비닐기함유화합물을사용한, 투명체의제조방법, 및이 제조방법으로얻어지는투명체를제공한다. 본발명에관련된투명체의제조방법은, 하기일반식 (1) 로나타내는비닐기함유화합물을상기화합물의융점이상의온도에서의가열에부여하는것을포함한다. 식중, W1 및 W2 는하기일반식 (2)(식중, 고리 Z 는방향족탄화수소고리, X 는단결합또는 -S- 로나타내는기, R1 은단결합또는탄소수 1 ∼ 4 의알킬렌기, R2 는 1 가탄화수소기등의특정치환기, m 은 0 이상의정수이다.) 로나타내는기, 하기일반식 (4) 로나타내는기 (식중, 고리 Z, X, R1, R2, 및 m 은상기와같다.), 수산기, 또는 (메트)아크릴로일옥시기, 고리 Y1 및고리 Y2 는방향족탄화수소고리, R 은단결합또는특정 2 가기, R3a 및 R3b 는시아노기, 할로겐원자, 또는 1 가탄화수소기, n1 및 n2 는 0 ∼ 4 의정수이다. TIFF112017039941615-pct00075.tif31140

    포토레지스트 조성물 및 이를 이용한 미세패턴 형성방법

    公开(公告)号:KR102205849B1

    公开(公告)日:2021-01-21

    申请号:KR1020130149059

    申请日:2013-12-03

    摘要: 개선된포토레지스트조성물을이용하여패턴형성을용이하게할 수있는포토레지스트조성물및 이를이용한미세패턴형성방법이개시된다. 상기포토레지스트조성물은, 하기화학식 1로표시되는단량체를포함하는감광성고분자화합물, 광산발생제, 산확산조절제및 유기용매를포함한다. [화학식 1] JPEG112013110539940-pat00300.jpg3523 상기화학식 1에서, R1은산소(O) 원자및/또는질소(N) 원자등을 1 내지 10개포함하거나포함하지않는탄소수 1 내지 45의선형, 가지형및/또는고리형탄화수소기이고, R2는불소(F) 원자및 산소원자 1 내지 20개를포함하거나포함하지않는탄소수 1 내지 20의선형, 가지형및/또는고리형탄화수소기이고, R7은수소(H) 원자이거나, 할로겐원자 1 내지 7개를포함하거나포함하지않는탄소수 1 내지 5의탄화수소기이며, a는설포닐기(-SO2-) 및 R2를포함하는반복단위의개수로서, 1 또는 2이다.

    중합성 단량체, 고분자 화합물, 포토레지스트용 수지조성물 및 반도체의 제조 방법
    9.
    发明公开
    중합성 단량체, 고분자 화합물, 포토레지스트용 수지조성물 및 반도체의 제조 방법 无效
    可聚合单体,聚合物化合物,光催化剂的树脂组合物和生产半导体的方法

    公开(公告)号:KR1020060018894A

    公开(公告)日:2006-03-02

    申请号:KR1020057024220

    申请日:2004-06-09

    IPC分类号: C08F20/26 C08F16/26 G03F7/039

    摘要: Disclosed is a polymerizable monomer represented by the following formula (1): (1) (wherein R1, R 2 and R3 respectively represent a hydrogen atom, a fluorine atom, an alkyl group or a fluoroalkyl group; W represents a single bond or a linking group; and n is 0 or 1. When n is 1, at least one of R 1, R2 and R3 is a fluorine atom or a fluoroalkyl group. A ring in the formula may have a substituent.) The polymerizable monomer can provide a polymer for photoresists with appropriate hydrophilicity, or appropriate hydrophilicity and transparency.

    摘要翻译: 公开了由下式(1)表示的可聚合单体:(1)(其中R 1,R 2和R 3分别表示氢原子,氟原子,烷基或氟代烷基; W表示单键或 连接基团,n为0或1.当n为1时,R 1,R 2和R 3中的至少一个为氟原子或氟代烷基,式中的环可以具有取代基。)聚合性单体可以提供 用于具有适当亲水性或适当亲水性和透明度的光致抗蚀剂的聚合物。

    개량된 하이드록시기 함유 비닐에테르 중합체의 제조 방법
    10.
    发明公开
    개량된 하이드록시기 함유 비닐에테르 중합체의 제조 방법 审中-公开
    生产含羟基乙烯基醚聚合物的改进方法

    公开(公告)号:KR20180019077A

    公开(公告)日:2018-02-23

    申请号:KR20177033394

    申请日:2016-06-29

    摘要: [과제]중합개시제의사용량을줄이면서, 모노머전화율을향상시키고, 또한폴리아세탈의생성을억제함으로써, 잔존모노머나개시제잔사등의저비점불순물이나폴리아세탈등을제거하는공정이불필요해지는간편하고또한효율적인하이드록시기함유비닐에테르중합체의제조방법. [해결수단]중합용매로서물 및중합개시제로서하기식(1): (식중, R∼R는, 각각독립하여수소원자또는알킬기를나타내고, R및 R는, 각각독립하여치환기를가지고있어도되는알콕시기또는치환기를가지고있어도되는알킬아미노기를나타낸다.)로표시되는아조계화합물의존재하, 하기식(2): (식중, R는직쇄상, 분기상또는지환구조를포함하는알킬렌기를나타내고, p는 1, 2 또는 3이다.)로표시되는하이드록시기를가지는비닐에테르를라디칼중합한다.

    摘要翻译: 本发明提供一种简便且高效的含羟基乙烯基醚聚合物的制造方法,该方法不需要除去残留单体,引发剂残渣等低沸点杂质,聚缩醛等的工序, 通过提高单体转化率来制备聚缩醛,同时减少所用聚合引发剂的量。 由式(2)表示的具有羟基的乙烯基醚在作为聚合溶剂的水和作为聚合引发剂的由式(1)表示的偶氮化合物的存在下自由基聚合。 (式(1)中,R 1〜R 4各自独立地表示氢原子或烷基,R 5和R 6分别独立地表示可以具有取代基的烷氧基或可具有取代基的烷基氨基。)(式(2)中, R7代表含直链,支链或脂环结构的亚烷基; p代表1,2或3)