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公开(公告)号:TW201843531A
公开(公告)日:2018-12-16
申请号:TW107105884
申请日:2018-02-22
Applicant: 日商東芝機械股份有限公司 , TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA
Inventor: 小久保光典 , KOKUBO, MITSUNORI , 杉浦裕喜 , SUGIURA, YUKI , 藤原茂 , FUJIWARA, SHIGERU , 橋本有紀 , HASHIMOTO, YUKI
Abstract: 實施形態之轉印裝置(41)係在基板設置部(45)設置基板(3),在模具設置部(47)設置模具(7),在遮罩單元設置部(51)設置遮罩單元(13)之狀態下,控制成以藉由模具推壓部(49)將模具(7)推壓至基板(3),藉由第1定位部(53)進行遮罩單元(13)對模具(7)的定位,藉由照射部(55)朝向被設置在基板(3)之表面的未硬化之材料(11)照射特定波長的電磁波。
Abstract in simplified Chinese: 实施形态之转印设备(41)系在基板设置部(45)设置基板(3),在模具设置部(47)设置模具(7),在遮罩单元设置部(51)设置遮罩单元(13)之状态下,控制成以借由模具推压部(49)将模具(7)推压至基板(3),借由第1定位部(53)进行遮罩单元(13)对模具(7)的定位,借由照射部(55)朝向被设置在基板(3)之表面的未硬化之材料(11)照射特定波长的电磁波。
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公开(公告)号:TWI649184B
公开(公告)日:2019-02-01
申请号:TW107105706
申请日:2018-02-21
Applicant: 日商東芝機械股份有限公司 , TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA
Inventor: 小久保光典 , KOKUBO, MITSUNORI , 杉浦裕喜 , SUGIURA, YUKI , 藤原茂 , FUJIWARA, SHIGERU , 橋本有紀 , HASHIMOTO, YUKI
IPC: B29C59/04 , H01L21/027 , G03F7/00
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公开(公告)号:TW201841777A
公开(公告)日:2018-12-01
申请号:TW107112689
申请日:2018-04-13
Applicant: 日商東芝機械股份有限公司 , TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA
Inventor: 小久保光典 , KOKUBO, MITSUNORI , 杉浦裕喜 , SUGIURA, YUKI , 藤原茂 , FUJIWARA, SHIGERU , 橋本有紀 , HASHIMOTO, YUKI
IPC: B41F16/00 , H01L21/027
Abstract: 實施形態之轉印裝置係具備基板設置部、模具緊壓輥子及材料回收部,基板設置部是供設置設有未硬化的材料之基板;模具緊壓輥子,是供形成有既定的轉印圖案之模具繞掛,藉由相對於設置於基板設置部之基板進行移動而將模具緊壓於基板;材料回收部,是將藉由模具緊壓輥子的移動而從基板和模具之間流出之未硬化的材料回收。
Abstract in simplified Chinese: 实施形态之转印设备系具备基板设置部、模具紧压辊子及材料回收部,基板设置部是供设置设有未硬化的材料之基板;模具紧压辊子,是供形成有既定的转印图案之模具绕挂,借由相对于设置于基板设置部之基板进行移动而将模具紧压于基板;材料回收部,是将借由模具紧压辊子的移动而从基板和模具之间流出之未硬化的材料回收。
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公开(公告)号:TW201834829A
公开(公告)日:2018-10-01
申请号:TW107105706
申请日:2018-02-21
Applicant: 日商東芝機械股份有限公司 , TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA
Inventor: 小久保光典 , KOKUBO, MITSUNORI , 杉浦裕喜 , SUGIURA, YUKI , 藤原茂 , FUJIWARA, SHIGERU , 橋本有紀 , HASHIMOTO, YUKI
IPC: B29C59/04 , H01L21/027 , G03F7/00
Abstract: 用於將模子壓印至安置在基板上之樹脂的裝置包含壓印滾筒,承載該模子;跳動滾筒,以防止該模子鬆開;第一驅動器,被建構成驅動該壓印滾筒;第二驅動器,被建構成驅動該跳動滾筒;及控制器,被電連接至該第一驅動器及該第二驅動器,且被建構成控制該第一驅動器及該第二驅動器。
Abstract in simplified Chinese: 用于将模子压印至安置在基板上之树脂的设备包含压印滚筒,承载该模子;跳动滚筒,以防止该模子松开;第一驱动器,被建构成驱动该压印滚筒;第二驱动器,被建构成驱动该跳动滚筒;及控制器,被电连接至该第一驱动器及该第二驱动器,且被建构成控制该第一驱动器及该第二驱动器。
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公开(公告)号:TWI554411B
公开(公告)日:2016-10-21
申请号:TW102130432
申请日:2013-08-26
Applicant: 東芝機械股份有限公司 , TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA
Inventor: 杉浦裕喜 , SUGIURA, YUKI , 小久保光典 , KOKUBO, MITSUNORI , 藤原茂 , FUJIWARA, SHIGERU , 北原秀利 , KITAHARA, HIDETOSHI , 室伏勇 , MUROFUSHI, YU , 松月功 , MATSUZUKI, ISAO , 馬場丘人 , BABA, TAKATO , 鈴木亨 , SUZUKI, TORU
CPC classification number: B29C59/043 , B29C59/04 , B29C59/046 , Y10T428/24479
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公开(公告)号:TWI499474B
公开(公告)日:2015-09-11
申请号:TW101144296
申请日:2012-11-27
Applicant: 東芝機械股份有限公司 , TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA
