公开(公告)号：TW201827321A

公开(公告)日：2018-08-01

申请号：TW107110611

申请日：2012-02-22

申请人： 日商尼康股份有限公司 ,  NIKON CORPORATION

发明人： 濱田智秀 ,  HAMADA, TOMOHIDE ,  木內徹 ,  KIUCHI, TOHRU

IPC分类号： B65G49/07 ,  H01L21/677

摘要： 搬送裝置，其具備：供應滾筒，送出形成為帶狀且具有可撓性之基板；回收滾筒，捲取從前述供應滾筒送出之前述基板；以及驅動部，將供應滾筒與回收滾筒驅動於相對從供應滾筒往回收滾筒之基板之運送方向交叉之方向。

简体摘要： 搬送设备，其具备：供应滚筒，送出形成为带状且具有可挠性之基板；回收滚筒，卷取从前述供应滚筒送出之前述基板；以及驱动部，将供应滚筒与回收滚筒驱动于相对从供应滚筒往回收滚筒之基板之运送方向交叉之方向。

公开(公告)号：TWI695445B

公开(公告)日：2020-06-01

申请号：TW108112834

申请日：2012-12-17

申请人： 日商尼康股份有限公司 ,  NIKON CORPORATION

发明人： 濱田智秀 ,  HAMADA, TOMOHIDE ,  鈴木智也 ,  SUZUKI, TOMONARI

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677

公开(公告)号：TWI686896B

公开(公告)日：2020-03-01

申请号：TW107123789

申请日：2010-08-19

申请人： 日商尼康股份有限公司 ,  NIKON CORPORATION

发明人： 戶口學 ,  TOGUCHI, MANABU ,  青木保夫 ,  AOKI, YASUO ,  濱田智秀 ,  HAMADA, TOMOHIDE ,  白數廣 ,  SHIRASU, HIROSHI

IPC分类号： H01L21/683 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：TWI701206B

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：TW107110611

申请日：2012-02-22

申请人： 日商尼康股份有限公司 ,  NIKON CORPORATION

发明人： 濱田智秀 ,  HAMADA, TOMOHIDE ,  木內徹 ,  KIUCHI, TOHRU

IPC分类号： B65G49/07 ,  H01L21/677

公开(公告)号：TW201839901A

公开(公告)日：2018-11-01

申请号：TW107123789

申请日：2010-08-19

申请人： 日商尼康股份有限公司 ,  NIKON CORPORATION

发明人： 戶口學 ,  TOGUCHI, MANABU ,  青木保夫 ,  AOKI, YASUO ,  濱田智秀 ,  HAMADA, TOMOHIDE ,  白數廣 ,  SHIRASU, HIROSHI

IPC分类号： H01L21/683 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

摘要： 於基板(P)下方，配置有對基板(P)下面噴出空氣之複數個空氣懸浮單元(50)，基板(P)被以非接觸方式支承成大致水平。又，基板(P)，係被定點載台(40)從下方以非接觸方式保持被曝光部位，該被曝光部位之面位置被集中調整。是以，能以高精度對基板(P)進行曝光，且能使基板載台裝置(PST)之構成簡單。

简体摘要： 于基板(P)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气之复数个空气悬浮单元(50)，基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。又，基板(P)，系被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位之面位置被集中调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台设备(PST)之构成简单。

公开(公告)号：TWI649730B

公开(公告)日：2019-02-01

申请号：TW106104997

申请日：2010-02-11

申请人： 日商尼康股份有限公司 ,  NIKON CORPORATION

发明人： 井上英也 ,  INOUE, HIDEYA ,  岩岡徹 ,  IWAOKA, TORU ,  登坂道子 ,  NOBORISAKA, MICHIKO ,  羽鳥正之 ,  HATORI, MASAYUKI ,  浜田智秀 ,  HAMADA, TOMOHIDE

IPC分类号： G08G1/0968 ,  G06F17/30

公开(公告)号：TW201731010A

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：TW106114286

申请日：2011-04-11

申请人： 尼康股份有限公司 ,  NIKON CORPORATION

发明人： 濱田智秀 ,  HAMADA, TOMOHIDE ,  奈良圭 ,  NARA, KEI ,  增川孝志 ,  MASUKAWA, TAKASHI ,  木內徹 ,  KIUCHI, TOHRU

IPC分类号： H01L21/677

CPC分类号： B65H23/32 ,  B65H2301/517

摘要： 基板處理裝置，具備：第1處理裝置，對被搬送於該長帶方向的該片狀基板施予第1處理；第2處理裝置，以相對該第1處理裝置於與該片狀基板之搬送方向交叉之方向錯開的方式配置，且對該片狀基板施予第2處理；第3處理裝置，具備可使二行該片狀基板以隔有間隔之方式一起通過之搬入排出部，且對該第1處理後之片狀基板、或該第2處理後之片狀基板施予第3處理；以及，搬送裝置，包含：第1搬送部，以該片狀基板通過該第1處理裝置朝向該第3處理裝置的方式，將該片狀基板搬送於長帶方向；第2搬送部，以該片狀基板在經該第3處理裝置之後朝向該第2處理裝置的方式，將該片狀基板搬送於長帶方向；以及，第3搬送部，以該片狀基板在經該第2處理裝置之後朝向該第3處理裝置的方式，將該片狀基板搬送於長帶方向。

