公开(公告)号：TWI701708B

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：TW106105124

申请日：2017-02-16

Applicant: 德商蘇士微科技印刷術股份有限公司 ,  SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH

Inventor： 強生 黑爾 ,  JOHNSON, HALE ,  喬治 葛瑞格利 ,  GEORGE, GREGORY

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/30

公开(公告)号：TWI701085B

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：TW105110914

申请日：2016-04-07

Applicant: 德商蘇士微科技印刷術股份有限公司 ,  SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH

Inventor： 費雪 凱琴 ,  FISCHER, KATRIN ,  帕利 弗洛里安 ,  PALITSCHKA, FLORIAN ,  索思沃斯 達倫 ,  SOUTHWORTH, DARREN ROBERT ,  惠特尼 威廉 ,  WHITNEY, WILLIAM

IPC: B05D7/24 ,  G03F7/16

公开(公告)号：TW201903919A

公开(公告)日：2019-01-16

申请号：TW107118891

申请日：2018-06-01

Applicant: 德商蘇士微科技印刷術股份有限公司 ,  SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH

Inventor： 強生 黑爾 ,  JOHNSON, HALE ,  喬治 葛瑞格利 ,  GEORGE, GREGORY ,  魯米斯 艾倫 ,  LOOMIS, AARON

IPC: H01L21/58 ,  H01L21/768

Abstract: 提供一種工業規模系統及方法來處理精確地對準及置中的半導體基板(例如，晶圓)對，以用於基板至基板(例如，晶圓至晶圓)對準及接合應用。一些實施例包含具有框架構件及間隔件總成之對準基板傳送裝置。該已置中的半導體基板對可使用該對準基板傳送裝置且可視情況在機器人控制下被定位在處理系統中。該已置中的半導體基板對可在該對準基板傳送裝置未出現在該接合裝置中的情況下被接合在一起。該接合裝置可包含第二間隔件總成，其與該對準基板傳送裝置協同操作以執行在該基板之間的間隔件交遞。

Abstract in simplified Chinese: 提供一种工业规模系统及方法来处理精确地对准及置中的半导体基板(例如，晶圆)对，以用于基板至基板(例如，晶圆至晶圆)对准及接合应用。一些实施例包含具有框架构件及间隔件总成之对准基板发送设备。该已置中的半导体基板对可使用该对准基板发送设备且可视情况在机器人控制下被定位在处理系统中。该已置中的半导体基板对可在该对准基板发送设备未出现在该接合设备中的情况下被接合在一起。该接合设备可包含第二间隔件总成，其与该对准基板发送设备协同操作以运行在该基板之间的间隔件交递。

公开(公告)号：TW201843761A

公开(公告)日：2018-12-16

申请号：TW107113819

申请日：2018-04-24

Applicant: 德商蘇士微科技印刷術股份有限公司 ,  SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH

Inventor： 辛德勒 卡翠恩 ,  SCHINDLER, KATRIN

IPC: H01L21/68 ,  G06K9/20

Abstract: 本發明關於一種用於將第一基板（201），特別是遮罩，與第二基板（203），特別是晶圓，對準的方法（100），包括：將所述第一基板（201）和所述第二基板（203）插入（101）到定位設備（205）中；擷取（103）所述第一基板（201）和所述第二基板（203）的至少一個接合影像（301）；顯示（105）所述影像（301）；所述影像（301）中的多個影像點被使用者標記（107）；以及基於所述標記的影像點確定（109）用於致動所述定位設備（205）的控制命令，使得所述基板（201、203）彼此對準。

Abstract in simplified Chinese: 本发明关于一种用于将第一基板（201），特别是遮罩，与第二基板（203），特别是晶圆，对准的方法（100），包括：将所述第一基板（201）和所述第二基板（203）插入（101）到定位设备（205）中；截取（103）所述第一基板（201）和所述第二基板（203）的至少一个接合影像（301）；显示（105）所述影像（301）；所述影像（301）中的多个影像点被用户标记（107）；以及基于所述标记的影像点确定（109）用于致动所述定位设备（205）的控制命令，使得所述基板（201、203）彼此对准。

