Patent search ap:("大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司") AND inv:"鄧玉春" Page 1

1.

发明专利
一種退火製程方法、製程腔室及退火裝置有权
Simplified title: 一种退火制程方法、制程腔室及退火设备

公开(公告)号：TWI697960B

公开(公告)日：2020-07-01

申请号：TW106120089

申请日：2017-06-16

Applicant: 大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司

Inventor： 白志民 , 李強 , 鄧斌 , 鄧玉春 , 王厚工 , 丁培軍

IPC: H01L21/324 , H01L21/67 , H01L21/677

2.

发明专利
饋入結構、上電極元件以及物理氣相沉積腔室和裝置有权
Simplified title: 馈入结构、上电极组件以及物理气相沉积腔室和设备

公开(公告)号：TWI671415B

公开(公告)日：2019-09-11

申请号：TW107120879

申请日：2018-06-15

Applicant: 大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司

Inventor： 鄧玉春 , 張超 , 陳鵬 , 邱國慶 , 趙夢欣

IPC: C23C14/06 , C23C14/22 , C23C14/54

3.

发明专利
傳片裝置、製程腔室、機械手、半導體裝置和傳片方法有权
Simplified title: 传片设备、制程腔室、机械手、半导体设备和传片方法

公开(公告)号：TWI652758B

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：TW106114816

申请日：2017-05-04

Applicant: 大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司

Inventor： 鄧玉春

IPC: H01L21/677

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