公开(公告)号：TW201727879A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：TW105101598

申请日：2016-01-19

申请人： 友達光電股份有限公司 ,  AU OPTRONICS CORP.

发明人： 劉展睿 ,  LIU, CHAN-JUI ,  林瑜玲 ,  LIN, YU-LING ,  單建勳 ,  SHAN, CHIEN-HSUN ,  林佳樺 ,  LIN, JIA-HUA

IPC分类号： H01L27/118 ,  H01L21/70 ,  G02F1/1362

CPC分类号： H01L27/1255 ,  H01L27/1222 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1248 ,  H01L27/1259 ,  H01L29/41733 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/78618 ,  H01L29/78621 ,  H01L29/78675

摘要： 本發明提供一種陣列基板及其製作方法，利用圖案化輔助導電層之蝕刻阻擋圖案或輔助導電圖案與圖案化半導體層之重摻雜區對應設置，使得源極/汲極電極可通過蝕刻阻擋圖案或輔助導電圖案而與重摻雜區形成電性連接，藉此達到提升產品良率與電性均勻性等目的。

简体摘要： 本发明提供一种数组基板及其制作方法，利用图案化辅助导电层之蚀刻阻挡图案或辅助导电图案与图案化半导体层之重掺杂区对应设置，使得源极/汲极电极可通过蚀刻阻挡图案或辅助导电图案而与重掺杂区形成电性连接，借此达到提升产品良率与电性均匀性等目的。

公开(公告)号：TWI572020B

公开(公告)日：2017-02-21

申请号：TW105101598

申请日：2016-01-19

申请人： 友達光電股份有限公司 ,  AU OPTRONICS CORP.

发明人： 劉展睿 ,  LIU, CHAN-JUI ,  林瑜玲 ,  LIN, YU-LING ,  單建勳 ,  SHAN, CHIEN-HSUN ,  林佳樺 ,  LIN, JIA-HUA

IPC分类号： H01L27/118 ,  H01L21/70 ,  G02F1/1362

CPC分类号： H01L27/1255 ,  H01L27/1222 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1248 ,  H01L27/1259 ,  H01L29/41733 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/78618 ,  H01L29/78621 ,  H01L29/78675