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公开(公告)号：KR102219069B1
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：KR1020167001430
申请日：2014-06-17
申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
发明人： 니키펠로브안드레이 , 프린스올라브 , 드브리스고세 , 룹스트라에릭 , 바닌바딤 , 드야거피터 , 돈커릴포 , 니엔후이스한-광 , 크라징아보르게르트 , 엥엘런바우터르 , 라위턴오트헤르 , 아케르만요한네스 , 흐리밍크레오나르두스 , 리트비넨코블라디미르
摘要： 자유전자레이저를사용하여 EUV 방사선을생성하는단계; 상기 EUV 방사선을리소그래피기판상에투영하는리소그래피장치로상기 EUV 방사선을전달하는단계; 및피드백-기초제어루프를사용하여상기자유전자레이저를모니터링하고모니터링에상응하여상기자유전자레이저의동작을조절함으로써, 상기리소그래피기판에전달된 EUV 방사선의파워의요동(fluctuation)을감소시키는단계를포함하는, 리소그래피기판의패터닝방법.
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公开(公告)号：KR101885011B1
公开(公告)日：2018-08-02
申请号：KR1020167019974
申请日：2015-01-20
申请人： 니폰게이긴조쿠가부시키가이샤 , 가부시키가이샤 씨아이씨에스 , 가부시키가이샤 신타란도
IPC分类号： C04B35/553 , C04B35/645 , C04B37/00 , A61N5/10 , G21K1/10
CPC分类号： C04B35/553 , A61N5/10 , A61N2005/109 , A61N2005/1095 , B32B18/00 , C04B35/645 , C04B37/001 , C04B2235/3206 , C04B2235/6562 , C04B2235/6567 , C04B2235/666 , C04B2235/72 , C04B2237/36 , G21K1/10
摘要： 균열또는절결을억제하여상대밀도를높인불화마그네슘소결체의제조방법, 중성자모더레이터의제조방법및 중성자모더레이터를제공한다. 불화마그네슘소결체의제조방법은, 불화마그네슘분말재를금형에태핑충전을행하는분체충전공정 S1과, 충전된불화마그네슘분말재를, 펄스를통전하면서소결하는펄스통전소결을행하여, 불화마그네슘소결체(중간체)를얻는중간체소결(펄스통전소결) 공정 S2를포함한다.
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公开(公告)号：KR101749305B1
公开(公告)日：2017-07-03
申请号：KR1020130064935
申请日：2013-06-05
申请人： 한국전자통신연구원
CPC分类号： G21K1/10 , A61B6/032 , A61B6/4035 , A61B6/542
摘要： 엑스선분포교정필터, CT 촬영장치및 그방법이개시된다. 본발명의일 실시예에따른엑스선분포교정필터는내부가비어있고, 회전시에회전각도에따라그 형태가변경되어피사체를향해조사되는엑스선의강도분포를조절한다..
摘要翻译： 公开了一种X射线分布校正滤波器，一种CT成像装置及其方法。 根据本发明的实施例的X射线分布校准滤波器是中空的，并根据旋转时的旋转角度改变其形状，以调节照射到对象的X射线的强度分布。
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公开(公告)号：KR100842952B1
公开(公告)日：2008-07-01
申请号：KR1020057022080
申请日：2004-05-07
申请人： 지멘스 악티엔게젤샤프트
发明人： 호하이젤,마르틴 , 스클레빗츠,하르트무트
摘要： 본 발명은 서로 간격을 두고 배치된 다수의 흡수 부재들을 갖는 지지부를 포함하고 객체에 의해 산란하는 이차 방사선을 흡수하기 위한 산란방지 및 시준을 수행하는 장치에 관한 것으로, 상기 흡수 부재들(16, 24, 31)은 작은 관 형태 또는 핀 형태로 형성되고, 상기 지지부(14, 29) 상에 제공되는 플러그인(plug-in) 고정부 또는 클램핑(clamping) 고정부(15, 21, 23, 28, 30)에 고정된다.
摘要翻译： 用于吸收由物体散射的二次辐射的散射辐射网格包括支撑件和固定到支撑件的多个间隔开的吸收元件。 多个吸收元件包括通过插入或夹紧固定件固定到支撑件上的较小管或销。
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公开(公告)号：KR102391598B1
公开(公告)日：2022-04-27
申请号：KR1020167027174
申请日：2015-03-05
摘要： 본발명은 x선콜리메이터에관한것으로, 기판(10)에다수의구멍들(30)이형성되어있고, 각구멍은단부에절두원추형부분(40)이있고타단부에는관형ㅂ부위(50)가있어, x선촬영장치에사용할수 있으며, 이런 x선콜리메이터는 2차원배열의 x선소스(70) 및 2차원 x선센서(130)와정렬되어, x선소스의 x선광자들이콜리메이터의구멍들을통과한다음좁은앵글콘으로 x선광자빔으로방출되는데, 이런광자빔은콜리메이터의출구구멍들과 x선센서사이에위치한촬영할물체(110)를투과한다.
