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公开(公告)号：TW201515027A
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：TW103128794
申请日：2014-08-21
发明人： 藤田利晃 , FUJITA, TOSHIAKI , 田中寛 , TANAKA, HIROSHI , 長友憲昭 , NAGATOMO, NORIAKI
IPC分类号： H01C7/00
摘要： 一種用於熱敏電阻之金屬氮化物材料，由通式：Mx(Al1-vSiv)y(N1-wOw)z(惟，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co之至少1種；0.0
简体摘要： 一种用于热敏电阻之金属氮化物材料，由通式：Mx(Al1-vSiv)y(N1-wOw)z(惟，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co之至少1种；0.0
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公开(公告)号：TW201509868A
公开(公告)日：2015-03-16
申请号：TW103119039
申请日：2014-05-30
发明人： 藤田利晃 , FUJITA, TOSHIAKI , 田中寛 , TANAKA, HIROSHI , 長友憲昭 , NAGATOMO, NORIAKI
IPC分类号： C04B35/495 , C23C14/34 , C23C14/08 , H01C7/04
CPC分类号： H01C7/008 , C23C14/0036 , C23C14/0676 , C23C14/14 , C30B29/38 , G01K7/22 , H01C1/14 , H01C7/006 , H01C7/04 , H01C17/12 , H01J37/3429
摘要： 提供可以非燒成而直接成膜於薄膜等，具有高耐熱性而可靠性高之熱敏電阻用金屬氮化物材料及其製造方法以及薄膜型熱敏電阻感測器。 一種熱敏電阻用金屬氮化物材料，其係使用於熱敏電阻的金屬氮化物材料，由以通式：VxAly(N1-wOw)z(0.70≦y/(x+y)≦0.98，0.45≦z≦0.55，0
简体摘要： 提供可以非烧成而直接成膜于薄膜等，具有高耐热性而可靠性高之热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器。 一种热敏电阻用金属氮化物材料，其系使用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：VxAly(N1-wOw)z(0.70≦y/(x+y)≦0.98，0.45≦z≦0.55，0
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公开(公告)号：TW201508075A
公开(公告)日：2015-03-01
申请号：TW103119041
申请日：2014-05-30
发明人： 藤田利晃 , FUJITA, TOSHIAKI , 田中寛 , TANAKA, HIROSHI , 長友憲昭 , NAGATOMO, NORIAKI
CPC分类号： H01C7/008 , C23C14/0036 , C23C14/0676 , C30B29/38 , G01K7/22 , H01C7/006 , H01C7/04 , H01C17/12
摘要： 提供一種熱敏電阻用金屬氮化物材料及其製造方法以及膜型熱敏電阻感測器，能以非燒成直接形成膜等，具有高耐熱性而可靠性高。 使用於熱敏電阻之金屬氮化物材料，由以通式：(M1-vVv)xAly(N1-wOw)z(0.0
简体摘要： 提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及膜型热敏电阻传感器，能以非烧成直接形成膜等，具有高耐热性而可靠性高。 使用于热敏电阻之金属氮化物材料，由以通式：(M1-vVv)xAly(N1-wOw)z(0.0
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公开(公告)号：TW201434794A
公开(公告)日：2014-09-16
申请号：TW102145581
申请日：2013-12-11
发明人： 藤田利晃 , FUJITA, TOSHIAKI , 田中寛 , TANAKA, HIROSHI , 長友憲昭 , NAGATOMO, NORIAKI
CPC分类号： H01C7/008 , C23C14/0036 , C23C14/0042 , C23C14/0641 , C23C14/081 , C30B25/06 , C30B29/38 , C30B29/605 , G01K7/22 , H01C7/006 , H01C7/04 , H01C7/041
摘要： 本發明係提供一種可以非燒成而直接成膜於薄膜等，具有高耐熱性且高可靠性之熱敏電阻用金屬氮化物材料及其製造方法及薄膜型熱敏電阻感測器。一種使用於熱敏電阻的金屬氮化物材料，其係由以通式：CrxAly(N1-wOw)z(0.70≦y/(x+y)≦0.95，0.45≦z≦0.55，0＜w≦0.35，x+y+z=1)所示之金屬氮化物所成，其結晶構造為六方晶系之纖鋅礦型之單相。
简体摘要： 本发明系提供一种可以非烧成而直接成膜于薄膜等，具有高耐热性且高可靠性之热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法及薄膜型热敏电阻传感器。一种使用于热敏电阻的金属氮化物材料，其系由以通式：CrxAly(N1-wOw)z(0.70≦y/(x+y)≦0.95，0.45≦z≦0.55，0＜w≦0.35，x+y+z=1)所示之金属氮化物所成，其结晶构造为六方晶系之纤锌矿型之单相。
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公开(公告)号：TWI570251B
公开(公告)日：2017-02-11
申请号：TW102111180
申请日：2013-03-28
发明人： 田中寛 , TANAKA, HIROSHI , 藤田利晃 , FUJITA, TOSHIAKI , 長友憲昭 , NAGATOMO, NORIAKI , 藤原和崇 , FUJIWARA, KAZUTAKA , 稲場均 , INABA, HITOSHI
CPC分类号： H01C7/008 , C23C14/0641 , G01K7/22 , G01K7/226 , H01C7/04 , H01C17/06513 , H01C17/12
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公开(公告)号：TW201529526A
公开(公告)日：2015-08-01
申请号：TW103129708
申请日：2014-08-28
发明人： 藤田利晃 , FUJITA, TOSHIAKI , 田中寛 , TANAKA, HIROSHI , 長友憲昭 , NAGATOMO, NORIAKI
