公开(公告)号：TW201840944A

公开(公告)日：2018-11-16

申请号：TW107108935

申请日：2018-03-16

Applicant: 日商日新電機股份有限公司 ,  NISSIN ELECTRIC CO., LTD.

Inventor： 李東偉 ,  LI, DONGWEI ,  茨木満雄 ,  IBARAKI, MITSUO ,  岩苔翼 ,  IWAKOKE, TSUBASA

IPC: F16K1/24 ,  F16K3/18 ,  F16K51/00 ,  H01L21/677

Abstract: 本發明是減少產生於閘閥裝置上的塵埃，並且確保真空容器的開口的阻塞性的裝置，其包括：閥體2，使真空容器11的開口11H開閉；支撐軸3，設置在閥體2的兩端部，用以使閥體2旋轉；以及進退移動機構4，介於閥體2與支撐軸3之間而設置，使閥體2在與支撐軸3正交的方向上進退移動；並且進退移動機構4包括：導引部41，設置在支撐軸3側；滑行部42，設置在閥體2側，在導引部41上滑行移動；連桿機構43，一端與滑行部42連接；以及驅動部44，連接著連桿機構43的另一端，使連桿機構43驅動。

Abstract in simplified Chinese: 本发明是减少产生于闸阀设备上的尘埃，并且确保真空容器的开口的阻塞性的设备，其包括：阀体2，使真空容器11的开口11H开闭；支撑轴3，设置在阀体2的两端部，用以使阀体2旋转；以及进退移动机构4，介于阀体2与支撑轴3之间而设置，使阀体2在与支撑轴3正交的方向上进退移动；并且进退移动机构4包括：导引部41，设置在支撑轴3侧；滑行部42，设置在阀体2侧，在导引部41上滑行移动；连杆机构43，一端与滑行部42连接；以及驱动部44，连接着连杆机构43的另一端，使连杆机构43驱动。