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8.发明授权
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公开(公告)号：KR1020160102048A
公开(公告)日：2016-08-26
申请号：KR1020167019974
申请日：2015-01-20
申请人： 니폰게이긴조쿠가부시키가이샤 , 가부시키가이샤 씨아이씨에스 , 가부시키가이샤 신타란도
IPC分类号： C04B35/553 , C04B35/645 , C04B37/00 , A61N5/10 , G21K1/10
CPC分类号： C04B35/553 , A61N5/10 , A61N2005/109 , A61N2005/1095 , B32B18/00 , C04B35/645 , C04B37/001 , C04B2235/3206 , C04B2235/6562 , C04B2235/6567 , C04B2235/666 , C04B2235/72 , C04B2237/36 , G21K1/10
摘要： 균열또는절결을억제하여상대밀도를높인불화마그네슘소결체의제조방법, 중성자모더레이터의제조방법및 중성자모더레이터를제공한다. 불화마그네슘소결체의제조방법은, 불화마그네슘분말재를금형에태핑충전을행하는분체충전공정 S1과, 충전된불화마그네슘분말재를, 펄스를통전하면서소결하는펄스통전소결을행하여, 불화마그네슘소결체(중간체)를얻는중간체소결(펄스통전소결) 공정 S2를포함한다.
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公开(公告)号：KR101647062B1
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：KR1020160002611
申请日：2016-01-08
申请人： 서강대학교산학협력단
摘要： 본발명은다중경로톰슨산란을이용한플라즈마진단시스템에관한것이다. 상기플라즈마진단시스템은, 플라즈마내의서로다른영역에광집속되는제1 및제2 광집속부를구비하고, 상기광원으로부터제공된레이저빔 펄스를이용하여, 제1 및제2 광집속부에수직편광상태의레이저빔 펄스와수평편광상태의레이저빔 펄스를제공하는광학계; 상기제1 광집속부에의해집속된레이저빔 펄스에의해플라즈마에서산란된신호들을집광한제1 집광신호및 상기제2 광집속부에의해집속된레이저빔 펄스에의해플라즈마에서산란된신호들을집광한제2 집광신호를측정하여제공하는집광계; 및상기집광계에의해측정된제1 및제2 집광신호들을이용하여, 플라즈마에대한톰슨산란신호를측정하는제어부;를구비하고, 상기제1 및제2 집광신호는집속된레이저빔 펄스의편광상태에따라톰슨산란신호와배경산란잡음신호가혼합되어구성된혼합신호및 배경산란잡음신호중 하나로구성된다. 본발명에따른다중경로톰슨산란을이용한플라즈마진단시스템은플라즈마의서로다른 2 영역에레이저빔 펄스를광집속하여다중경로로산란을발생시키고, 플라즈마로부터산란된신호들을다중으로측정함으로써, 정확한산란신호들의측정이가능하다.
摘要翻译： 本发明涉及使用多径Thomson散射的等离子体诊断系统。 该系统包括：具有第一和第二光束收集单元的光学系统，用于在等离子体内的不同区域收集光束，并且使用从光源提供的激光束脉冲来向第一和第二光束收集提供垂直和水平偏振的激光束脉冲 单位; 准直系统，测量由第一光束收集单元收集的激光束脉冲对等离子体中散射的信号进行准直的第一准直光束信号;以及第二准直光束信号，通过由第二光束收集部收集的激光束脉冲对散射在等离子体中的信号进行准直 提供第一和第二测量的准直束信号的单元; 以及控制单元，用于通过使用由准直系统测量的第一和第二准直波束信号来测量相对于等离子体的汤姆逊散射信号。 第一和第二准直波束信号由背景散射噪声信号或通过根据所收集的激光束脉冲的偏振状态将汤姆逊散射信号与背景散射噪声信号混合而形成的混合信号形成。 根据本发明，系统在等离子体的两个不同区域中收集激光束脉冲以产生多径散射，并且测量从等离子体多次散射的信号，由此精确地测量散射信号。
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