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公开(公告)号：KR102473552B1
公开(公告)日：2022-12-05
申请号：KR1020170092479
申请日：2017-07-21
摘要： 상향식증착장치및 기판얼라인장치가개시된다. 본발명의일 측면에따르면, 기판에증착물질을증착하기위한증착장치로서, 내부에증착공간이마련되는증착챔버와; 상기증착공간의하부에위치하여상향으로증착입자가분출되는증착원과; 상기증착챔버의상측에배치되며, 상기증착공간을촬영하는비젼부와; 상기증착공간내부에위치하며상기기판의단부를지지하는기판홀더와; 빛이투과하는투명의재질로이루어지고상기비젼부에의해촬영되는제1 정렬마크가형성되며, 하면에상기기판홀더의상기기판이부착되어상기기판의위치를결정하는투명스테이지와; 상기기판의하면에대향하여배치되고제2 정렬마크가형성되는마스크를지지하는마스크홀더와; 상기비젼부의촬영영상에따라상기투명스테이지의위치를제어하는위치제어부를포함하는, 상향식증착장치가제공된다.
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公开(公告)号：KR102463400B1
公开(公告)日：2022-11-07
申请号：KR1020150159961
申请日：2015-11-13
摘要： 본발명은클로깅현상을방지하기위한증발원에관한것으로, 증착물질이수용되는도가니와, 상기도가니의상부에설치되어상기증착물질을기판상에고르게분사하기위한홀이구비되는디퓨저와, 상기도가니에수용된증착물질이확산배출되어상기기판에증착되도록도가니를가열시키는적어도하나이상의가열체와, 상기도가니의외연에설치된가열체를감싸도록설치되는적어도하나이상의냉각장치와, 상기가열체로부터외측방향으로의복사열전달을차폐시키기위해상기냉각장치와가열체사이에설치되는적어도하나이상의리플렉터와, 상기가열체와리플렉터사이에삽입되는구조로설치되며, 상기가열체의열을상기디퓨저에열전도방식으로전달하도록상기디퓨저와일부분이접촉하게설치되는셀링을포함함으로써, 증발원의상부또는디퓨저의하부에생기는클로깅을방지하여, 박막증착효율과물질의사용효율을증대시킴과아울러기판상에증착되는박막의균일도를향상시킬수 있다.
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公开(公告)号：KR102459945B1
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：KR1020200137045
申请日：2020-10-21
摘要： 본발명은, 기판처리장치에관한것으로서, 보다상세하게는기판에대하여증착등 기판처리를수행하는기판처리장치및 이를이용한기판처리방법에관한것이다. 본발명은, 기판처리를위한처리공간(S)을형성하는공정챔버(100)와; 상기공정챔버(100) 하측에배치되며상기공정챔버(100) 상측을향해증착물질을증발시키는증발증착원(200)과; 상기공정챔버(100) 상측에서상기기판(10)의기판처리면이상기증발증착원(200)을향하도록상기기판(10)을지지하는기판지지부(300)와; 상기기판(10)의상기기판처리면에대향하는마스크(20)의가장자리를지지하는마스크지지부(400)와; 상기기판(10)과상기마스크(20) 사이의상대수평위치를얼라인하기위한얼라인부(500)를포함하는기판처리장치를개시한다.
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公开(公告)号：KR1020220090442A
公开(公告)日：2022-06-29
申请号：KR1020210182856
申请日：2021-12-20
摘要： 실시예들은기판상에금속옥소포토레지스트를형성하는방법을포함한다. 일실시예에서, 방법은진공챔버에타겟을제공하는단계를포함하며, 여기서, 타겟은금속을포함한다. 방법은, 탄화수소가스및 불활성가스를진공챔버내로유동시키는단계, 및진공챔버에서플라즈마를점화시키는단계로계속될수 있다. 일실시예에서, 방법은추가로, 기판상에금속옥소포토레지스트를증착하는단계로계속되며, 여기서, 금속옥소포토레지스트는금속-탄소결합들및 금속-산소결합들을포함한다.
