壓印設備、壓印方法、和製造物品的方法
    8.
    发明专利
    壓印設備、壓印方法、和製造物品的方法 审中-公开
    压印设备、压印方法、和制造物品的方法

    公开(公告)号:TW201545205A

    公开(公告)日:2015-12-01

    申请号:TW104113038

    申请日:2015-04-23

    IPC分类号: H01L21/027 B29C59/02 G03F7/20

    摘要: 本發明提供壓印設備,其使用模子在被供給至基板上之壓印材料中形成圖案,該設備包含供給單元,其包括複數個孔口,每一孔口排出該壓印材料朝該基板,且被建構來藉由來自每一孔口的壓印材料之排出而將該壓印材料供給至該基板上;及控制單元,被建構成在該基板上按照指示應被供給至該基板上之該壓印材料的分佈之分佈資訊,控制來自每一孔口的壓印材料之排出,其中該控制單元基於由每一孔口所排出的壓印材料之排出量的資訊來更新該分佈資訊,使得使用該模子所形成之壓印材料的厚度落在可容許範圍內。

    简体摘要: 本发明提供压印设备,其使用模子在被供给至基板上之压印材料中形成图案,该设备包含供给单元,其包括复数个孔口,每一孔口排出该压印材料朝该基板,且被建构来借由来自每一孔口的压印材料之排出而将该压印材料供给至该基板上;及控制单元,被建构成在该基板上按照指示应被供给至该基板上之该压印材料的分布之分布信息,控制来自每一孔口的压印材料之排出,其中该控制单元基于由每一孔口所排出的压印材料之排出量的信息来更新该分布信息,使得使用该模子所形成之压印材料的厚度落在可容许范围内。