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公开(公告)号：KR102470280B1
公开(公告)日：2022-11-28
申请号：KR1020200137046
申请日：2020-10-21
摘要： 본발명은, 기판처리장치에관한것으로서, 보다상세하게는기판에대하여증착등 기판처리를수행하는기판처리장치및 이를이용한기판처리방법에관한것이다. 본발명은, 기판처리를위한처리공간(S)을형성하는공정챔버(100)와; 상기처리공간(S) 내에설치되며증착물질을증발시키는증발증착원(200)과; 기판(10)의기판처리면이상기증발증착원(200)을향하도록상기기판(10)을지지하는기판지지부(300)와; 상기증발증착원(200)에서증발되는증착물질을차폐하기위한셔터부(400)를포함하는기판처리장치를개시한다.
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公开(公告)号：KR102464191B1
公开(公告)日：2022-11-09
申请号：KR1020200143641
申请日：2020-10-30
摘要： 본발명은도가니의상부부분의두께를균일하게변경하여도가니의위치별온도차이를최소화함으로써, 도가니상부에알루미늄이증착되는현상을방지하고, 사용수명을연장시킬수 있는진공증착용도가니에관한것이다. 이를위하여본 발명은증착대상의금속물질을담기위한내부공간이마련되는몸체부및 몸체부와일체를이루고, 몸체부의단면과동일한제1두께를가지며, 몸체부의상단에서안쪽방향으로제1각도로기울어져형성되는제1 경사부와제1 경사부의끝단에서다시바깥쪽방향으로제2각도로기울어져형성되는제2 경사부를포함하는입구부를포함한다.
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公开(公告)号：KR102464807B1
公开(公告)日：2022-11-07
申请号：KR1020220010058
申请日：2022-01-24
摘要： [과제] 증발원장치에있어서, 온도의저하를억제하면서, 증착재료가통과하는개구의위치제어를행할수 있는증발원장치를제공한다. [해결수단] 증착재료가수용되는, 개구를가지는용기와, 용기를가열하는가열수단과, 용기와, 가열수단을수용하는수용부재를가지는증발원장치로서, 수용부재는, 용기지지부와, 측면부와, 위치결정부를포함하고, 용기지지부는, 용기의저부의외측의적어도일부를지지하고, 위치결정부는, 측면부로부터용기에대해서봉상또는판상으로돌출하여설치되어있는것을특징으로하는증발원장치를이용한다.
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公开(公告)号：KR102429173B1
公开(公告)日：2022-08-03
申请号：KR1020160183192
申请日：2016-12-30
IPC分类号： B01J37/02 , B01J35/04 , B01J23/89 , B01J23/42 , C23C14/24 , C23C14/34 , C23C14/14 , B01J37/08
摘要： 본발명은이온성액체를사용하지않고수용해성파우더인글루코스기판에백금-구리의합금나노입자를증착하고, 이를탄소가분산되어있는분산용액에녹여백금과구리의합금나노입자가탄소에담지되며, 산처리하여다공성을갖는탄소에담지된다공성백금-구리합금촉매에관한것으로, 기존의화학적또는물리적합성방법이가지고있던환경적문제, 비용적문제및 제조과정의복잡성을완전히해결한연료전지용고활성의합금촉매에관한것이다.
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公开(公告)号：KR102428287B1
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：KR1020180003692
申请日：2018-01-11
摘要： [과제] IGZO 막과같은산화물반도체를채널층으로하는 TFT에적용하는경우, TFT의특성이나신뢰성에있어우수한 IGZO 막의성막방법, 및이러한 IGZO 막의성막에적합한진공처리장치를제공한다. [해결수단] 인듐, 갈륨및 아연을포함하는소결체를타겟(42a)으로하고, 이타겟을설치한진공처리실(Vc4) 내부에처리대상물(W)을배치하여, 진공처리실이소정의압력으로진공배기되면, 방전용가스와산소가스를도입하고, 타겟에소정전력을투입하여타겟을스퍼터링함으로써, 반응성스퍼터에의해처리대상물의표면에 IGZO 막을성막하는본 발명에따른성막방법은, 타겟스퍼터링개시에앞서진공처리실내의수분압을 1×10-5Pa ~ 1×10-3Pa의범위로하는공정을포함한다.
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公开(公告)号：KR102427670B1
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：KR1020150144737
申请日：2015-10-16
摘要： 본발명은증착장치와이를이용하는유기발광디스플레이제조방법을개시한다. 프레임과, 상기프레임에지지되는오픈마스크와, 증착패턴부가상기오픈마스크의상부에배치되고, 양단은상기프레임에고정되는복수개의스틱마스크를포함하며, 상기오픈마스크는양단에위치하는제1 개구부및 상기제1 개구부의크기보다크고, 상기제1 개구부사이에배치되는제2 개구부를구비하고, 상기복수개의스틱마스크중 어느하나의스틱마스크의증착패턴부와이웃하는다른하나의스틱마스크의증착패턴부는상기제2 개구부에배치된다.
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公开(公告)号：KR1020220082739A
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：KR1020210166470
申请日：2021-11-29
摘要： [과제] 방착판의유지보수작업성을향상시키면서, 방착성능의저하를방지한다. [해결수단] 기판에증착물질을방출하는증착원과, 상기증착원에의한증착물질의방출범위를규제하는방착판유닛을구비한성막장치로서, 상기방착판유닛은, 상기증착원의주위방향으로인접하여배치된복수의방착판을구비하고, 인접하는상기방착판의, 상기주위방향의가장자리부가서로겹쳐있다.
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公开(公告)号：KR1020220076324A
公开(公告)日：2022-06-08
申请号：KR1020210159405
申请日：2021-11-18
摘要： [과제] 성막불량이나반송롤러의동작불량을방지하는효과가높은, 인라인형의성막장치의반송롤러에설치되는집진커버를제공하는것이다. [해결수단] 기판을반송하면서성막하는인라인형의성막장치의반송장치는, 재치된기판을반송하는복수의반송롤러와, 복수의반송롤러마다설치되어, 반송롤러를둘러싸는집진커버를구비하고, 집진커버는, 반송롤러의축 방향에서반송롤러의기판측의측면을덮는전면부와, 반송롤러의상측을덮는상면부를포함하고, 상면부는, 반송롤러의상방둘레면을노출시키는개구부를갖는다.
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