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公开(公告)号：KR1020220088625A
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：KR1020210181668
申请日：2021-12-17
摘要： 본발명은유기고분자필름및 그의제조방법을개시한다. 유기고분자필름은주로다음과같은단계를거쳐제조된다. 먼저, (A) 단계는자일렌전구체및 기판을제공하고, (B) 단계는기판을플라즈마장비내부에배치시킨다. 그런다음, (C) 단계는자일렌전구체의증기를운반하는캐리어가스를도입하는한편플라즈마장비를진공화하고, (D) 단계는플라즈마장비의펄스전원공급시스템을가동하여플라즈마점화를위한단펄스를생성한다. 마지막으로, (E) 단계는기판상에유기고분자막을형성한다. 전술한단계에서, 단펄스플라즈마의주파수는 1Hz ~ 10,000Hz 사이이고, 단펄스플라즈마의펄스주기는 1μs ~ 60μs이다.
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公开(公告)号：KR102407505B1
公开(公告)日：2022-06-13
申请号：KR1020200051992
申请日：2020-04-29
IPC分类号： C23C14/56 , C23C14/50 , C23C14/24 , C23C14/04 , H01L51/56 , H01L51/00 , H01L21/68 , C23C14/12
摘要： 본발명은공정챔버와; 상기공정챔버의입구측에설치되며, 기판이지지된기판지지부를수평상태에서수직상태로틸팅시키는틸팅유닛과; 상기틸팅유닛을통해수직상태로세워진기판지지부를상기공정챔버내로이송시키는이송유닛과; 상기공정챔버에설치되며, 상기이송유닛을통해이송된기판지지부를세워진상태로로딩하여얼라인시키는얼라인유닛; 및상기공정챔버내에서증착소스를수평이동시켜상기기판지지부의기판에증착물질이증착되도록하는증착소스구동부;를포함하는, 증착장치및 인라인증착시스템에관한것이다.
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公开(公告)号：KR102407350B1
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：KR1020170095518
申请日：2017-07-27
摘要： 본발명은기판에증착물질을증착시키는증착챔버의퍼니스에관한것으로본 발명에따르면, 기판에증착물질을증착시켜주기위한증착챔버에마련되는증착챔버용퍼니스(furnace)에있어서, 증착물질이수용되는수용공간을제공하는수용부; 상기수용부의상측에위치하며, 상기수용공간내에서증발되는상기증착물질이분사되는분사구를형성하는분사노즐이하나또는다수포함된노즐부; 및상기수용부와상기노즐부사이에배치되어상기수용부와상기노즐부사이를연통시켜주는가이드연통부; 를포함하되, 상기가이드연통부는상기분사노즐의위치가조정될수 있도록유연성을갖추고있으므로기판위치의변화등에대응하여분사노즐의분사위치가조절될수 있게되어다수의기판에대한증착물질의증착균일도를확보또는증진시켜줄수 있는기술이개시된다.
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公开(公告)号：KR102396791B1
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：KR1020150093388
申请日：2015-06-30
IPC分类号： C23C14/12 , H01L51/56 , H01L51/00 , H01L21/683
摘要： 본발명의일 측면에따르면, 바닥면에관통홀이형성되는진공챔버; 상기진공챔버내부에위치하며상기관통홀과연통되는유입구가형성되는분사부; 상기진공챔버의외부에구비되며상기진공챔버의상기관통홀과연결되는개구부를구비하는밸브본체와, 상기개구부를개폐하는기밀부를포함하는진공밸브; 증발물질이수용하며, 승강에따라상기개구부를관통하여상기유입구와착탈되는도가니; 및상기도가니가상기유입구에착탈되도록상기도가니를승강시키는승강부를포함하는, 증착장치가제공된다.
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公开(公告)号：KR102391292B1
公开(公告)日：2022-04-27
申请号：KR1020210180091
申请日：2021-12-15
摘要： 본발명은박막증착용하이브리드마스크, 이의제조방법및 이를포함한마스크조립체를제공한다. 본발명의박막증착용하이브리드마스크는, 서로평행하게배치된제1 및제2 서포터; 상기제1 및제2 서포터와교차하며서로평행하게배치된제3 및제4 서포터; 상기제3 및제4 서포터사이에배치된복수의제5 서포터; 상기제1 및제2 서포터사이에배치된복수의제6 서포터; 상기제1 내지제6 서포터들각각으로부터연장된제1 내지제6 연장부; 및상기제1 내지제6 서포터는복수의개구부를구획하고, 상기개구부를구획하는제1 내지제6 서포터상에형성된복수의택 패턴부를포함하고, 상기택 패턴부는상기제1 내지제6 서포터의두께보다얇은하프톤영역을구비하고, 상기하프톤영역에는제1 얼라인마커를구성하는얼라인홀이형성된것을특징으로한다.
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