简体摘要： 基板处理设备，具备：第1处理设备，对被搬送于该长带方向的该片状基板施予第1处理；第2处理设备，以相对该第1处理设备于与该片状基板之搬送方向交叉之方向错开的方式配置，且对该片状基板施予第2处理；第3处理设备，具备可使二行该片状基板以隔有间隔之方式一起通过之搬入排出部，且对该第1处理后之片状基板、或该第2处理后之片状基板施予第3处理；以及，搬送设备，包含：第1搬送部，以该片状基板通过该第1处理设备朝向该第3处理设备的方式，将该片状基板搬送于长带方向；第2搬送部，以该片状基板在经该第3处理设备之后朝向该第2处理设备的方式，将该片状基板搬送于长带方向；以及，第3搬送部，以该片状基板在经该第2处理设备之后朝向该第3处理设备的方式，将该片状基板搬送于长带方向。

公开(公告)号：TW201702161A

公开(公告)日：2017-01-16

申请号：TW105131469

申请日：2012-02-22

申请人： 尼康股份有限公司 ,  NIKON CORPORATION

发明人： 濱田智秀 ,  HAMADA, TOMOHIDE ,  木內徹 ,  KIUCHI, TOHRU

IPC分类号： B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC分类号： B65H18/103 ,  B65H2301/51 ,  B65H2402/32 ,  B65H2701/173

摘要： 搬送裝置，其具備：供應滾筒，送出形成為帶狀且具有可撓性之基板；回收滾筒，捲取從前述供應滾筒送出之前述基板；以及驅動部，將供應滾筒與回收滾筒驅動於相對從供應滾筒往回收滾筒之基板之運送方向交叉之方向。

简体摘要： 搬送设备，其具备：供应滚筒，送出形成为带状且具有可挠性之基板；回收滚筒，卷取从前述供应滚筒送出之前述基板；以及驱动部，将供应滚筒与回收滚筒驱动于相对从供应滚筒往回收滚筒之基板之运送方向交叉之方向。

公开(公告)号：TW201620068A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：TW105103665

申请日：2010-11-18

申请人： 尼康股份有限公司 ,  NIKON CORPORATION

发明人： 濱田智秀 ,  HAMADA, TOMOHIDE ,  木內徹 ,  KIUCHI, TOHRU

IPC分类号： H01L21/677

CPC分类号： B65H75/28 ,  B65H2701/124

摘要： 係使基板之搬送精度提升。 具備連接於基板之連接部與至少用於上述基板與上述連接部之間之對齊之位置基準部。

简体摘要： 系使基板之搬送精度提升。 具备连接于基板之连接部与至少用于上述基板与上述连接部之间之对齐之位置基准部。

公开(公告)号：TW201620067A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：TW105103023

申请日：2011-04-11

申请人： 尼康股份有限公司 ,  NIKON CORPORATION

发明人： 濱田智秀 ,  HAMADA, TOMOHIDE ,  奈良圭 ,  NARA, KEI ,  增川孝志 ,  MASUKAWA, TAKASHI ,  木內徹 ,  KIUCHI, TOHRU

IPC分类号： H01L21/677

CPC分类号： B65H23/32 ,  B65H2301/517

摘要： 基板處理裝置，具備：第1處理裝置，對被搬送於該長帶方向的該片狀基板施予第1處理；第2處理裝置，以相對該第1處理裝置於與該片狀基板之搬送方向交叉之方向錯開的方式配置，且對該片狀基板施予第2處理；第3處理裝置，具備可使二行該片狀基板以隔有間隔之方式一起通過之搬入排出部，且對該第1處理後之片狀基板、或該第2處理後之片狀基板施予第3處理；以及，搬送裝置，包含：第1搬送部，以該片狀基板通過該第1處理裝置朝向該第3處理裝置的方式，將該片狀基板搬送於長帶方向；第2搬送部，以該片狀基板在經該第3處理裝置之後朝向該第2處理裝置的方式，將該片狀基板搬送於長帶方向；以及，第3搬送部，以該片狀基板在經該第2處理裝置之後朝向該第3處理裝置的方式，將該片狀基板搬送於長帶方向。

简体摘要： 基板处理设备，具备：第1处理设备，对被搬送于该长带方向的该片状基板施予第1处理；第2处理设备，以相对该第1处理设备于与该片状基板之搬送方向交叉之方向错开的方式配置，且对该片状基板施予第2处理；第3处理设备，具备可使二行该片状基板以隔有间隔之方式一起通过之搬入排出部，且对该第1处理后之片状基板、或该第2处理后之片状基板施予第3处理；以及，搬送设备，包含：第1搬送部，以该片状基板通过该第1处理设备朝向该第3处理设备的方式，将该片状基板搬送于长带方向；第2搬送部，以该片状基板在经该第3处理设备之后朝向该第2处理设备的方式，将该片状基板搬送于长带方向；以及，第3搬送部，以该片状基板在经该第2处理设备之后朝向该第3处理设备的方式，将该片状基板搬送于长带方向。