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公开(公告)号:TWI637986B
公开(公告)日:2018-10-11
申请号:TW105111343
申请日:2016-04-12
申请人: 國立臺灣大學 , NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY
发明人: 石健忠 , SHIH, CHIEN CHUNG , 李文亞 , LEE, WEN YA , 呂謙 , LU, CHIEN , 吳泓錦 , WU, HUNG CHIN , 陳文章 , CHEN, WEN CHANG
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公开(公告)号:TW201625760A
公开(公告)日:2016-07-16
申请号:TW104140380
申请日:2015-12-02
发明人: 石澤英亮 , ISHIZAWA, HIDEAKI , 上野山伸也 , UENOYAMA, SHINYA
IPC分类号: C09J9/02 , C09J123/14 , C09J123/08 , H01L21/04
CPC分类号: H01B1/22 , H01B5/16 , H01L2224/11 , H01L2224/1152 , H01R4/04 , H01R43/00 , H05K3/32
摘要: 本發明提供一種可高精度地控制電極間之間隔,進而可有效率地將焊料粒子配置於電極上,而可提高電極間之導通可靠性之導電糊。 本發明之導電糊係用以將表面具有第1電極之第1連接對象構件與表面具有第2電極之第2連接對象構件進行連接而使上述第1電極與上述第2電極電性連接,且包含熱硬化性成分、複數個焊料粒子、及熔點為250℃以上之複數個間隔物,上述間隔物之平均粒徑大於上述焊料粒子之平均粒徑。
简体摘要: 本发明提供一种可高精度地控制电极间之间隔,进而可有效率地将焊料粒子配置于电极上,而可提高电极间之导通可靠性之导电煳。 本发明之导电煳系用以将表面具有第1电极之第1连接对象构件与表面具有第2电极之第2连接对象构件进行连接而使上述第1电极与上述第2电极电性连接,且包含热硬化性成分、复数个焊料粒子、及熔点为250℃以上之复数个间隔物,上述间隔物之平均粒径大于上述焊料粒子之平均粒径。
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公开(公告)号:TW201907571A
公开(公告)日:2019-02-16
申请号:TW107109099
申请日:2018-03-16
发明人: 泰勒 蓋瑞斯安德魯 , TAYLOR, GARETH ANDREW
IPC分类号: H01L29/861 , H01L29/16 , H01L21/04 , H01L21/329 , H01L29/06
摘要: 揭示一種電氣裝置(2)。該裝置包含一金剛石材料基板(4)以及複數個長狀金屬突起(18)各自延伸入該基板的凹部(6)。配置在各自的突起及該基板之間的摻雜半導體層(14)。當在該等突起及該基板之間施加電場時,該等半導體層表現為n型半導體材料,適合於在該等半導體層內產生正空間電荷區域。
简体摘要: 揭示一种电气设备(2)。该设备包含一金刚石材料基板(4)以及复数个长状金属突起(18)各自延伸入该基板的凹部(6)。配置在各自的突起及该基板之间的掺杂半导体层(14)。当在该等突起及该基板之间施加电场时,该等半导体层表现为n型半导体材料,适合于在该等半导体层内产生正空间电荷区域。
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公开(公告)号:TW201834022A
公开(公告)日:2018-09-16
申请号:TW106136152
申请日:2017-10-20
申请人: 美商克若密斯股份有限公司 , QROMIS, INC.