公开(公告)号：TW202030775A

公开(公告)日：2020-08-16

申请号：TW108134465

申请日：2019-09-24

Applicant: 德商蘇士微科技印刷術股份有限公司 ,  SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH

Inventor： 拉塔德 魯多維克 ,  LATTARD, LUDOVIC ,  塔古斯 雷納 ,  TARGUS, RAINER

IPC: H01L21/02 ,  G03F7/42 ,  H01L21/67

Abstract: 本發明是關於用於處理基板(12)的邊緣珠粒移除系統(10)，其包括邊緣珠粒移除頭(20)，移除頭(20)具有主體(22)和從主體(22)突出的二臂(24)。臂(24)彼此有距離而在其間界定接收空間(26)以容納待處理的基板(12)。突出臂(24)各具有彼此面對的功能性表面(36)，並且其中功能性表面(36)各包括至少一流體出口(38)。本發明亦關於處理基板(12)的方法。

Abstract in simplified Chinese: 本发明是关于用于处理基板(12)的边缘珠粒移除系统(10)，其包括边缘珠粒移除头(20)，移除头(20)具有主体(22)和从主体(22)突出的二臂(24)。臂(24)彼此有距离而在其间界定接收空间(26)以容纳待处理的基板(12)。突出臂(24)各具有彼此面对的功能性表面(36)，并且其中功能性表面(36)各包括至少一流体出口(38)。本发明亦关于处理基板(12)的方法。

公开(公告)号：TW202004977A

公开(公告)日：2020-01-16

申请号：TW108116391

申请日：2019-05-13

Applicant: 德商蘇士微科技印刷術股份有限公司 ,  SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH

Inventor： 葛倫德 湯瑪斯 ,  GRUND, THOMAS ,  塔古斯 雷納 ,  TARGUS, RAINER

IPC: H01L21/683

Abstract: 本發明有關用於基板(101)的固持裝置(100)，尤其是夾盤，其包括：主體(103)，其具有上側(105)；攜載元件(107)，其中攜載元件(107)配置於主體(103)的凹陷(109)中，如此而可垂直移動，使得它可以在突起的載入位置和撤回的夾箝位置之間調整，並且其中攜載元件(107)包括支撐表面(111)以放置基板(101)，其中支撐表面(111)具有小於主體(103)的直徑；以及舉升元件，其舉升攜載元件(107)到載入位置；其中攜載元件(107)密封凹陷(109)，使得密封腔穴(113)設在主體(103)和攜載元件(107)之間，該腔穴(113)可以具有對它所施加的負壓而抵消舉升元件的效果。

Abstract in simplified Chinese: 本发明有关用于基板(101)的固持设备(100)，尤其是夹盘，其包括：主体(103)，其具有上侧(105)；携载组件(107)，其中携载组件(107)配置于主体(103)的凹陷(109)中，如此而可垂直移动，使得它可以在突起的加载位置和撤回的夹箝位置之间调整，并且其中携载组件(107)包括支撑表面(111)以放置基板(101)，其中支撑表面(111)具有小于主体(103)的直径；以及举升组件，其举升携载组件(107)到加载位置；其中携载组件(107)密封凹陷(109)，使得密封腔穴(113)设在主体(103)和携载组件(107)之间，该腔穴(113)可以具有对它所施加的负压而抵消举升组件的效果。

公开(公告)号：TWI695229B

公开(公告)日：2020-06-01

申请号：TW105103332

申请日：2016-02-02

Applicant: 德商蘇士微科技印刷術股份有限公司 ,  SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH

Inventor： 凱瑟 保羅 ,  KAISER, PAUL

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：TW202010572A

公开(公告)日：2020-03-16

申请号：TW108120236

申请日：2019-06-12

Applicant: 德商蘇士微科技印刷術股份有限公司 ,  SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH

Inventor： 卡德爾 梅卡斯 ,  KADER, MEKIAS

IPC: B05B1/28 ,  B05B1/30 ,  F16K23/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本發明關於一種用於對基板施加塗料的分配噴嘴(1)，其具有閥座(16)；適於在關閉位置及打開位置之間被位移的閥元件(14)，在關閉位置處，閥元件與閥座(16)交互作用，以關閉分配噴嘴(1)的塗料材料入口(2)與塗料材料出口(3)之間的連接，在打開位置處，此連接被打開；且分配噴嘴還包括回縮元件(24)，其適於在向前位置及向後位置之間被位移，回縮元件(24)在閥元件(16)的下游與分配噴嘴(1)的分配通道(18)流體連通。

