公开(公告)号：TW201505731A

公开(公告)日：2015-02-16

申请号：TW103124783

申请日：2014-07-18

申请人： 費夫斯DMS有限公司 ,  FIVES DMS SOCIETE ANONYME

发明人： 恩斯特德拉葛瑞 康瑞德 ,  ERNST DE LA GRAETE, CONRAD ,  羅戈 柏納德 ,  ROGGO, BERNARD

IPC分类号： B21B27/06

CPC分类号： B21B45/0233 ,  B21B13/145 ,  B21B27/10 ,  B21B45/0218 ,  B21B45/0251 ,  B21B2013/028 ,  B21B2203/06

摘要： 一種軋機，包含：- 側支撐輥，能夠橫向支撐軋機的工作輥，每一側支撐輥透過在一軸上樞轉安裝的一支撐臂承載，- 負載分佈梁，在每一對相應的立柱之間延伸，以及用於將一預加載力提供於每一支撐臂上的裝置，此裝置用以在一支撐表面上與一個支撐臂相齧合，並且包含與一個負載分佈梁形成為一體的至少一個預加載氣缸，- 一個或幾個噴射噴嘴，用於潤滑/冷卻液。 根據本發明，至少一個噴射噴嘴嵌入於支撐臂的一個中，並且其中此至少一個噴射噴嘴的流體供給回路包含具有支撐臂的一連接/斷開裝置。

简体摘要： 一种轧机，包含：- 侧支撑辊，能够横向支撑轧机的工作辊，每一侧支撑辊透过在一轴上枢转安装的一支撑臂承载，- 负载分布梁，在每一对相应的立柱之间延伸，以及用于将一预加载力提供于每一支撑臂上的设备，此设备用以在一支撑表面上与一个支撑臂相啮合，并且包含与一个负载分布梁形成为一体的至少一个预加载气缸，- 一个或几个喷射喷嘴，用于润滑/冷却液。 根据本发明，至少一个喷射喷嘴嵌入于支撑臂的一个中，并且其中此至少一个喷射喷嘴的流体供给回路包含具有支撑臂的一连接/断开设备。

公开(公告)号：TWI401742B

公开(公告)日：2013-07-11

申请号：TW099127239

申请日：2010-08-16

申请人： DMS有限公司 ,  DMS CO., LTD.

发明人： 李東錫 ,  LEE, DONGSEOK ,  蔡煥國 ,  CHAE, HWANKOOK ,  文熙錫 ,  MOON, HEESEOK ,  崔允珖 ,  CHOI, YUNKWANG

IPC分类号： H01L21/3065

CPC分类号： H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32623 ,  H01J37/32633 ,  H01J37/32834

公开(公告)号：TWI393210B

公开(公告)日：2013-04-11

申请号：TW098136264

申请日：2009-10-27

申请人： DMS有限公司 ,  DMS CO., LTD

发明人： 李元默 ,  LEE, WEONMOOK ,  蔡煥國 ,  CHAE, HWANKOOK ,  朴根周 ,  PARK, KUNJOO ,  高誠庸 ,  KO, SUNGYONG ,  金珉植 ,  KIM, MINSHIK ,  金起鉉 ,  KIM, KEEHYUN

IPC分类号： H01L21/683

CPC分类号： H01L21/6833 ,  H01J37/32623 ,  H01J37/32642

公开(公告)号：TWI362055B

公开(公告)日：2012-04-11

申请号：TW096143410

申请日：2007-11-16

申请人： DMS有限公司

发明人： 朴庸碩 ,  李永哲 ,  趙弘來

IPC分类号： H01J

摘要： 本發明涉及一種螢光燈製造裝置，其包括：框架；腔室外殼；調整裝置；裝載盒；加熱裝置及驅動裝置。本發明可簡單地進行外部電極螢光燈製造工序中的一系列作業如排氣作業、氣體及水銀注入作業、密封作業等作業，尤其可以大幅減小裝置尺寸幷提高導熱效率。

简体摘要： 本发明涉及一种萤光灯制造设备，其包括：框架；腔室外壳；调整设备；装载盒；加热设备及驱动设备。本发明可简单地进行外部电极萤光灯制造工序中的一系列作业如排气作业、气体及水银注入作业、密封作业等作业，尤其可以大幅减小设备尺寸并提高导热效率。

