公开(公告)号：TW202004977A

公开(公告)日：2020-01-16

申请号：TW108116391

申请日：2019-05-13

Applicant: 德商蘇士微科技印刷術股份有限公司 ,  SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH

Inventor： 葛倫德 湯瑪斯 ,  GRUND, THOMAS ,  塔古斯 雷納 ,  TARGUS, RAINER

IPC: H01L21/683

Abstract: 本發明有關用於基板(101)的固持裝置(100)，尤其是夾盤，其包括：主體(103)，其具有上側(105)；攜載元件(107)，其中攜載元件(107)配置於主體(103)的凹陷(109)中，如此而可垂直移動，使得它可以在突起的載入位置和撤回的夾箝位置之間調整，並且其中攜載元件(107)包括支撐表面(111)以放置基板(101)，其中支撐表面(111)具有小於主體(103)的直徑；以及舉升元件，其舉升攜載元件(107)到載入位置；其中攜載元件(107)密封凹陷(109)，使得密封腔穴(113)設在主體(103)和攜載元件(107)之間，該腔穴(113)可以具有對它所施加的負壓而抵消舉升元件的效果。

Abstract in simplified Chinese: 本发明有关用于基板(101)的固持设备(100)，尤其是夹盘，其包括：主体(103)，其具有上侧(105)；携载组件(107)，其中携载组件(107)配置于主体(103)的凹陷(109)中，如此而可垂直移动，使得它可以在突起的加载位置和撤回的夹箝位置之间调整，并且其中携载组件(107)包括支撑表面(111)以放置基板(101)，其中支撑表面(111)具有小于主体(103)的直径；以及举升组件，其举升携载组件(107)到加载位置；其中携载组件(107)密封凹陷(109)，使得密封腔穴(113)设在主体(103)和携载组件(107)之间，该腔穴(113)可以具有对它所施加的负压而抵消举升组件的效果。