发明人: 歐諾博利伍鐸 佛拉迪米耶 , ODNOBLYUDOV, VLADIMIR , 巴瑟里 傑姆 , BASCERI, CEM , 法倫斯 莎麗 , FARRENS, SHARI , 阿克塔斯 奧茲卡 , AKTAS, OZGUR
摘要: 一種製造半導體結構的方法,該方法包括提供工程基板,該工程基板包括多晶基板、包封該多晶基板的阻障層、及連接該阻障層的結合層。該方法進一步包括以下步驟:形成連接該結合層的第一矽層;形成連接該第一矽層的介電層;形成連接該介電層的第二矽層;去除該第二矽層的一部分和該介電層的一相應部分以暴露該第一矽層的一部分;形成連接該第一矽層的暴露部分的氮化鎵(GaN)層;形成連接該GaN層的基於氮化鎵(GaN)的元件;以及形成連接該第二矽層的剩餘部分的基於矽的元件。
简体摘要: 一种制造半导体结构的方法,该方法包括提供工程基板,该工程基板包括多晶基板、包封该多晶基板的阻障层、及连接该阻障层的结合层。该方法进一步包括以下步骤:形成连接该结合层的第一硅层;形成连接该第一硅层的介电层;形成连接该介电层的第二硅层;去除该第二硅层的一部分和该介电层的一相应部分以暴露该第一硅层的一部分;形成连接该第一硅层的暴露部分的氮化镓(GaN)层;形成连接该GaN层的基于氮化镓(GaN)的组件;以及形成连接该第二硅层的剩余部分的基于硅的组件。
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公开(公告)号:TW201736460A
公开(公告)日:2017-10-16
申请号:TW105111343
申请日:2016-04-12
申请人: 國立臺灣大學 , NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY
发明人: 石健忠 , SHIH, CHIEN CHUNG , 李文亞 , LEE, WEN YA , 呂謙 , LU, CHIEN , 吳泓錦 , WU, HUNG CHIN , 陳文章 , CHEN, WEN CHANG
摘要: 本發明係關於一種可拉伸電晶體元件,其中包含一表面皺摺之含氟彈性體(fluoroelastomer)做為基材,此外,亦可更進一步包含該表面皺摺之含氟彈性體做為一介電層,本發明由於使用具有自交聯之表面皺褶之含氟彈性體作為基材及介電層,顯著增加可拉伸場效電晶體的機械柔量。除此之外,該可拉伸之電晶體經2000次30%之同軸向拉伸循環後,仍具有高度且穩定的遷移率表現。
简体摘要: 本发明系关于一种可拉伸晶体管组件,其中包含一表面皱折之含氟弹性体(fluoroelastomer)做为基材,此外,亦可更进一步包含该表面皱折之含氟弹性体做为一介电层,本发明由于使用具有自交联之表面皱褶之含氟弹性体作为基材及介电层,显着增加可拉伸场效应管的机械柔量。除此之外,该可拉伸之晶体管经2000次30%之同轴向拉伸循环后,仍具有高度且稳定的迁移率表现。
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公开(公告)号:TW201631634A
公开(公告)日:2016-09-01
申请号:TW104141272
申请日:2015-12-09
申请人: 格羅方德半導體公司 , GLOBALFOUNDRIES US INC.
发明人: 布朗 布瑞納J , BROWN, BRENNAN J. , 費爾城費德 納塔爾B , FEILCHENFELD, NATALIE B. , 蕾夫 麥斯G , LEVY, MAX G. , 史哈瑪 聖特斯 , SHARMA, SANTOSH , 施 尹 , SHI, YUN , 利拉克 麥克J , ZIERAK, MICHAEL J.
IPC分类号: H01L21/04
CPC分类号: H01L29/42368 , H01L29/0649 , H01L29/66659 , H01L29/66681 , H01L29/7816 , H01L29/7835
摘要: 本發明提供用於LDMOS裝置的方法。一種形成半導體結構的方法包括:形成閘極介電質,該閘極介電質包括具有第一均勻厚度的第一部分、具有不同於該第一均勻厚度的第二均勻厚度的第二部分、以及具有自該第一部分延伸至該第二部分的錐形表面的過渡部分。該閘極介電質形成於基板的平坦的上表面上。該錐形表面相對於該基板的該上表面呈銳角。
简体摘要: 本发明提供用于LDMOS设备的方法。一种形成半导体结构的方法包括:形成闸极介电质,该闸极介电质包括具有第一均匀厚度的第一部分、具有不同于该第一均匀厚度的第二均匀厚度的第二部分、以及具有自该第一部分延伸至该第二部分的锥形表面的过渡部分。该闸极介电质形成于基板的平坦的上表面上。该锥形表面相对于该基板的该上表面呈锐角。
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公开(公告)号:TW201624698A
公开(公告)日:2016-07-01
申请号:TW104130367
申请日:2015-09-15
发明人: 新井耕一 , ARAI, KOICHI , 久田賢一 , HISADA, KENICHI