公开(公告)号：TWI359099B

公开(公告)日：2012-03-01

申请号：TW097133633

申请日：2008-09-02

申请人： DMS有限公司

发明人： 李昇垣 ,  崔起寧

IPC分类号： B65G ,  G02F

摘要： 本發明涉及一種防下垂的傳送帶軸。所述的傳送帶軸包括一個旋轉體、一根金屬絲和一個壓力控制部件。所述的旋轉體中空且兩端敞開。所述的金屬絲被穿插於旋轉體中用來支撐旋轉體。所述的壓力控制部件被安裝在旋轉體的一端用來給金屬絲提供壓力。

简体摘要： 本发明涉及一种防下垂的发送带轴。所述的发送带轴包括一个旋转体、一根金属丝和一个压力控制部件。所述的旋转体中空且两端敞开。所述的金属丝被穿插于旋转体中用来支撑旋转体。所述的压力控制部件被安装在旋转体的一端用来给金属丝提供压力。

公开(公告)号：TWI355707B

公开(公告)日：2012-01-01

申请号：TW096123986

申请日：2007-07-02

申请人： DMS有限公司

发明人： 李碩周

IPC分类号： H01L

摘要： 本發明提供了一種在製造平板顯示器用基板的各工序的輸送線中，可連續投入及輸出基板的基板輸送裝置。
所述基板輸送裝置包括：基板輸送單元，其配置有相隔一定距離的多個輸送輥，並且在所述輸送輥上面以水平或傾斜狀態輸送基板；緩衝臂，其上面可放置基板，並且通過上/下移動向所述輸送輥移交基板或從所述輸送輥上承接基板；支架，其具備將所述緩衝臂上/下移動的驅動單元，並且用於固定所述緩衝臂，使所述緩衝臂移動到可以移交或承接基板的狀態；以及狀態變換單元，其通過鉸接方式連接所述緩衝臂和支架，並且產生旋轉力，使所述緩衝臂以鉸接部為基準進行旋轉而改變其狀態。

简体摘要： 本发明提供了一种在制造平板显示器用基板的各工序的输送线中，可连续投入及输出基板的基板输送设备。 所述基板输送设备包括：基板输送单元，其配置有相隔一定距离的多个输送辊，并且在所述输送辊上面以水平或倾斜状态输送基板；缓冲臂，其上面可放置基板，并且通过上/下移动向所述输送辊移交基板或从所述输送辊上承接基板；支架，其具备将所述缓冲臂上/下移动的驱动单元，并且用于固定所述缓冲臂，使所述缓冲臂移动到可以移交或承接基板的状态；以及状态变换单元，其通过铰接方式连接所述缓冲臂和支架，并且产生旋转力，使所述缓冲臂以铰接部为基准进行旋转而改变其状态。

公开(公告)号：TWI349582B

公开(公告)日：2011-10-01

申请号：TW098108735

申请日：2009-03-18

申请人： DMS有限公司

发明人： 李尚洙 ,  吳相澤

IPC分类号： B05C ,  G03F

摘要： 本發明提供一種具備噴嘴唇口清潔器的狹縫式塗佈器，所述噴嘴唇口清潔器在進行用於製造平板顯示元件用基板的光刻膠等藥液塗佈製程之後，可以有效去除狹縫噴嘴的噴嘴唇口(lip)上所粘附的藥液或者異物、並可以減少清潔液使用量。本發明包括：工作台；狹縫噴嘴，其設置在該工作台上部，用於塗佈藥液；移動單元，用於移動該狹縫噴嘴或基板；唇口清潔單元，其將由清潔液和氣體混合而成的混合流體噴射到該狹縫噴嘴的唇口上以進行清潔；唇口乾燥單元，其將乾燥氣體噴射到該狹縫噴嘴的唇口；以及驅動單元，其設置於該工作台的一側，用於移動該唇口清潔單元及該乾燥單元。

简体摘要： 本发明提供一种具备喷嘴唇口清洁器的狭缝式涂布器，所述喷嘴唇口清洁器在进行用于制造平板显示组件用基板的光刻胶等药液涂布制程之后，可以有效去除狭缝喷嘴的喷嘴唇口(lip)上所粘附的药液或者异物、并可以减少清洁液使用量。本发明包括：工作台；狭缝喷嘴，其设置在该工作台上部，用于涂布药液；移动单元，用于移动该狭缝喷嘴或基板；唇口清洁单元，其将由清洁液和气体混合而成的混合流体喷射到该狭缝喷嘴的唇口上以进行清洁；唇口干燥单元，其将干燥气体喷射到该狭缝喷嘴的唇口；以及驱动单元，其设置于该工作台的一侧，用于移动该唇口清洁单元及该干燥单元。

