公开(公告)号：TWI501434B

公开(公告)日：2015-09-21

申请号：TW099125684

申请日：2010-08-03

Applicant: 國立研究開發法人科學技術振興機構 ,  JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY

Inventor： 本江克次 ,  MOTOE, YOSHITSUGU ,  中島浩二 ,  NAKASHIMA, KOJI ,  石川智仁 ,  ISHIKAWA, TOMOHITO ,  杉山雅治 ,  SUGIYAMA, MASAHARU ,  五十嵐貴教 ,  IGARASHI, TAKANORI ,  脇若弘之 ,  WAKIWAKA, HIROYUKI ,  牧野彰宏 ,  MAKINO, AKIHIRO ,  井上明久 ,  INOUE, AKIHISA

IPC: H01L41/12 ,  H01L41/22 ,  C23C4/12 ,  G01L3/10 ,  G01L1/12

CPC classification number: G01L3/102 ,  C22C33/003 ,  C22C45/02 ,  C23C4/06 ,  G01L3/103 ,  G01L3/105 ,  G01R33/18 ,  H01F10/131 ,  H01L41/125 ,  H01L41/20 ,  H01L41/47 ,  Y10T428/265