Abstract in simplified Chinese: 本发明关于一种用于对基板施加涂料的分配喷嘴(1)，其具有阀座(16)；适于在关闭位置及打开位置之间被位移的阀组件(14)，在关闭位置处，阀组件与阀座(16)交互作用，以关闭分配喷嘴(1)的涂料材料入口(2)与涂料材料出口(3)之间的连接，在打开位置处，此连接被打开；且分配喷嘴还包括回缩组件(24)，其适于在向前位置及向后位置之间被位移，回缩组件(24)在阀组件(16)的下游与分配喷嘴(1)的分配信道(18)流体连通。

公开(公告)号：TW201831290A

公开(公告)日：2018-09-01

申请号：TW107102181

申请日：2018-01-22

Applicant: 德商蘇士微科技印刷術股份有限公司 ,  SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH

Inventor： 博格納 伯恩哈德 ,  BOGNER, BERNHARD

IPC: B25J15/06

Abstract: 用於末端執行器(10)的抽吸裝置(14)包括具有貫穿通道(36)和接觸表面(38)的主體(28)以及密封唇(30)。接觸表面具有邊緣(39)和凹部(40)，其中貫通通道(36)進入凹部(40)並且凹部(40)終止於邊緣(39)前。主體(28)具有基部(32)和聯接基部(32)的緊固部分(34)。在緊固部分(34)中設置連接通道(44)，其與貫通通道(36)流體連通並且從緊固部分(34)的邊緣延伸。 　　還顯示了末端執行器(10)和製造末端執行器(10)的方法。

Abstract in simplified Chinese: 用于末端运行器(10)的抽吸设备(14)包括具有贯穿信道(36)和接触表面(38)的主体(28)以及密封唇(30)。接触表面具有边缘(39)和凹部(40)，其中贯通信道(36)进入凹部(40)并且凹部(40)终止于边缘(39)前。主体(28)具有基部(32)和联接基部(32)的紧固部分(34)。在紧固部分(34)中设置连接信道(44)，其与贯通信道(36)流体连通并且从紧固部分(34)的边缘延伸。 　　还显示了末端运行器(10)和制造末端运行器(10)的方法。

公开(公告)号：TW201818500A

公开(公告)日：2018-05-16

申请号：TW106137575

申请日：2017-10-31

Applicant: 德商蘇士微科技印刷術股份有限公司 ,  SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH

Inventor： 漢森 斯維恩 ,  HANSEN, SVEN ,  芬克 喬治 ,  FINK, GEORG ,  派崔 亨瑞 ,  PETRY, HENRIK

IPC: H01L21/68

Abstract: 本發明涉及用於定位基板（101）特別是晶片的定位裝置（100），其包括：處理室；基部本體（105）；載體元件（107），其包括用於支撐基板（101）的支撐件（109），載體元件（107）佈置在基部本體（105）上方，並且形成為就距離基部本體（105）的距離而言是可移動的；以及保持件（111），其用於再一基板（103），特別是再一晶片或掩模，所述保持件（111）與所述載體元件（107）相對佈置；其中在基部本體（105）與載體元件（107）之間存在密封腔體（113），其能夠被施加壓力特別是負壓，以便防止所述載體元件（107）由於外力的作用而發生不期望的移動。

Abstract in simplified Chinese: 本发明涉及用于定位基板（101）特别是芯片的定位设备（100），其包括：处理室；基部本体（105）；载体组件（107），其包括用于支撑基板（101）的支撑件（109），载体组件（107）布置在基部本体（105）上方，并且形成为就距离基部本体（105）的距离而言是可移动的；以及保持件（111），其用于再一基板（103），特别是再一芯片或掩模，所述保持件（111）与所述载体组件（107）相对布置；其中在基部本体（105）与载体组件（107）之间存在密封腔体（113），其能够被施加压力特别是负压，以便防止所述载体组件（107）由于外力的作用而发生不期望的移动。