微機電系統濕度感測器
    1.
    发明专利
    微機電系統濕度感測器 审中-公开
    微机电系统湿度传感器

    公开(公告)号:TW201809650A

    公开(公告)日:2018-03-16

    申请号:TW106103824

    申请日:2017-02-06

    CPC classification number: G01N27/223 G01N27/226

    Abstract: 一種微機電系統(micro-electro mechanical system,MEMS)濕度感測器,包含第一基板、第二基板及感測結構。第二基板與第一基板大致平行。感測結構介於第一基板與第二基板之間,並接合第一基板的一部分及第二基板的一部分,其中第二基板包含導電層面對感測結構,且介於第一基板與感測結構之間的第一空間與外部連通或隔離,且介於導電層與感測結構之間的第二空間與氣氛連通,且感測結構、第二空間及導電層構成設置用以量測氣氛之介電常數的電容器,而氣氛的濕度從氣氛之介電常數、氣氛之壓力及溫度導出。

    Abstract in simplified Chinese: 一种微机电系统(micro-electro mechanical system,MEMS)湿度传感器,包含第一基板、第二基板及传感结构。第二基板与第一基板大致平行。传感结构介于第一基板与第二基板之间,并接合第一基板的一部分及第二基板的一部分,其中第二基板包含导电层面对传感结构,且介于第一基板与传感结构之间的第一空间与外部连通或隔离,且介于导电层与传感结构之间的第二空间与气氛连通,且传感结构、第二空间及导电层构成设置用以量测气氛之介电常数的电容器,而气氛的湿度从气氛之介电常数、气氛之压力及温度导出。

    感測器讀出電路
    4.
    发明专利
    感測器讀出電路 审中-公开
    传感器读出电路

    公开(公告)号:TW201911312A

    公开(公告)日:2019-03-16

    申请号:TW106139983

    申请日:2017-11-17

    Abstract: 一種bioFET感測器讀出電路。讀出電路包含串聯耦接的複數個邏輯閘、延遲提取器及計數模塊。複數個邏輯閘中的每個邏輯閘包含至少一個bioFET感測器。延遲提取器設計以基於來自多個邏輯閘的輸出信號與參考信號之間的時間差產生脈衝寬度信號。計數模組設計以接收脈衝寬度信號並輸出對應於脈衝寬度信號之寬度的數位計數。

    Abstract in simplified Chinese: 一种bioFET传感器读出电路。读出电路包含串联耦接的复数个逻辑门、延迟提取器及计数模块。复数个逻辑门中的每个逻辑门包含至少一个bioFET传感器。延迟提取器设计以基于来自多个逻辑门的输出信号与参考信号之间的时间差产生脉冲宽度信号。计数模块设计以接收脉冲宽度信号并输出对应于脉冲宽度信号之宽度的数码计数。

    生物場效電晶體感測器、微流體系統及其使用方法
    6.
    发明专利
    生物場效電晶體感測器、微流體系統及其使用方法 审中-公开
    生物场效应管传感器、微流体系统及其使用方法

    公开(公告)号:TW202004177A

    公开(公告)日:2020-01-16

    申请号:TW108101272

    申请日:2019-01-11

    Abstract: 一種微流體系統,包括:半導體基板,具有第一表面以及相對平行第二表面;第一生物場效電晶體(bioFET)感測器;以及第二bioFET感測器。隔離層設置在半導體基板的第二表面上且具有在第一bioFET感測器上方的第一開口以及在第二bioFET感測器上方的第二開口。介面層設置於第一開口以及第二開口中的至少每一個中。系統包括具有差動放大器的讀出電路,差動放大器設計成測量與第一bioFET感測器以及第二bioFET感測器相關聯的信號之間的差值。系統還包括微流體網路,微流體網路設計成將流體傳遞到設置於第一開口以及第二開口中的每一個中的介面層。

    Abstract in simplified Chinese: 一种微流体系统,包括:半导体基板,具有第一表面以及相对平行第二表面;第一生物场效应管(bioFET)传感器;以及第二bioFET传感器。隔离层设置在半导体基板的第二表面上且具有在第一bioFET传感器上方的第一开口以及在第二bioFET传感器上方的第二开口。界面层设置于第一开口以及第二开口中的至少每一个中。系统包括具有差动放大器的读出电路,差动放大器设计成测量与第一bioFET传感器以及第二bioFET传感器相关联的信号之间的差值。系统还包括微流体网络,微流体网络设计成将流体传递到设置于第一开口以及第二开口中的每一个中的界面层。

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