半導體記憶裝置
    3.
    发明专利
    半導體記憶裝置 审中-公开
    半导体记忆设备

    公开(公告)号:TW202011412A

    公开(公告)日:2020-03-16

    申请号:TW107143728

    申请日:2018-12-05

    Abstract: 實施形態提供一種能夠提高FeNAND之抹除性能之半導體記憶裝置。 實施形態之半導體記憶裝置包含串、位元線、井線、及定序器。串包含第1選擇電晶體、第2選擇電晶體、及複數個記憶胞電晶體,該等複數個記憶胞電晶體串聯連接於第1選擇電晶體與第2選擇電晶體之間,且記憶層使用鐵電體。位元線及井線分別連接於上述第1及第2選擇電晶體。定序器於選擇了串之抹除動作後之抹除驗證動作中之第1時刻,對記憶胞電晶體之閘極施加第1電壓Vevfy,對第1選擇電晶體之閘極施加低於第1電壓之第2電壓Vsgrp,對第2選擇電晶體之閘極施加低於第1電壓之第3電壓Vsgrp,對位元線施加第4電壓Vbl,對井線施加高於第4電壓之第5電壓Vsrc。

    Abstract in simplified Chinese: 实施形态提供一种能够提高FeNAND之抹除性能之半导体记忆设备。 实施形态之半导体记忆设备包含串、比特线、井线、及定序器。串包含第1选择晶体管、第2选择晶体管、及复数个记忆胞晶体管,该等复数个记忆胞晶体管串联连接于第1选择晶体管与第2选择晶体管之间,且记忆层使用铁电体。比特线及井线分别连接于上述第1及第2选择晶体管。定序器于选择了串之抹除动作后之抹除验证动作中之第1时刻,对记忆胞晶体管之闸极施加第1电压Vevfy,对第1选择晶体管之闸极施加低于第1电压之第2电压Vsgrp,对第2选择晶体管之闸极施加低于第1电压之第3电压Vsgrp,对比特线施加第4电压Vbl,对井线施加高于第4电压之第5电压Vsrc。

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