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公开(公告)号：TWI639264B
公开(公告)日：2018-10-21
申请号：TW103109680
申请日：2014-03-14
Applicant: 應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
Inventor： 王非 , WANG, FEI C. , 柏藍迪佛曼 , BOLANDI, HOOMAN , 王品今 , WANG, CONNIE P. , 彼比尼多維多 , PEBENITO, VICTOR , 路四清 , LU, SIQING , 庫特尼麥可C , KUTNEY, MICHAEL C. , 高登喬瑟夫G , GORDON, JOSEPH G. , 貝許雷許羅伯特Z , BACHRACH, ROBERT Z.
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公开(公告)号：TW201442325A
公开(公告)日：2014-11-01
申请号：TW103109680
申请日：2014-03-14
Applicant: 應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
Inventor： 王非 , WANG, FEI C. , 柏藍迪佛曼 , BOLANDI, HOOMAN , 王品今 , WANG, CONNIE P. , 彼比尼多維多 , PEBENITO, VICTOR , 路四清 , LU, SIQING , 庫特尼麥可C , KUTNEY, MICHAEL C. , 高登喬瑟夫G , GORDON, JOSEPH G. , 貝許雷許羅伯特Z , BACHRACH, ROBERT Z.
CPC classification number: H01M4/0419 , B05B5/025 , B05B13/0221 , H01M4/0404 , H01M4/139 , H01M4/1391 , H01M4/1393 , H01M4/1395 , H01M4/1397 , H01M4/366
Abstract: 本發明揭示一種用於在基板上形成電池活性材料之方法及裝置。在一個實施例中，一種用於在基板之表面上沉積電池活性材料之裝置包括：基板輸送系統，用於在裝置內運輸基板；材料噴霧組件，安置在基板輸送系統上方；及第一加熱元件，鄰接於材料噴霧組件而安置在基板輸送系統上方，該第一加熱元件經設置以加熱基板。材料噴霧組件具有噴嘴之2D陣列，該等噴嘴經設置以將電極形成溶液電噴射在基板之表面上。
Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种用于在基板上形成电池活性材料之方法及设备。在一个实施例中，一种用于在基板之表面上沉积电池活性材料之设备包括：基板输送系统，用于在设备内运输基板；材料喷雾组件，安置在基板输送系统上方；及第一加热组件，邻接于材料喷雾组件而安置在基板输送系统上方，该第一加热组件经设置以加热基板。材料喷雾组件具有喷嘴之2D数组，该等喷嘴经设置以将电极形成溶液电喷射在基板之表面上。
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公开(公告)号：TWI390652B
公开(公告)日：2013-03-21
申请号：TW096145244
申请日：2007-11-28
Applicant: 應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
Inventor： 朴書南 , PARK, SOONAM , 阿瑪德法罕 , AHMAD, FARHAN , 慕吉卡海梅特 , MUNGEKAR, HEMANT , 卡瑪斯山傑 , KAMATH, SANJAY , 李永S , LEE, YOUNG S. , 路四清 , LU, SIQING
CPC classification number: C23C16/4405 , C23C16/45563 , C23C16/45591 , H01J37/3244 , H01J37/32449
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公开(公告)号：TWI491757B
公开(公告)日：2015-07-11
申请号：TW097128157
申请日：2008-07-24
Applicant: 應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
Inventor： 路四清 , LU, SIQING , 錢德思卡恩班納傑 , CHANDRASEKARAN, BALAJI , 吉波愛德華 , GEE, PAUL EDWARD , 茵可尼汀K , INGLE, NITIN K. , 露波默斯基德米翠 , LUBOMIRSKY, DMITRY , 袁正 , YUAN, ZHENG , 葉怡利Y , YIEH, ELLIE Y.
CPC classification number: C23C16/4586 , C23C16/4584 , Y10T279/11
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