Inventor: 小久保光典 , KOKUBO, MITSUNORI , 杉浦裕喜 , SUGIURA, YUKI , 鈴木亨 , SUZUKI, TORU , 北原秀利 , KITAHARA, HIDETOSHI
CPC classification number: B23P11/00 , B23P19/04 , B23Q3/084 , B23Q3/088 , B32B37/06 , B32B37/18 , B32B38/18 , B32B38/1841 , B32B38/1858 , B32B2309/68 , B32B2315/08 , B32B2457/202 , Y10T29/49826 , Y10T29/49865 , Y10T29/53096 , Y10T29/53439 , Y10T29/5397
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公开(公告)号:TWI605929B
公开(公告)日:2017-11-21
申请号:TW102129805
申请日:2013-08-20
Applicant: 東芝機械股份有限公司 , TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA
Inventor: 杉浦裕喜 , SUGIURA, YUKI , 小久保光典 , KOKUBO, MITSUNORI , 松月功 , MATSUZUKI, ISAO , 馬場丘人 , BABA, TAKATO , 鈴木亨 , SUZUKI, TORU
IPC: B29C59/04
CPC classification number: B29C59/043 , B29C59/04 , B29C59/046 , Y10T428/24479
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公开(公告)号:TW201429748A
公开(公告)日:2014-08-01
申请号:TW102130432
申请日:2013-08-26
Applicant: 東芝機械股份有限公司 , TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA
Inventor: 杉浦裕喜 , SUGIURA, YUKI , 小久保光典 , KOKUBO, MITSUNORI , 藤原茂 , FUJIWARA, SHIGERU , 北原秀利 , KITAHARA, HIDETOSHI , 室伏勇 , MUROFUSHI, YU , 松月功 , MATSUZUKI, ISAO , 馬場丘人 , BABA, TAKATO , 鈴木亨 , SUZUKI, TORU
CPC classification number: B29C59/043 , B29C59/04 , B29C59/046 , Y10T428/24479
Abstract: 本發明之轉印裝置係將形成在主模的微細的轉印圖案轉印在被成形體的轉印裝置,其具有:將主模的微細的轉印圖案轉印在由透過光的材料所構成的複製模的第1轉印部;及將在第1轉印部所被形成的複製模的微細的轉印圖案轉印在被成形體的第2轉印部。
Abstract in simplified Chinese: 本发明之转印设备系将形成在主模的微细的转印图案转印在被成形体的转印设备,其具有:将主模的微细的转印图案转印在由透过光的材料所构成的复制模的第1转印部;及将在第1转印部所被形成的复制模的微细的转印图案转印在被成形体的第2转印部。
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公开(公告)号:TWI499477B
公开(公告)日:2015-09-11
申请号:TW101144734
申请日:2012-11-29
Applicant: 東芝機械股份有限公司 , TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA
Inventor: 小久保光典 , KOKUBO, MITSUNORI , 杉浦裕喜 , SUGIURA, YUKI , 鈴木亨 , SUZUKI, TORU , 北原秀利 , KITAHARA, HIDETOSHI
CPC classification number: B23Q7/00 , B23Q3/088 , B25B11/005 , B29C43/021 , B29C43/36 , B29C2043/025 , B29C2043/5092 , B29C2043/5833 , B32B37/0007 , B32B37/003 , B32B37/10 , B32B37/1009 , B32B37/1018 , B32B37/1207 , B32B38/06 , B32B38/1841 , B32B38/1858 , B32B43/00 , B32B2041/04 , B32B2309/68 , B32B2309/70 , B32B2310/0831 , B32B2315/08 , B32B2457/202 , B32B2551/00 , Y10T29/49822 , Y10T29/49826 , Y10T29/53096 , Y10T29/53535
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公开(公告)号:TW201431667A
公开(公告)日:2014-08-16
申请号:TW102129805
申请日:2013-08-20
Applicant: 東芝機械股份有限公司 , TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA
Inventor: 杉浦裕喜 , SUGIURA, YUKI , 小久保光典 , KOKUBO, MITSUNORI , 松月功 , MATSUZUKI, ISAO , 馬場丘人 , BABA, TAKATO , 鈴木亨 , SUZUKI, TORU
IPC: B29C59/04
CPC classification number: B29C59/043 , B29C59/04 , B29C59/046 , Y10T428/24479
Abstract: 轉印裝置(1)係具有:保持體(3),保持被成型體;第1輥子(5),為了進行轉印而與保持體(3)協同動作,將所捲繞之模具(M)和保持體(3)所保持的被成型體(W)挾入,且以中心軸(C1)為旋轉中心進行旋轉而移動;以及第2輥子(7),以從保持體(3)所保持之被成型體(W)分離的方式捲繞有從第1輥子(5)延伸出的模具(M),且以中心軸(C2)為旋轉中心進行旋轉而與第1輥子(5)一起相對移動。
Abstract in simplified Chinese: 转印设备(1)系具有:保持体(3),保持被成型体;第1辊子(5),为了进行转印而与保持体(3)协同动作,将所卷绕之模具(M)和保持体(3)所保持的被成型体(W)挟入,且以中心轴(C1)为旋转中心进行旋转而移动;以及第2辊子(7),以从保持体(3)所保持之被成型体(W)分离的方式卷绕有从第1辊子(5)延伸出的模具(M),且以中心轴(C2)为旋转中心进行旋转而与第1辊子(5)一起相对移动。
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