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公开(公告)号:TWI667711B
公开(公告)日:2019-08-01
申请号:TW106136398
申请日:2017-10-23
Inventor: 黃睿政 , HUANG, JUI-CHENG , 張儀賢 , CHANG, YI-HSIEN , 溫清華 , WEN, CHIN-HUA , 鄭創仁 , CHENG, CHUN-REN , 黃士芬 , HUANG, SHIH-FEN , 陳東村 , CHEN, TUNG-TSUN , 黃毓傑 , HUANG, YU-JIE , 林璟暉 , LIN, CHING-HUI
IPC: H01L21/336 , H01L21/76
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公开(公告)号:TW201911423A
公开(公告)日:2019-03-16
申请号:TW106136398
申请日:2017-10-23
Inventor: 黃睿政 , HUANG, JUI-CHENG , 張儀賢 , CHANG, YI-HSIEN , 溫清華 , WEN, CHIN-HUA , 鄭創仁 , CHENG, CHUN-REN , 黃士芬 , HUANG, SHIH-FEN , 陳東村 , CHEN, TUNG-TSUN , 黃毓傑 , HUANG, YU-JIE , 林璟暉 , LIN, CHING-HUI
IPC: H01L21/336 , H01L21/76
Abstract: 一種生物場效電晶體裝置包括:半導體基底,具有第一表面及與第一表面相對且平行的第二表面;以及多個生物場效電晶體感測器,位於半導體基底上。每一生物場效電晶體感測器包括:閘極,形成於半導體基底的第一表面上;以及通道區,在閘極下方以及源極/汲極(S/D)區之間形成於半導體基底內。通道區包括半導體基底的第二表面的一部分。隔離層設置於半導體基底的第二表面上。隔離層具有開口,開口位於多個生物場效電晶體感測器中的多於一個生物場效電晶體感測器的通道區之上。介面層設置於開口中多於一個生物場效電晶體感測器的通道區上。
Abstract in simplified Chinese: 一种生物场效应管设备包括:半导体基底,具有第一表面及与第一表面相对且平行的第二表面;以及多个生物场效应管传感器,位于半导体基底上。每一生物场效应管传感器包括:闸极,形成于半导体基底的第一表面上;以及信道区,在闸极下方以及源极/汲极(S/D)区之间形成于半导体基底内。信道区包括半导体基底的第二表面的一部分。隔离层设置于半导体基底的第二表面上。隔离层具有开口,开口位于多个生物场效应管传感器中的多于一个生物场效应管传感器的信道区之上。界面层设置于开口中多于一个生物场效应管传感器的信道区上。
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公开(公告)号:TWI672486B
公开(公告)日:2019-09-21
申请号:TW106120731
申请日:2017-06-21
Inventor: 黃睿政 , HUANG, JUI-CHENG , 溫清華 , WEN, CHIN-HUA , 陳東村 , CHEN, TUNG-TSUN , 謝正祥 , HSIEH, CHENG-HSIANG , 黃毓傑 , HUANG, YU-JIE , 林璟暉 , LIN, CHING-HUI
IPC: G01N1/10 , G01N27/414
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公开(公告)号:TW201833543A
公开(公告)日:2018-09-16
申请号:TW106125726
申请日:2017-07-31
Inventor: 張儀賢 , CHANG, YI-HSIEN , 鄭創仁 , CHENG, CHUN-REN , 黃士芬 , HUANG, SHIH-FEN , 林璟暉 , LIN, CHING-HUI
IPC: G01N27/414
Abstract: 本發明實施例提供一種半導體裝置及相關聯製造方法,該半導體裝置包含具有嵌入於該半導體裝置內之一晶載參考電極之一生物感測器。在一些實施例中,一對源極/汲極區安置於一裝置基板內且由一通道區分離。一隔離層安置於該裝置基板上方。一感測井自該隔離層之一上表面安置而上覆該通道區。一生物感測膜沿該隔離層之該上表面安置且沿該感測井之側壁及下表面延伸。一參考電極垂直安置於該生物感測膜與該隔離層之間。
Abstract in simplified Chinese: 本发明实施例提供一种半导体设备及相关联制造方法,该半导体设备包含具有嵌入于该半导体设备内之一晶载参考电极之一生物传感器。在一些实施例中,一对源极/汲极区安置于一设备基板内且由一信道区分离。一隔离层安置于该设备基板上方。一传感井自该隔离层之一上表面安置而上覆该信道区。一生物传感膜沿该隔离层之该上表面安置且沿该传感井之侧壁及下表面延伸。一参考电极垂直安置于该生物传感膜与该隔离层之间。
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公开(公告)号:TW201805610A
公开(公告)日:2018-02-16
申请号:TW106120731
申请日:2017-06-21
Inventor: 黃睿政 , HUANG, JUI-CHENG , 溫清華 , WEN, CHIN-HUA , 陳東村 , CHEN, TUNG-TSUN , 謝正祥 , HSIEH, CHENG-HSIANG , 黃毓傑 , HUANG, YU-JIE , 林璟暉 , LIN, CHING-HUI
IPC: G01N1/10 , G01N27/414
Abstract: 本揭露闡述一種液體盒體及操作方法。該液體盒體包含一基板,該基板具有:複數個接點墊,其經設計以與一分析器電耦合;一半導體晶片,其具有一感測器陣列;及一參考電極。該液體盒體包含一第一液體通道,該第一液體通道具有一入口且耦合至一第二液體通道,該第二液體通道經對準使得該感測器陣列及該參考電極放置在該第二液體通道內。一第一插塞放置在第一入口處。該第一插塞包含經組態以由一毛細管刺穿但不會使液體穿過該第一插塞洩漏之一柔性材料。
Abstract in simplified Chinese: 本揭露阐述一种液体盒体及操作方法。该液体盒体包含一基板,该基板具有:复数个接点垫,其经设计以与一分析器电耦合;一半导体芯片,其具有一传感器数组;及一参考电极。该液体盒体包含一第一液体信道,该第一液体信道具有一入口且耦合至一第二液体信道,该第二液体信道经对准使得该传感器数组及该参考电极放置在该第二液体信道内。一第一插塞放置在第一入口处。该第一插塞包含经组态以由一毛细管刺穿但不会使液体穿过该第一插塞泄漏之一柔性材料。
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