기판 처리 방법 및 기판 처리 장치

    公开(公告)号:KR102483802B1

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:KR1020207013563

    申请日:2018-10-09

    摘要: 실리콘산화막과실리콘질화막이표면에서노출된기판에실리콘을포함하는인산수용액을공급하여, 실리콘질화막을선택적으로에칭하는기판처리방법. 이방법은, 규정실리콘농도범위의실리콘을포함하는인산수용액을탱크에저류하는공정과, 탱크내의인산수용액을노즐에공급하고, 노즐로부터기판에인산수용액을공급하여기판을처리하는공정과, 기판의처리를위해사용된인산수용액을탱크에회수하는회수공정과, 탱크에제 1 농도로실리콘을포함하는제 1 인산수용액을공급하는제 1 인산수용액공급공정과, 탱크에제 1 농도보다낮은제 2 농도로실리콘을포함하는제 2 인산수용액을공급하는제 2 인산수용액공급공정과, 소정의보충개시조건이충족되면, 제 1 및제 2 인산수용액공급공정을개시하는개시판정공정과, 제 1 및제 2 인산수용액의공급량을결정하는공급량결정공정을포함한다.

    제철부산물 활용 기반 친환경 PHC파일 주면 고정액 조성물

    公开(公告)号:KR102483753B1

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:KR1020200131687

    申请日:2020-10-13

    摘要: 본발명은제철부산물활용기반친환경 PHC파일주면고정액조성물에관한것으로서, 더욱상세하게는매입말뚝공법의기존시멘트계혼화재기반의주면고정액을친환경적이며, 시공성이좋고체적변화를줄일수있으며염해, 황산염저항성등의외부환경인자에대해높은내구성을갖도록하는제철부산물활용기반친환경 PHC파일주면고정액조성물에관한것이다. 본발명의바람직한일 실시예는물과시멘트를혼합한조성물에있어서, 시멘트 100중량부를기준으로 40중량부를페로니켈슬래그미분말로대체하며, 총중량대비혼화제 0.2~0.3중량부를추가혼합하여이루어진다.

    근적외선 흡수 화합물 및 이를 포함하는 장치

    公开(公告)号:KR102482834B1

    公开(公告)日:2022-12-29

    申请号:KR1020197010781

    申请日:2017-10-17

    IPC分类号: C09K9/02 G02F1/1514

    摘要: 전기변색장치는조성식 (I)의화합물을포함하되, JPEG112019038574719-pct00017.jpg51123(I) R1 및 R2는개별적으로알킬, 알콕시또는아릴옥시이고; R3, R4, R5, R6, R7, R8은개별적으로 H, 알콕시또는아릴옥시이고; R9 및 R10은개별적으로알콕시또는아릴옥시이거나, R1 및 R2 알킬이고, R9 및 R10은개별적으로 H, 알콕시또는아릴옥시이고; R11 및 R12는개별적으로알킬또는 -(CH2)nN+(R20)3 [X]이되, n은 1 내지 20이고; 각각의 R20은개별적으로알킬이고; X는음이온이다.

    연마 입자 및 이의 형성 방법

    公开(公告)号:KR102481559B1

    公开(公告)日:2022-12-28

    申请号:KR1020227013432

    申请日:2017-05-10

    摘要: 연마입자는제 1 주면, 제 1 주면에대향하는제 2 주면, 및제 1 주면과제 2 주면사이에서연장되는측면을포함하는몸체를가지고, 측면의대부분은다수의미세리지 (microridge)를포함한다.

    액정 배향제, 액정 배향막, 및 액정 표시 소자

    公开(公告)号:KR102482054B1

    公开(公告)日:2022-12-27

    申请号:KR1020197010128

    申请日:2017-09-11

    摘要: 하기 (A) 성분, 및하기 (B) 성분을함유하는액정배향제. 또한, 하기식 (1) ∼하기식 (3) 중의기호의정의는, 명세서에기재된바와같다. (A) 성분 : 방향족구조를함유하는테트라카르복실산 2 무수물을함유하는테트라카르복실산 2 무수물성분과, 하기 (1) ∼ (3) 중어느것을구조중에갖는디아민및 파라페닐렌디아민으로부터선택되는적어도 1 종의디아민을함유하는디아민성분을반응시켜얻어지는폴리아믹산 (B) 성분 : 에폭시기, 비닐기, 스티릴기, 메타크릴기, 아크릴기, 우레이드기, 메르캅토기, 이소시아네이트기로이루어지는군에서선택되는기를말단에갖는알콕시실란화합물. JPEG112019036128767-pct00030.jpg1945JPEG112019036128767-pct00031.jpg22101JPEG112019036128767-pct00032.jpg2374

    나무껍질 및 목재 섬유 성장 배지

    公开(公告)号:KR102481020B1

    公开(公告)日:2022-12-26

    申请号:KR1020177002294

    申请日:2015-06-29

    摘要: 성장배지의제조방법은나무껍질및/또는목재성분을함께조합하여초기조성물을형성하는단계; 초기조성물을가압용기에서증기하에약 149℃초과의온도까지가열하는단계; 초기조성물을복수의배치디스크를갖는제련기를통해가공하여섬유성성장배지를수득하는단계로서, 제련기는섬유를서로로부터분리하는, 단계를포함하며, 여기서성장배지는 88 부피% 이상의총 다공성을갖는다.

    분산형 화학열 저장장치
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:KR102480032B1

    公开(公告)日:2022-12-26

    申请号:KR1020210109874

    申请日:2021-08-20

    IPC分类号: F24D11/00 F24D19/10 C09K5/14

    摘要: 본명세서는, 축열물질을포함하고, 축열모드에서제1유체로부터열을공급받아축열물질이방열물질에서분리되면서축열하고, 방열모드에서축열물질이방열물질과결합하면서발열하여제1유체에열을공급하는화학열저장조; 축열모드에서, 열공급관을통해열원측으로부터수요측으로이동하는제2유체로부터제1유체로열교환하고, 열교환된제1유체를화학열저장조에공급하는제1열교환기; 방열물질를포함하고, 방열모드에서제1유체를통해방열물질을화학열저장조에공급하는방열물질공급기; 및방열모드에서, 화학열저장조로부터공급된제1유체로부터열공급관을통해이동하는제2유체로열교환하고, 열교환된상기제1유체를다시방열물질공급기에공급하는제2열교환기를포함하는분산형화학열저장장치를개시하고있다.

    압전성과 발광성이 동기화된 소재 및 이를 포함하는 소자

    公开(公告)号:KR102480363B1

    公开(公告)日:2022-12-23

    申请号:KR1020200100268

    申请日:2020-08-11

    IPC分类号: C09K11/02 C09K11/08 H10K50/00

    摘要: 본발명에따른압전성과발광성이동기화된소재는발광입자를포함하는코어(core)층; 및상기코어층의표면에부착되며, 압전특성을가지는리간드를포함하는외부(shell)층을포함함으로써, 압전성리간드와발광입자가화학적으로결합된단일 SPL 소재로압전성과발광성을동시에구현할수 있다.