公开(公告)号：TWI649781B

公开(公告)日：2019-02-01

申请号：TW105119600

申请日：2016-06-22

Applicant: 美商維克儀器公司 ,  VEECO INSTRUMENTS, INC.

Inventor： 克理斯南 山迪 ,  KRISHNAN, SANDEEP ,  古拉瑞 亞歷山大I ,  GURARY, ALEXANDER I. ,  張 正宏 ,  CHANG, CHENGHUNG PAUL ,  瑪瑟洛 額爾 ,  MARCELO, EARL

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/68

公开(公告)号：TW201903945A

公开(公告)日：2019-01-16

申请号：TW107118105

申请日：2018-05-28

Applicant: 日商精工愛普生股份有限公司 ,  SEIKO EPSON CORPORATION

Inventor： 前田直久 ,  MAEDA, NAOHISA

IPC: H01L21/677 ,  G01R31/26 ,  G01R31/01

Abstract: 本發明之目的在於提供一種於檢查電子零件時之作業性(操作性)優異之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置。本發明之電子零件搬送裝置，其特徵在於可連接檢查電子零件之檢查部，且具備：搬送部，其搬送上述電子零件；至少1個搬送部側收訊部，其可接收關於基於與上述電子零件之檢查相關之電子零件檢查資訊之上述搬送部之動作條件之第1信號；且讀取上述電子零件檢查資訊之至少1個資訊讀取部係可與搬送部側收訊部連接；上述資訊讀取部係可與可接收關於基於上述電子零件檢查資訊之上述檢查部之動作條件之第2信號之至少1個檢查部側收訊部連接；上述搬送部側收訊部之數量與上述檢查部側收訊部之數量之合計多於上述資訊讀取部之數量。

Abstract in simplified Chinese: 本发明之目的在于提供一种于检查电子零件时之作业性(操作性)优异之电子零件搬送设备及电子零件检查设备。本发明之电子零件搬送设备，其特征在于可连接检查电子零件之检查部，且具备：搬送部，其搬送上述电子零件；至少1个搬送部侧收讯部，其可接收关于基于与上述电子零件之检查相关之电子零件检查信息之上述搬送部之动作条件之第1信号；且读取上述电子零件检查信息之至少1个信息读取部系可与搬送部侧收讯部连接；上述信息读取部系可与可接收关于基于上述电子零件检查信息之上述检查部之动作条件之第2信号之至少1个检查部侧收讯部连接；上述搬送部侧收讯部之数量与上述检查部侧收讯部之数量之合计多于上述信息读取部之数量。

公开(公告)号：TW201903537A

公开(公告)日：2019-01-16

申请号：TW107118047

申请日：2018-05-25

Applicant: 大陸商上海微電子裝備(集團)股份有限公司 ,  SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT(GROUP)CO., LTD.

Inventor： 叢國棟 ,  CONG, GUO-DONG ,  李志龍 ,  LI, ZHILONG ,  黃亞慶 ,  HUANG, YAQING ,  趙文波 ,  ZHAO, WENBO

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/677

Abstract: 本發明公開了一種移入移出機構，包括連接塊、板簧、板簧變形驅動單元及滾輪單元；板簧為二分段式結構，板簧的兩個分段之間鉸鏈連接，板簧的一個分段通過連接塊安裝在待移動對象上且另一個分段連接滾輪單元；板簧變形驅動單元為板簧上連接所述滾輪單元的分段提供朝向移動承載面變形的驅動力。本發明更公開了一種光刻機工件台移入移出裝置，包括底部框架、空氣彈簧、氣墊裝置及上述移入移出機構，多組移入移出機構設置於底部框架的下表面或側邊。本發明移入移出機構的板簧採用鉸鏈結構分段，且板簧變形各受力處共線，可保證受力均衡，防止卡死；移入移出裝置成對使用多組移入移出機構，可防止對地面施加過大壓力而造成工件台傾覆。

Abstract in simplified Chinese: 本发明公开了一种移入移出机构，包括连接块、板簧、板簧变形驱动单元及滚轮单元；板簧为二分段式结构，板簧的两个分段之间铰链连接，板簧的一个分段通过连接块安装在待移动对象上且另一个分段连接滚轮单元；板簧变形驱动单元为板簧上连接所述滚轮单元的分段提供朝向移动承载面变形的驱动力。本发明更公开了一种光刻机工件台移入移出设备，包括底部框架、空气弹簧、气垫设备及上述移入移出机构，多组移入移出机构设置于底部框架的下表面或侧边。本发明移入移出机构的板簧采用铰链结构分段，且板簧变形各受力处共线，可保证受力均衡，防止卡死；移入移出设备成对使用多组移入移出机构，可防止对地面施加过大压力而造成工件台倾覆。

公开(公告)号：TW201902558A

公开(公告)日：2019-01-16

申请号：TW107112868

申请日：2018-04-16

Applicant: 日商東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

Inventor： 今真人 ,  KON, MASATO

IPC: B01D53/02 ,  B08B17/02 ,  H01L21/677

Abstract: 本發明之課題在於抑制微粒對被處理體之附著。 本發明之搬運裝置具備：搬運室，其供於搬運在處理室中實施處理之被處理體；及離子液體，其保持於搬運室之內壁，用以吸附搬運室內之氛圍中之微粒。

Abstract in simplified Chinese: 本发明之课题在于抑制微粒对被处理体之附着。 本发明之搬运设备具备：搬运室，其供于搬运在处理室中实施处理之被处理体；及离子液体，其保持于搬运室之内壁，用以吸附搬运室内之氛围中之微粒。

公开(公告)号：TWM572888U

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：TW107211776

申请日：2018-08-29

Applicant: 華景電通股份有限公司

Inventor： 古伊鈞 ,  許聖奇 ,  陳勇州

IPC: B65G49/07 ,  H01L21/677

公开(公告)号：TWI647780B

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：TW104111861

申请日：2015-04-14

Applicant: 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： 王作乾 ,  WANG, ZUOQIAN ,  懷特 約翰 ,  WHITE, JOHN M.