公开(公告)号：TW201108326A

公开(公告)日：2011-03-01

申请号：TW099127239

申请日：2010-08-16

申请人： DMS有限公司

发明人： 李東錫 ,  蔡煥國 ,  文熙錫 ,  崔允珖

IPC分类号： H01L

CPC分类号： H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32623 ,  H01J37/32633 ,  H01J37/32834

摘要： 本發明公開了一種等離子體蝕刻裝置,該裝置包括一個內室、一個陰極裝置和一個完整的陰極內襯;所述的內室設有一個等離子體反應空間;所述的陰極裝置是設置在內室內的中間,它支撐底板;所述的完整的陰極內襯在兩層上設有多個第一氣孔和第二氣孔,它們彼此相互間隔,使內室中的氣體流動和流出保持均勻,並且陰極內襯從外面插入到陰極裝置上,並且其底部與內室的內表面相連。

简体摘要： 本发明公开了一种等离子体蚀刻设备,该设备包括一个内室、一个阴极设备和一个完整的阴极内衬;所述的内室设有一个等离子体反应空间;所述的阴极设备是设置在内室内的中间,它支撑底板;所述的完整的阴极内衬在两层上设有多个第一气孔和第二气孔,它们彼此相互间隔,使内室中的气体流动和流出保持均匀,并且阴极内衬从外面插入到阴极设备上,并且其底部与内室的内表面相连。

公开(公告)号：TW201104782A

公开(公告)日：2011-02-01

申请号：TW099115090

申请日：2010-05-12

申请人： DMS有限公司

发明人： 李昇垣

IPC分类号： H01L

摘要： 本發明涉及一種具有多層結構的基板處理裝置，所述裝置不僅使結構變得簡單，以提高設計自由度，而且使構件數量減少，從而可以提高生產效率。本發明的基板處理裝置包括：框架；輸送裝置，其從布置在外部的裝載機接收基板並將其傳送；第一升降裝置，從輸送裝置接收基板，並朝升降方向傳送基板；第一移送裝置，其設置在與輸送裝置不同的層上，並且從第一升降裝置接收基板並將其傳送；基板處理單元，其從第一移送裝置接收基板並對其進行處理；第二移送裝置，其接收在基板處理單元已完成處理的基板後將其傳送；以及第二升降裝置，升降從第二移送裝置接收的基板，並將其傳遞給輸送裝置。

简体摘要： 本发明涉及一种具有多层结构的基板处理设备，所述设备不仅使结构变得简单，以提高设计自由度，而且使构件数量减少，从而可以提高生产效率。本发明的基板处理设备包括：框架；输送设备，其从布置在外部的装载机接收基板并将其发送；第一升降设备，从输送设备接收基板，并朝升降方向发送基板；第一移送设备，其设置在与输送设备不同的层上，并且从第一升降设备接收基板并将其发送；基板处理单元，其从第一移送设备接收基板并对其进行处理；第二移送设备，其接收在基板处理单元已完成处理的基板后将其发送；以及第二升降设备，升降从第二移送设备接收的基板，并将其传递给输送设备。