CPC分类号: H01L21/047 , H01L29/0623 , H01L29/0878 , H01L29/1033 , H01L29/1095 , H01L29/1608 , H01L29/45 , H01L29/66068 , H01L29/66734 , H01L29/7813
摘要: 本發明之課題係在具有溝槽型MOS閘極構造之碳化矽半導體裝置中,抑制動作特性之不均一。 本發明之解決手段係對藉由進行2次以上植入能量互異之離子植入而形成之p- 型本體層PB,形成溝槽TR後,藉由斜向離子植入p型雜質,在溝槽TR之側壁部,形成在深度方向上具有均一雜質濃度分布之p型通道層CH。此外,雖然藉由斜向離子植入形成p型通道層CH時,在溝槽TR底部之n- 型漂移層NEa中亦導入p型雜質,但藉由在p- 型本體層PB與n- 型漂移層NEa之間,形成雜質濃度比p型通道層CH、p- 型本體層PB及n- 型漂移層NEa高之n型層NI,可定出通道長度。藉此,可抑制動作特性之不均一。
简体摘要: 本发明之课题系在具有沟槽型MOS闸极构造之碳化硅半导体设备中,抑制动作特性之不均一。 本发明之解决手段系对借由进行2次以上植入能量互异之离子植入而形成之p- 型本体层PB,形成沟槽TR后,借由斜向离子植入p型杂质,在沟槽TR之侧壁部,形成在深度方向上具有均一杂质浓度分布之p型信道层CH。此外,虽然借由斜向离子植入形成p型信道层CH时,在沟槽TR底部之n- 型漂移层NEa中亦导入p型杂质,但借由在p- 型本体层PB与n- 型漂移层NEa之间,形成杂质浓度比p型信道层CH、p- 型本体层PB及n- 型漂移层NEa高之n型层NI,可定出信道长度。借此,可抑制动作特性之不均一。
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公开(公告)号:TW201611098A
公开(公告)日:2016-03-16
申请号:TW104124497
申请日:2015-07-29
申请人: 道康寧公司 , DOW CORNING CORPORATION
发明人: 漢森 戴倫 , HANSEN, DARREN , 曼寧 伊恩 , MANNING, IAN , 慕勒 史戴方 , MUELLER, STEPHAN , 卡斯特 史佛瑞 , QUAST, JEFFREY , 懷特利 柯林頓 , WHITELEY, CLINTON , 羅堡達 馬克J , LOBODA, MARK J. , 慕肯伯格 凱文 , MOEGGENBORG, KEVIN , 帕夫努克 克里斯多夫 , PARFENIUK, CHRISTOPHER , 托瑞斯 菲克特 , TORRES, VICTOR
CPC分类号: H01L21/02529 , C30B23/025 , C30B25/08 , C30B25/165 , C30B25/20 , C30B29/36 , C30B33/10 , H01L21/02008 , H01L21/02052
摘要: 一種用於製造碳化矽基材的方法,適用於在一般用於矽晶圓處理之標準磊晶腔室中的磊晶生長。對在一般用於矽基材的腔室中欲處理之任何基材設定嚴格的限制條件,以避免矽晶圓的汙染。為了獲得標準矽處理設備的所有優點,SiC基材係具有至少150mm之直徑。對於SiC人造晶塊的適當生長來說,生長坩堝係被製作為具有人造晶塊最終生長體積的六至十二倍之內部體積。又,上述坩堝之內部體積係被製作為具有0.8至4.0的高度對寬度比。對於各基材中的汙染、顆粒及缺陷設定嚴格的限制。
简体摘要: 一种用于制造碳化硅基材的方法,适用于在一般用于硅晶圆处理之标准磊晶腔室中的磊晶生长。对在一般用于硅基材的腔室中欲处理之任何基材设置严格的限制条件,以避免硅晶圆的污染。为了获得标准硅处理设备的所有优点,SiC基材系具有至少150mm之直径。对于SiC人造晶块的适当生长来说,生长坩埚系被制作为具有人造晶块最终生长体积的六至十二倍之内部体积。又,上述坩埚之内部体积系被制作为具有0.8至4.0的高度对宽度比。对于各基材中的污染、颗粒及缺陷设置严格的限制。
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公开(公告)号:TWI502628B
公开(公告)日:2015-10-01
申请号:TW096107642
申请日:2007-03-06
发明人: 朴燦浩 , PARK, CHANHO , 耶迪那克 約瑟夫A. , YEDINAK, JOSEPH A. , 柯康 克里斯多佛B. , KOCON, CHRISTOPHER BOGUSLAW , 海吉斯 傑森 , HIGGS, JASON , 李在吉 , LEE, JAEGIL
IPC分类号: H01L21/04
CPC分类号: H01L29/0634 , H01L29/0696 , H01L29/7811 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
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