-
公开(公告)号：TW202026338A
公开(公告)日：2020-07-16
申请号：TW108147162
申请日：2019-12-23
发明人： 羅鍾昊 , NA, JONG HO , 許槿 , HUH, GEUN , 申佳姬 , SHIN, KAHEE , 李垠泳 , LEE, EUN-YOUNG , 梁鍾韓 , YANG, JONG HAN
IPC分类号： C08G77/04 , C08F212/08 , C08F220/00 , C08F220/18 , C07C309/76 , G03F7/004 , G03F7/022 , G03F7/075 , G03F7/039 , G03F7/32 , H01L21/027
摘要： 本發明涉及一種正型光敏樹脂組成物和一種由其製備的固化膜。在該組成物中，藉由含有具有特定結構的重複單元的聚合物的光活性化合物和/或單體的光活性化合物與兩種黏合劑樹脂（即矽氧烷共聚物和丙烯酸類共聚物）之間的相互作用來適當地調節顯影性（即顯影速率）。因此，有可能降低在顯影步驟期間固化膜厚度損失率。另外，使用該組成物允許藉由該兩種黏合劑樹脂與該光活性化合物之間的相互作用增加暴露部分（即曝光的部分），這增加了在顯影劑中的溶解性，由此可以增強敏感性。此外，該組成物能夠形成固化膜，該固化膜在膜保留率方面是優異的，並且甚至在後烘烤後具有光滑的表面。
简体摘要： 本发明涉及一种正型光敏树脂组成物和一种由其制备的固化膜。在该组成物中，借由含有具有特定结构的重复单元的聚合物的光活性化合物和/或单体的光活性化合物与两种黏合剂树脂（即硅氧烷共聚物和丙烯酸类共聚物）之间的相互作用来适当地调节显影性（即显影速率）。因此，有可能降低在显影步骤期间固化膜厚度损失率。另外，使用该组成物允许借由该两种黏合剂树脂与该光活性化合物之间的相互作用增加暴露部分（即曝光的部分），这增加了在显影剂中的溶解性，由此可以增强敏感性。此外，该组成物能够形成固化膜，该固化膜在膜保留率方面是优异的，并且甚至在后烘烤后具有光滑的表面。
-
公开(公告)号：TW202018414A
公开(公告)日：2020-05-16
申请号：TW108139999
申请日：2019-11-05
发明人： 申佳姬 , SHIN, KAHEE , 李垠泳 , LEE, EUN-YOUNG , 羅鍾昊 , NA, JONG-HO , 許槿 , HUH, GEUN
摘要： 本發明係關於一種正型光敏樹脂組成物和一種由其製備的固化膜。該組成物包含含有雙鍵的可光聚合化合物和特定的光聚合引發劑，其中該含有雙鍵的可光聚合化合物在曝光時抑制光聚合反應，但在顯影後在光漂白時引起光聚合反應，從而控制該組成物在熱固化期間的流動性。因此，易於形成圖案，這使得能夠在顯影時並且甚至在顯影後的硬烘烤過程中維持優異的感光度，並且有可能提供膜強度和膜保持率均優異的固化膜。
简体摘要： 本发明系关于一种正型光敏树脂组成物和一种由其制备的固化膜。该组成物包含含有双键的可光聚合化合物和特定的光聚合引发剂，其中该含有双键的可光聚合化合物在曝光时抑制光聚合反应，但在显影后在光漂白时引起光聚合反应，从而控制该组成物在热固化期间的流动性。因此，易于形成图案，这使得能够在显影时并且甚至在显影后的硬烘烤过程中维持优异的感光度，并且有可能提供膜强度和膜保持率均优异的固化膜。
-
搜索结果
2 条记录 (耗时 0.014 秒)