IPC: H01L21/677

公开(公告)号：TWI647779B

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：TW101131503

申请日：2012-08-30

Applicant: 日商尼康股份有限公司 ,  NIKON CORPORATION

Inventor： 青木保夫 ,  AOKI, YASUO ,  關忠 ,  SEKI, TADASHI ,  長島雅幸 ,  NAGASHIMA, MASAYUKI

IPC: H01L21/677 ,  G03F7/20 ,  B65G49/06

公开(公告)号：TWI645643B

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：TW105120310

申请日：2016-06-28

Applicant: 日商愛發科股份有限公司 ,  ULVAC, INC.

Inventor： 鈴木傑之 ,  SUZUKI, TAKAYUKI ,  川久保大輔 ,  KAWAKUBO, DAISUKE ,  南展史 ,  MINAMI, HIROFUMI ,  武者和博 ,  MUSHA, KAZUHIRO

IPC: H02J50/05 ,  H01L21/677 ,  B25J19/00

公开(公告)号：TW201843758A

公开(公告)日：2018-12-16

申请号：TW106136623

申请日：2017-10-25

Applicant: 日商捷進科技有限公司 ,  FASFORD TECHNOLOGY CO., LTD.

Inventor： 岡本樹 ,  OKAMOTO, NAOKI ,  齊藤明 ,  SAITO, AKIRA

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  H01L21/52

Abstract: 本發明的課題是在於提供一種不使異物飛散，黏著力強的異物也可確實地除去之可清潔夾頭的黏晶裝置。 　　其解決手段，黏晶裝置是具備： 　　拾取頭，其係使晶粒的元件形成面側吸附於設在前端的夾頭的吸附面，而從晶圓拾取前述晶粒； 　　清潔裝置，其係具有：除去前述吸附面的異物的刷子，吸引前述異物的吸引部，及沿著前述吸附面來使前述刷子旋轉的驅動部； 　　控制部，其係控制前述拾取頭和前述清潔裝置。 　　前述刷子的刷子面為長方形狀。前述控制部是使前述刷子與前述吸附面接觸，使前述夾頭的吸附面以直線狀或前述夾頭的吸附面的中心畫圓的方式移動的同時使前述刷子旋轉，藉由前述吸引部來吸引除去後的異物。

Abstract in simplified Chinese: 本发明的课题是在于提供一种不使异物飞散，黏着力强的异物也可确实地除去之可清洁夹头的黏晶设备。 　　其解决手段，黏晶设备是具备： 　　十取头，其系使晶粒的组件形成面侧吸附于设在前端的夹头的吸附面，而从晶圆十取前述晶粒； 　　清洁设备，其系具有：除去前述吸附面的异物的刷子，吸引前述异物的吸引部，及沿着前述吸附面来使前述刷子旋转的驱动部； 　　控制部，其系控制前述十取头和前述清洁设备。 　　前述刷子的刷子面为长方形状。前述控制部是使前述刷子与前述吸附面接触，使前述夹头的吸附面以直线状或前述夹头的吸附面的中心画圆的方式移动的同时使前述刷子旋转，借由前述吸引部来吸引除去后的异物。

公开(公告)号：TW201843439A

公开(公告)日：2018-12-16

申请号：TW107104891

申请日：2018-02-12

Applicant: 日商東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

Inventor： 羽島仁志 ,  HASHIMA, HITOSHI ,  松岡伸明 ,  MATSUOKA, NOBUAKI ,  中島常長 ,  NAKASHIMA, TSUNENAGA ,  安武孝洋 ,  YASUTAKE, TAKAHIRO ,  船越秀朗 ,  FUNAKOSHI, HIDEO ,  中村泰之 ,  NAKAMURA, HIROSHI

IPC: G01N23/00 ,  H01L21/677

Abstract: 本發明的基板處理系統具備處理基板的處理裝置，並設置用以將基板搬運至該處理裝置的基板搬運區，可更確實地防止懸浮微粒附著於基板。本發明的基板處理系統，具備熱處理裝置40等作為處理基板的處理裝置，並設有用以將晶圓W搬運至該處理裝置的搬運區R1～R4，本發明的基板處理系統具備音波發射裝置60、70，該音波發射裝置60、70發射音波而防止搬運區R1～R4內的懸浮微粒附著於基板。音波發射裝置70例如設置於搬運區R1中之與熱處理裝置40的晶圓W的搬入/搬出口K2相鄰之區域。

Abstract in simplified Chinese: 本发明的基板处理系统具备处理基板的处理设备，并设置用以将基板搬运至该处理设备的基板搬运区，可更确实地防止悬浮微粒附着于基板。本发明的基板处理系统，具备热处理设备40等作为处理基板的处理设备，并设有用以将晶圆W搬运至该处理设备的搬运区R1～R4，本发明的基板处理系统具备音波发射设备60、70，该音波发射设备60、70发射音波而防止搬运区R1～R4内的悬浮微粒附着于基板。音波发射设备70例如设置于搬运区R1中之与热处理设备40的晶圆W的搬入/搬出口K2相邻之区域。