感光性樹脂組成物、阻劑層合體及彼等之硬化物
    1.
    发明专利
    感光性樹脂組成物、阻劑層合體及彼等之硬化物 审中-公开
    感光性树脂组成物、阻剂层合体及彼等之硬化物

    公开(公告)号:TW201425368A

    公开(公告)日:2014-07-01

    申请号:TW102142472

    申请日:2013-11-21

    摘要: 本發明係以提供藉由光微影技術,可以垂直的側壁形狀形成具有微細的解像度、低應力、耐濕熱性的圖像之感光性環氧樹脂組成物、及/或該阻劑層合體、以及彼等之硬化物為目的。本發明為含有(A)環氧樹脂、(B)特定構造的多元酚化合物、(C)光陽離子聚合起始劑、(D)含環氧基矽烷化合物、及(E)特定構造的反應性環氧單體的感光性樹脂組成物,該(A)環氧樹脂含有下述式(1) 所表示的酚衍生物與表鹵代醇之反應所得到的環氧樹脂(a)、及下述式(2) 所表示的環氧樹脂(b),該(E)反應性環氧單體為聚氧化烷二醇二環氧丙基醚之感光性樹脂組成物。

    简体摘要: 本发明系以提供借由光微影技术,可以垂直的侧壁形状形成具有微细的解像度、低应力、耐湿热性的图像之感光性环氧树脂组成物、及/或该阻剂层合体、以及彼等之硬化物为目的。本发明为含有(A)环氧树脂、(B)特定构造的多元酚化合物、(C)光阳离子聚合起始剂、(D)含环氧基硅烷化合物、及(E)特定构造的反应性环氧单体的感光性树脂组成物,该(A)环氧树脂含有下述式(1) 所表示的酚衍生物与表卤代醇之反应所得到的环氧树脂(a)、及下述式(2) 所表示的环氧树脂(b),该(E)反应性环氧单体为聚氧化烷二醇二环氧丙基醚之感光性树脂组成物。

    感光性樹脂組成物、阻劑層合體及彼等之硬化物
    2.
    发明专利
    感光性樹脂組成物、阻劑層合體及彼等之硬化物 审中-公开
    感光性树脂组成物、阻剂层合体及彼等之硬化物

    公开(公告)号:TW201425452A

    公开(公告)日:2014-07-01

    申请号:TW102142474

    申请日:2013-11-21

    摘要: 本發明係以提供藉由光微影技術,可以垂直的側壁形狀形成具有微細的解像度、低應力、耐濕熱性的圖像之感光性環氧樹脂組成物、及/或該阻劑層合體、以及彼等之硬化物為目的。本發明為含有(A)環氧樹脂、(B)特定構造的多元酚化合物、(C)光陽離子聚合起始劑、(D)含環氧基矽烷化合物、及(E)特定構造的反應性環氧單體的感光性樹脂組成物,該(A)環氧樹脂含有下述式(1) 所表示的酚衍生物與表鹵代醇之反應所得到的環氧樹脂(a)、及下述式(2) 所表示的環氧樹脂(b),該(E)反應性環氧單體為具有複數之環氧基的多環式飽和烴衍生物之感光性樹脂組成物。

    简体摘要: 本发明系以提供借由光微影技术,可以垂直的侧壁形状形成具有微细的解像度、低应力、耐湿热性的图像之感光性环氧树脂组成物、及/或该阻剂层合体、以及彼等之硬化物为目的。本发明为含有(A)环氧树脂、(B)特定构造的多元酚化合物、(C)光阳离子聚合起始剂、(D)含环氧基硅烷化合物、及(E)特定构造的反应性环氧单体的感光性树脂组成物,该(A)环氧树脂含有下述式(1) 所表示的酚衍生物与表卤代醇之反应所得到的环氧树脂(a)、及下述式(2) 所表示的环氧树脂(b),该(E)反应性环氧单体为具有复数之环氧基的多环式饱和烃衍生物之感光性树脂组成物。

    感光性樹脂組成物、光阻層合體及此等之硬化物
    3.
    发明专利
    感光性樹脂組成物、光阻層合體及此等之硬化物 审中-公开
    感光性树脂组成物、光阻层合体及此等之硬化物