公开(公告)号：TWI322716B

公开(公告)日：2010-04-01

申请号：TW096114384

申请日：2007-04-24

申请人： DMS有限公司

发明人： 金銀洙 ,  姜智銀 ,  吳相澤

IPC分类号： B05C ,  G03F

摘要： 本發明涉及一種狹縫式塗敷裝置，其適用於在平板顯示器用基板上塗敷照相平版印刷用光致抗蝕劑等感光液的塗敷作業，且可簡單除去不均勻地附著在噴嘴噴出口上的感光液。包括：工作臺，其工作面上進行對基板的塗敷作業；具有狹縫式噴出口的噴嘴本體，其固定在工作臺的一側，對基板塗敷感光液；清洗輥輪，具有圓筒形清洗部件，且以橫穿噴出口切開方向的方式位於所述噴嘴本體的下方；第一驅動部，用於向某一方向轉動清洗輥輪，使清洗部件以其軸線為中心而旋轉；第二驅動部，用於移動清洗輥輪，使清洗輥輪在第一驅動部的作用下旋轉的同時，沿噴出口的切開方向移動；第三驅動部，其與第一驅動部及第二驅動部相連動，使清洗輥輪向正交於噴出口狹縫的方向而移動。 【創作特點】 本發明鑒於上述問題而作，其目的在於提供一種，在去除感光液時，可防止因附著在噴嘴噴出口上的感光液引起的二次汙染，且結構簡單的狹縫式塗敷裝置。
為實現上述目的，本發明提供一種狹縫式塗敷裝置，其包括：工作臺，其工作面上進行對基板的塗敷作業；噴嘴本體，其具有狹縫式噴出口，且固定在工作臺的一側，並且對沿所述工作面移動的基板塗敷感光液；清洗輥輪，其具有圓筒形清洗部件，且以橫穿噴出口切開方向的方式位於所述噴嘴本體的下方；第一驅動部，其用於向某一方向轉動所述清洗輥輪，使圓筒形清洗部件以其軸線為中心旋轉；第二驅動部，其用於移動清洗輥輪，以使所述清洗輥輪在第一驅動部的作用下旋轉的同時，沿所述噴出口的切開方向移動；第三驅動部，其與第一驅動部及第二驅動部相連動，使所述清洗輥輪向正交於所述噴出口狹縫的方向而移動。
根據本發明，當利用狹縫式噴嘴在基板上塗敷光致抗蝕劑等感光液時，可透過清洗輥輪簡單地除去附著在噴嘴噴出口上的感光液。
特別是，由於所述清洗輥輪之三個不同方向的去除動作互相連動，因此噴出口端部不會與輥輪外周面重複接觸，而且可以透過沿輥輪外周面的螺旋區域相接觸的方式來進行去除作業。
這種感光液去除方式，與以往的去除方式(利用吸附輥或矽材質擦拭部件的去除方式)相比，可利用小型輥輪來簡單地去除感光液，並且在去除作業中能夠最大限度地防止噴出口的二次汙染。
由此，透過狹縫塗敷方式來進行感光液塗敷作業時，可以均勻地除去附著在噴嘴噴出口上的感光液，從而進一步提高塗敷品量及作業效率。

简体摘要： 本发明涉及一种狭缝式涂敷设备，其适用于在平板显示器用基板上涂敷照相平版印刷用光致抗蚀剂等感光液的涂敷作业，且可简单除去不均匀地附着在喷嘴喷出口上的感光液。包括：工作台，其工作面上进行对基板的涂敷作业；具有狭缝式喷出口的喷嘴本体，其固定在工作台的一侧，对基板涂敷感光液；清洗辊轮，具有圆筒形清洗部件，且以横穿喷出口切开方向的方式位于所述喷嘴本体的下方；第一驱动部，用于向某一方向转动清洗辊轮，使清洗部件以其轴线为中心而旋转；第二驱动部，用于移动清洗辊轮，使清洗辊轮在第一驱动部的作用下旋转的同时，沿喷出口的切开方向移动；第三驱动部，其与第一驱动部及第二驱动部相连动，使清洗辊轮向正交于喷出口狭缝的方向而移动。 【创作特点】 本发明鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种，在去除感光液时，可防止因附着在喷嘴喷出口上的感光液引起的二次污染，且结构简单的狭缝式涂敷设备。 为实现上述目的，本发明提供一种狭缝式涂敷设备，其包括：工作台，其工作面上进行对基板的涂敷作业；喷嘴本体，其具有狭缝式喷出口，且固定在工作台的一侧，并且对沿所述工作面移动的基板涂敷感光液；清洗辊轮，其具有圆筒形清洗部件，且以横穿喷出口切开方向的方式位于所述喷嘴本体的下方；第一驱动部，其用于向某一方向转动所述清洗辊轮，使圆筒形清洗部件以其轴线为中心旋转；第二驱动部，其用于移动清洗辊轮，以使所述清洗辊轮在第一驱动部的作用下旋转的同时，沿所述喷出口的切开方向移动；第三驱动部，其与第一驱动部及第二驱动部相连动，使所述清洗辊轮向正交于所述喷出口狭缝的方向而移动。 根据本发明，当利用狭缝式喷嘴在基板上涂敷光致抗蚀剂等感光液时，可透过清洗辊轮简单地除去附着在喷嘴喷出口上的感光液。 特别是，由于所述清洗辊轮之三个不同方向的去除动作互相连动，因此喷出口端部不会与辊轮外周面重复接触，而且可以透过沿辊轮外周面的螺旋区域相接触的方式来进行去除作业。 这种感光液去除方式，与以往的去除方式(利用吸附辊或硅材质擦拭部件的去除方式)相比，可利用小型辊轮来简单地去除感光液，并且在去除作业中能够最大限度地防止喷出口的二次污染。 由此，透过狭缝涂敷方式来进行感光液涂敷作业时，可以均匀地除去附着在喷嘴喷出口上的感光液，从而进一步提高涂敷品量及作业效率。