公开(公告)号：TW201918810A

公开(公告)日：2019-05-16

申请号：TW107103122

申请日：2018-01-29

申请人： 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

发明人： 黃俊榮 ,  HUANG, CHUN JUNG ,  徐光宏 ,  HSU, KUANG HUAN ,  徐永璘 ,  HSU, YUNG LIN

IPC分类号： G05B19/18

摘要： 本揭示揭露一種監控製造設施之環境及安全的監控方法及監控系統。在一實施方式中，監控方法包含：將自動化物料搬運系統(AMHS)載具由第一位置運輸至第二位置，以及使用位於AMHS載具上之至少一感測器偵測至少一參數，以判斷第一位置及第二位置間的至少一環境或安全條件。

简体摘要： 本揭示揭露一种监控制造设施之环境及安全的监控方法及监控系统。在一实施方式中，监控方法包含：将自动化物料搬运系统(AMHS)载具由第一位置运输至第二位置，以及使用位于AMHS载具上之至少一传感器侦测至少一参数，以判断第一位置及第二位置间的至少一环境或安全条件。

公开(公告)号：TWI666158B

公开(公告)日：2019-07-21

申请号：TW107125004

申请日：2018-07-19

申请人： 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

发明人： 黃俊榮 ,  HUANG, CHUN JUNG ,  徐永璘 ,  HSU, YUNG LIN ,  徐光宏 ,  HSU, KUANG HUAN ,  陳宗緯 ,  CHEN, TSUNG WEI ,  黃文育 ,  HUANG, WEN YU ,  楊岳崙 ,  YANG, YUEH LUN

IPC分类号： B65G49/07

公开(公告)号：TWI464912B

公开(公告)日：2014-12-11

申请号：TW101111001

申请日：2012-03-29

申请人： 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

发明人： 吳欣賢 ,  WU, HSIN HSIEN ,  陳其賢 ,  CHERN, CHYI SHYUAN ,  張鈞琳 ,  CHANG, CHUN LIN ,  蕭景文 ,  HSIAO, CHING WEN ,  徐光宏 ,  HSU, KUANG HUAN

IPC分类号： H01L33/22

CPC分类号： H01L33/22 ,  H01L21/2654 ,  H01L21/26546 ,  H01L21/26593 ,  H01L33/0025 ,  H01L33/06 ,  H01L33/32