CPC分类号： G01K7/226 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/5826 , H01C1/1406 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C17/06513 , H01C17/12
摘要： 提供能夠以非燒成方式於薄膜等上直接成膜，具有高耐熱性且信賴性高之熱敏電阻用金屬氮化物材料及其製造方法以及薄膜型熱敏電阻感測器。 一種使用於熱敏電阻之金屬氮化物材料，其係由一般式：(M1-wAw)xAlyNz(惟，M表示由Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中選出之至少1種，而且A表示由Mn、Cu、Ni、Fe及Co中選出之至少1種，且與所選出之前述M為相異之元素。0.0
简体摘要： 提供能够以非烧成方式于薄膜等上直接成膜，具有高耐热性且信赖性高之热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器。 一种使用于热敏电阻之金属氮化物材料，其系由一般式：(M1-wAw)xAlyNz(惟，M表示由Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中选出之至少1种，而且A表示由Mn、Cu、Ni、Fe及Co中选出之至少1种，且与所选出之前述M为相异之元素。0.0
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公开(公告)号：TW201443410A
公开(公告)日：2014-11-16
申请号：TW102147771
申请日：2013-12-23
发明人： 長友憲昭 , NAGATOMO, NORIAKI , 稲場均 , INABA, HITOSHI , 竹島一太 , TAKESHIMA, KAZUTA , 田中寛 , TANAKA, HIROSHI
CPC分类号： G01K7/22 , G01K1/143 , G01K13/08 , H01C1/14 , H01C1/1406 , H01C1/1413 , H01C1/142 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C7/04 , H01L23/495 , H01L35/02 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 提供一種溫度感測器，其具備：一對引線框；與一對引線框連接之感測器部；及保持引線框之絕緣性的保持部；感測器部具備：帶狀的絕緣性膜片；及在絕緣性膜片的表面的中央部以熱阻器材料形成圖樣之薄膜熱阻器部；及在薄膜熱阻器部的上方具有複數個梳齒部且彼此相向而形成圖樣之一對梳齒型電極；及一端與一對梳齒型電極連接，且另一端在絕緣性膜片的端部與一對引線框連接，而在絕緣性膜片的表面形成圖樣之一對圖樣電極，絕緣性膜片，是在彎曲成略U字狀的狀態下將薄膜熱阻器部配置於先端部，而兩端部則固定於一對引線框。
简体摘要： 提供一种温度传感器，其具备：一对引线框；与一对引线框连接之传感器部；及保持引线框之绝缘性的保持部；传感器部具备：带状的绝缘性膜片；及在绝缘性膜片的表面的中央部以热阻器材料形成图样之薄膜热阻器部；及在薄膜热阻器部的上方具有复数个梳齿部且彼此相向而形成图样之一对梳齿型电极；及一端与一对梳齿型电极连接，且另一端在绝缘性膜片的端部与一对引线框连接，而在绝缘性膜片的表面形成图样之一对图样电极，绝缘性膜片，是在弯曲成略U字状的状态下将薄膜热阻器部配置于先端部，而两端部则固定于一对引线框。
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公开(公告)号：TW201346236A
公开(公告)日：2013-11-16
申请号：TW102111179
申请日：2013-03-28
发明人： 長友憲昭 , NAGATOMO, NORIAKI , 稲場均 , INABA, HITOSHI , 田中寛 , TANAKA, HIROSHI
摘要： 本發明提供一種對於TiAlN之熱敏電阻(thermistor)材料層之電極構造中，即使在高溫環境下仍難以高電阻化，進而可在非燒成下直接成膜為薄膜等，具有高耐熱性且信賴性高之溫度感測器及其製造方法。該溫度感測器具備絕緣性基材(2)、於該絕緣性基材上形成之薄膜熱敏電阻部(3)、及將相互對向之一對對向電極部(4a)配置於薄膜熱敏電阻部上且於絕緣性基材上形成之一對圖型電極(4)，薄膜熱敏電阻部係以TiAlN之熱敏電阻材料形成，圖型電極具有在薄膜熱敏電阻部上形成之TiN之接合層(5)及於該接合層上以貴金屬形成之電極層(6)。
简体摘要： 本发明提供一种对于TiAlN之热敏电阻(thermistor)材料层之电极构造中，即使在高温环境下仍难以高电阻化，进而可在非烧成下直接成膜为薄膜等，具有高耐热性且信赖性高之温度传感器及其制造方法。该温度传感器具备绝缘性基材(2)、于该绝缘性基材上形成之薄膜热敏电阻部(3)、及将相互对向之一对对向电极部(4a)配置于薄膜热敏电阻部上且于绝缘性基材上形成之一对图型电极(4)，薄膜热敏电阻部系以TiAlN之热敏电阻材料形成，图型电极具有在薄膜热敏电阻部上形成之TiN之接合层(5)及于该接合层上以贵金属形成之电极层(6)。
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公开(公告)号：TWI588459B
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：TW102147771
申请日：2013-12-23
发明人： 長友憲昭 , NAGATOMO, NORIAKI , 稲場均 , INABA, HITOSHI , 竹島一太 , TAKESHIMA, KAZUTA , 田中寛 , TANAKA, HIROSHI
CPC分类号： G01K7/22 , G01K1/143 , G01K13/08 , H01C1/14 , H01C1/1406 , H01C1/1413 , H01C1/142 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C7/04 , H01L23/495 , H01L35/02 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
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公开(公告)号：TWI555039B
公开(公告)日：2016-10-21
申请号：TW102110894
申请日：2013-03-27
发明人： 長友憲昭 , NAGATOMO, NORIAKI , 田中寛 , TANAKA, HIROSHI , 稲場均 , INABA, HITOSHI , 久保田賢治 , KUBOTA, KENJI
IPC分类号： H01C7/04
CPC分类号： G01K7/226 , G01K1/143 , H01C1/142 , H01C7/008 , H01C17/06513
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