公开(公告)号：TW202010572A

公开(公告)日：2020-03-16

申请号：TW108120236

申请日：2019-06-12

Applicant: 德商蘇士微科技印刷術股份有限公司 ,  SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH

Inventor： 卡德爾 梅卡斯 ,  KADER, MEKIAS

IPC: B05B1/28 ,  B05B1/30 ,  F16K23/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本發明關於一種用於對基板施加塗料的分配噴嘴(1)，其具有閥座(16)；適於在關閉位置及打開位置之間被位移的閥元件(14)，在關閉位置處，閥元件與閥座(16)交互作用，以關閉分配噴嘴(1)的塗料材料入口(2)與塗料材料出口(3)之間的連接，在打開位置處，此連接被打開；且分配噴嘴還包括回縮元件(24)，其適於在向前位置及向後位置之間被位移，回縮元件(24)在閥元件(16)的下游與分配噴嘴(1)的分配通道(18)流體連通。

Abstract in simplified Chinese: 本发明关于一种用于对基板施加涂料的分配喷嘴(1)，其具有阀座(16)；适于在关闭位置及打开位置之间被位移的阀组件(14)，在关闭位置处，阀组件与阀座(16)交互作用，以关闭分配喷嘴(1)的涂料材料入口(2)与涂料材料出口(3)之间的连接，在打开位置处，此连接被打开；且分配喷嘴还包括回缩组件(24)，其适于在向前位置及向后位置之间被位移，回缩组件(24)在阀组件(16)的下游与分配喷嘴(1)的分配信道(18)流体连通。