    公开(公告)号:TW201434946A

    公开(公告)日:2014-09-16

    申请号:TW102138673

    申请日:2013-10-25

    摘要: 本發明係以提供藉由微影術,可形成在垂直側壁形狀下具有微細解像度、低應力、耐濕熱性之圖像的感光性環氧樹脂組成物、及/或其光阻層合體、以及此等硬化物為目的。本發明為含有(A)環氧樹脂、(B)特定結構之多價酚化合物、(C)光陽離子聚合引發劑、及(D)含有環氧基之矽烷化合物的感光性樹脂組成物,該(A)環氧樹脂為含有藉由下述式(1) 所示酚衍生物與表鹵代醇之反應而得之環氧樹脂(a)、及下述式(2) 所示環氧樹脂(b)之感光性樹脂組成物。

    简体摘要: 本发明系以提供借由微影术,可形成在垂直侧壁形状下具有微细解像度、低应力、耐湿热性之图像的感光性环氧树脂组成物、及/或其光阻层合体、以及此等硬化物为目的。本发明为含有(A)环氧树脂、(B)特定结构之多价酚化合物、(C)光阳离子聚合引发剂、及(D)含有环氧基之硅烷化合物的感光性树脂组成物,该(A)环氧树脂为含有借由下述式(1) 所示酚衍生物与表卤代醇之反应而得之环氧树脂(a)、及下述式(2) 所示环氧树脂(b)之感光性树脂组成物。

    感光性樹脂組成物、阻劑層合體及該等之硬化物
    4.
    发明专利
    感光性樹脂組成物、阻劑層合體及該等之硬化物 审中-公开
    感光性树脂组成物、阻剂层合体及该等之硬化物

    公开(公告)号:TW201425450A

    公开(公告)日:2014-07-01

    申请号:TW102142464

    申请日:2013-11-21

    摘要: 本發明之目的為提供藉由光微影術,可形成垂直之側壁形狀且具有微細的解像度、低應力、耐濕熱性之影像的感光性環氧樹脂組成物、及/或其阻劑層合體、以及該等之硬化物。本發明係含有(A)環氧樹脂、(B)特定構造之多元醇化合物、(C)光陽離子聚合起始劑、(D)含有環氧基之矽烷化合物、及(E)特定構造之反應性環氧單體的感光性樹脂組成物,該(A)環氧樹脂,係含有藉由下述式(1) 表示之酚衍生物、與表鹵代醇之反應,而得到之環氧樹脂(a)、及下述式(2) 表示之環氧樹脂(b)。

    简体摘要: 本发明之目的为提供借由光微影术,可形成垂直之侧壁形状且具有微细的解像度、低应力、耐湿热性之影像的感光性环氧树脂组成物、及/或其阻剂层合体、以及该等之硬化物。本发明系含有(A)环氧树脂、(B)特定构造之多元醇化合物、(C)光阳离子聚合起始剂、(D)含有环氧基之硅烷化合物、及(E)特定构造之反应性环氧单体的感光性树脂组成物,该(A)环氧树脂,系含有借由下述式(1) 表示之酚衍生物、与表卤代醇之反应,而得到之环氧树脂(a)、及下述式(2) 表示之环氧树脂(b)。

    感光性樹脂組成物、光阻層合體及其之硬化物
    10.
    发明专利
    感光性樹脂組成物、光阻層合體及其之硬化物 审中-公开
    感光性树脂组成物、光阻层合体及其之硬化物

    公开(公告)号:TW201432385A

    公开(公告)日:2014-08-16

    申请号:TW102138671

    申请日:2013-10-25

    IPC分类号: G03F7/075 C08L63/00

    摘要: 本發明係以提供藉由微影術,可形成在垂直側壁形狀下具有微細解像度、低應力、耐濕熱性之圖像的感光性環氧樹脂組成物、及/或其光阻層合體、以及此等硬化物為目的。本發明為含有(A)環氧樹脂、(B)特定結構之多元醇化合物、(C)光陽離子聚合引發劑、及(D)含有環氧基之矽烷化合物的感光性樹脂組成物,該(A)環氧樹脂為含有藉由下述式(1) 所示酚衍生物與表鹵代醇之反應而得之環氧樹脂(a)、及下述式(2) 所示環氧樹脂(b)之感光性樹脂組成物。

    简体摘要: 本发明系以提供借由微影术,可形成在垂直侧壁形状下具有微细解像度、低应力、耐湿热性之图像的感光性环氧树脂组成物、及/或其光阻层合体、以及此等硬化物为目的。本发明为含有(A)环氧树脂、(B)特定结构之多元醇化合物、(C)光阳离子聚合引发剂、及(D)含有环氧基之硅烷化合物的感光性树脂组成物,该(A)环氧树脂为含有借由下述式(1) 所示酚衍生物与表卤代醇之反应而得之环氧树脂(a)、及下述式(2) 所示环氧树脂(b)之感光性树脂组成物。