公开(公告)号：TWI673782B

公开(公告)日：2019-10-01

申请号：TW104136676

申请日：2015-11-06

申请人： 日商庄田德古透隆股份有限公司 ,  SHODA TECHTRON CORP.

发明人： 島村哲也 ,  SHIMAMURA, TETSUYA ,  百鬼和廣 ,  NAKIRI, KAZUHIRO

IPC分类号： H01L21/301 ,  B23D61/18

公开(公告)号：TW201627092A

公开(公告)日：2016-08-01

申请号：TW104136677

申请日：2015-11-06

申请人： 庄田德古透隆股份有限公司 ,  SHODA TECHTRON CORP.

发明人： 島村哲也 ,  SHIMAMURA, TETSUYA ,  百鬼和廣 ,  NAKIRI, KAZUHIRO

IPC分类号： B23C5/08 ,  B23D61/02

CPC分类号： B23D45/105 ,  B28D1/048 ,  H05K3/00 ,  H05K3/0044 ,  H05K2203/0228

摘要： 本發明提供可以一定深度高精確度地形成分割槽的分割槽形成裝置及分割槽形成方法。該分割槽形成裝置10具備：第1刀具20，具有複數片第1旋轉刃32；第2刀具22，具有複數片第2旋轉刃52；第1旋轉驅動手段72，用以旋轉驅動第1刀具20；第2旋轉驅動手段74，用以旋轉驅動第2刀具22；刀具支持手段76，以使旋轉軸彼此間形成平行且徑向相對的方式支持第1刀具20及第2刀具22；相位調整手段104，用以調整第1刀具20及第2刀具22至少一個的相位，使第1旋轉刃32和第2旋轉刃52在第1刀具20與第2刀具22相對的對向區域形成相對向。

简体摘要： 本发明提供可以一定深度高精确度地形成分区的分区形成设备及分区形成方法。该分区形成设备10具备：第1刀具20，具有复数片第1旋转刃32；第2刀具22，具有复数片第2旋转刃52；第1旋转驱动手段72，用以旋转驱动第1刀具20；第2旋转驱动手段74，用以旋转驱动第2刀具22；刀具支持手段76，以使旋转轴彼此间形成平行且径向相对的方式支持第1刀具20及第2刀具22；相位调整手段104，用以调整第1刀具20及第2刀具22至少一个的相位，使第1旋转刃32和第2旋转刃52在第1刀具20与第2刀具22相对的对向区域形成相对向。

公开(公告)号：TW201628074A

公开(公告)日：2016-08-01

申请号：TW104136676

申请日：2015-11-06

申请人： 庄田德古透隆股份有限公司 ,  SHODA TECHTRON CORP.

发明人： 島村哲也 ,  SHIMAMURA, TETSUYA ,  百鬼和廣 ,  NAKIRI, KAZUHIRO

IPC分类号： H01L21/301 ,  B23D61/18

CPC分类号： B23D45/105 ,  B23D47/12 ,  B23D59/001 ,  B28D1/048 ,  H05K3/0052 ,  H05K2203/0228 ,  H05K2203/1572

摘要： 本發明提供可在切斷時抑制基板的撓曲，且可防止裝置構成大型化的基板切斷裝置及基板切斷方法。該基板切斷裝置10具備：第1刀具20，具有複數片第1旋轉刃32；第2刀具22，具有複數片第2旋轉刃52；第1旋轉驅動手段72，用以旋轉驅動第1刀具20；第2旋轉驅動手段74，用以旋轉驅動第2刀具22；刀具支持手段76，用以支持第1刀具20及第2刀具22，使旋轉軸彼此間形成平行且徑向相對；及相位調整手段104，用以調整第1刀具20及第2刀具22至少一個的相位，使第2旋轉刃52在第1刀具20與第2刀具22相對的對向區域，位於相鄰2片第1旋轉刃32之間。

简体摘要： 本发明提供可在切断时抑制基板的挠曲，且可防止设备构成大型化的基板切断设备及基板切断方法。该基板切断设备10具备：第1刀具20，具有复数片第1旋转刃32；第2刀具22，具有复数片第2旋转刃52；第1旋转驱动手段72，用以旋转驱动第1刀具20；第2旋转驱动手段74，用以旋转驱动第2刀具22；刀具支持手段76，用以支持第1刀具20及第2刀具22，使旋转轴彼此间形成平行且径向相对；及相位调整手段104，用以调整第1刀具20及第2刀具22至少一个的相位，使第2旋转刃52在第1刀具20与第2刀具22相对的对向区域，位于相邻2片第1旋转刃32之间。