公开(公告)号：TW201733770A

公开(公告)日：2017-10-01

申请号：TW105127045

申请日：2016-08-24

申请人： 東芝股份有限公司 ,  KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA

发明人： 前田竹識 ,  MAEDA, TAKEORI ,  松嶋良二 ,  MATSUSHIMA, RYOJI ,  川口誠 ,  KAWAGUCHI, MAKOTO ,  涌井正明 ,  WAKUI, MASAAKI

IPC分类号： B29C45/26 ,  B29C45/02 ,  B29C45/14 ,  H01L21/56

CPC分类号： H01L21/67259 ,  B29C45/02 ,  B29C45/03 ,  B29C45/14065 ,  B29C45/14336 ,  B29C45/14655 ,  B29C45/2708 ,  B29C45/34 ,  B29C45/76 ,  B29C45/77 ,  B29C45/78 ,  B29C45/80 ,  B29C2045/14155 ,  B29C2945/76006 ,  B29C2945/7604 ,  B29C2945/76083 ,  B29C2945/7618 ,  B29C2945/76254 ,  B29C2945/76287 ,  B29C2945/76568 ,  B29L2031/34 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/68721

摘要： 本發明之實施形態之目的係提供一種成型性良好之模具及轉注成型裝置。 根據實施形態，模具包含：基板夾緊面；腔部；吸引部；排氣口部；中間腔；及開閉部。基板夾緊面與被處理基板之表面相接。腔部自基板夾緊面退縮。吸引部自基板夾緊面退縮。排氣口部設置於腔部與吸引部之間之路徑上，與腔部連結，成為腔部內之氣體之排出路徑，且以排氣口部深度自基板夾緊面退縮。中間腔係於路徑上設置於排氣口部與吸引部之間，與排氣口部連結，且以較排氣口部深度深之中間腔深度自基板夾緊面退縮。開閉部係於路徑上設置於中間腔與吸引部之間，且開閉路徑。

简体摘要： 本发明之实施形态之目的系提供一种成型性良好之模具及转注成型设备。 根据实施形态，模具包含：基板夹紧面；腔部；吸引部；排气口部；中间腔；及开闭部。基板夹紧面与被处理基板之表面相接。腔部自基板夹紧面退缩。吸引部自基板夹紧面退缩。排气口部设置于腔部与吸引部之间之路径上，与腔部链接，成为腔部内之气体之排出路径，且以排气口部深度自基板夹紧面退缩。中间腔系于路径上设置于排气口部与吸引部之间，与排气口部链接，且以较排气口部深度深之中间腔深度自基板夹紧面退缩。开闭部系于路径上设置于中间腔与吸引部之间，且开闭路径。