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公开(公告)号：TWI694549B
公开(公告)日：2020-05-21
申请号：TW107141442
申请日：2018-11-21
Inventor： 紀志堅 , CHI, CHIH CHIEN , 李佩璇 , LEE, PEI HSUAN , 蘇鴻文 , SU, HUNG WEN , 魏孝寬 , WEI, HSIAO KUAN , 簡瑞芬 , CHIEN, JUI FEN , 許馨云 , HSU, HSIN YUN
IPC: H01L21/768 , H01L29/66 , H01L29/78
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