正型光敏樹脂組成物及由其製備之固化膜
    5.
    发明专利
    正型光敏樹脂組成物及由其製備之固化膜 审中-公开
    正型光敏树脂组成物及由其制备之固化膜

    公开(公告)号:TW202018414A

    公开(公告)日:2020-05-16

    申请号:TW108139999

    申请日:2019-11-05

    IPC分类号: G03F7/004 G03F7/031 G03F7/039

    摘要: 本發明係關於一種正型光敏樹脂組成物和一種由其製備的固化膜。該組成物包含含有雙鍵的可光聚合化合物和特定的光聚合引發劑,其中該含有雙鍵的可光聚合化合物在曝光時抑制光聚合反應,但在顯影後在光漂白時引起光聚合反應,從而控制該組成物在熱固化期間的流動性。因此,易於形成圖案,這使得能夠在顯影時並且甚至在顯影後的硬烘烤過程中維持優異的感光度,並且有可能提供膜強度和膜保持率均優異的固化膜。

    简体摘要: 本发明系关于一种正型光敏树脂组成物和一种由其制备的固化膜。该组成物包含含有双键的可光聚合化合物和特定的光聚合引发剂,其中该含有双键的可光聚合化合物在曝光时抑制光聚合反应,但在显影后在光漂白时引起光聚合反应,从而控制该组成物在热固化期间的流动性。因此,易于形成图案,这使得能够在显影时并且甚至在显影后的硬烘烤过程中维持优异的感光度,并且有可能提供膜强度和膜保持率均优异的固化膜。