公开(公告)号：KR880700836A

公开(公告)日：1988-04-12

申请号：KR870700595

申请日：1987-07-08

IPC分类号： C08G65/32 ,  C08G65/00 ,  C08G65/323 ,  C10M107/38 ,  C10M119/22

摘要： 내용없음

公开(公告)号：KR880700834A

公开(公告)日：1988-04-12

申请号：KR870700594

申请日：1987-07-08

IPC分类号： C08G65/32 ,  C08G4/00 ,  C08G65/00 ,  C08G65/323 ,  C10M107/38 ,  C10M119/22

摘要： 내용없음

公开(公告)号：KR20210023708A

公开(公告)日：2021-03-04

申请号：KR20200100846

申请日：2020-08-12

IPC分类号： C10M147/04 ,  C10M107/32 ,  C10M107/38 ,  C10M119/22 ,  C10N50/00 ,  G03G15/20 ,  G03G17/08

摘要： 겉보기점도의전단속도의존성이작은윤활제조성물이제공된다. 상기윤활제조성물은기유로서의퍼플루오로폴리에테르및 증점제로서의불소수지입자를포함한다. 상기윤활제조성물은또한테트라플루오로에틸렌구조를갖는불소-함유중합체를상기퍼플루오로폴리에테르에용해된상태로포함한다.

公开(公告)号：KR102021703B1

公开(公告)日：2019-09-16

申请号：KR1020180116732

申请日：2018-10-01

申请人： 최인석

发明人： 최인석 ,  김광식

IPC分类号： C10M169/06 ,  C10M107/38 ,  C10M119/22 ,  C10M119/02 ,  C10M151/04 ,  C10N50/10

公开(公告)号：KR1020170035792A

公开(公告)日：2017-03-31

申请号：KR1020160116292

申请日：2016-09-09

申请人： 램 리써치 코포레이션

发明人： 베르케아론 ,  쿠마산토쉬 ,  추아리펭 ,  래쉬로버트

IPC分类号： C25D17/00 ,  C25D17/06 ,  C25D3/30 ,  C25D3/46 ,  C10M119/26 ,  C10M119/22 ,  H01L21/288

CPC分类号： C25D17/001 ,  C25D3/60 ,  C25D17/004 ,  C25D17/005 ,  C25D17/06

摘要： 전기도금동안웨이퍼들을인게이지하기위한전기도금컵들이개시되고, 전기도금컵은링-형상컵 하단부, 탄성체시일부, 및전기적콘택트엘리먼트를포함할수 있다. 컵하단부는전기도금용액에반복적으로노출될수도있다. 컵하단부는비도전성재료를포함하고그 위에고체윤활제코팅이도포될수 있다. 고체윤활제코팅은비도전성재료의용융온도미만과같은상대적으로저온에서경화될수 있고, 내구성이있을수 있고소수성일수 있다.

摘要翻译： 公开了用于在电镀期间接合晶片的电镀杯，其中电镀杯可以包括环形杯底部分，弹性体部分和电接触元件。 杯子的底部可以重复暴露于电镀溶液。 杯子的下部包含可以施加固体润滑剂涂层的非导电材料。 固体润滑剂涂层可以在相对较低的温度下硬化，例如低于非导电材料的熔化温度，并且可以是耐久的和疏水的。