公开(公告)号：TW202022975A

公开(公告)日：2020-06-16

申请号：TW108141888

申请日：2019-11-19

申请人： 日商斯庫林集團股份有限公司 ,  SCREEN HOLDINGS CO., LTD.

发明人： 大宅宗明 ,  OE, MUNEAKI ,  鈴木啓悟 ,  SUZUKI, KEIGO ,  塩田明仁 ,  SHIOTA, AKIHITO ,  黒枝篤史 ,  KUROEDA, ATSUSHI ,  富藤幸雄 ,  TOMIFUJI, YUKIO

IPC分类号： H01L21/677 ,  B05C13/02 ,  B05D5/00

摘要： 本發明提供一種可順暢地進行向自下方施加浮力來支撐基板的平台搬送基板且防止基板的搬送不良或損傷的基板搬送裝置及塗布裝置。在本發明的基板搬送裝置中，在將與基板的搬送方向正交的水準方向設為寬度方向時，基板支撐平台在俯視時與搬送輥在寬度方向上不同的位置具有搬送方向上的最上游側端部至少延伸至搬送輥的旋轉軸的位置的延伸部，延伸部的上表面的高度與基板支撐面相同且與基板支撐面連接，由升降機構定位於上部位置的搬送輥搬送基板，直至俯視時基板的前端部到達較搬送輥的旋轉軸更靠下游位置處，其後，升降機構使搬送輥下降至下部位置，由此將基板自搬送輥移交至基板支撐平台。

简体摘要： 本发明提供一种可顺畅地进行向自下方施加浮力来支撑基板的平台搬送基板且防止基板的搬送不良或损伤的基板搬送设备及涂布设备。在本发明的基板搬送设备中，在将与基板的搬送方向正交的水准方向设为宽度方向时，基板支撑平台在俯视时与搬送辊在宽度方向上不同的位置具有搬送方向上的最上游侧端部至少延伸至搬送辊的旋转轴的位置的延伸部，延伸部的上表面的高度与基板支撑面相同且与基板支撑面连接，由直升电梯构定位于上部位置的搬送辊搬送基板，直至俯视时基板的前端部到达较搬送辊的旋转轴更靠下游位置处，其后，直升电梯构使搬送辊下降至下部位置，由此将基板自搬送辊移交至基板支撑平台。