用於濺鍍製程之夾具與濺鍍半導體封裝件之方法
    4.
    发明专利
    用於濺鍍製程之夾具與濺鍍半導體封裝件之方法 审中-公开
    用于溅镀制程之夹具与溅镀半导体封装件之方法

    公开(公告)号:TW201418499A

    公开(公告)日:2014-05-16

    申请号:TW101140675

    申请日:2012-11-02

    Abstract: 一種用於濺鍍製程之夾具與濺鍍半導體封裝件之方法,該夾具係包括:承載板,係具有凹槽;黏著層,係形成於該凹槽之底面上,並定義有一物件設置區於該黏著層之頂面;以及治具板,係結合於該黏著層上,並嵌入於該承載板之凹槽,且具有對應外露該物件設置區的第一開口,該治具板之第一開口之截面係呈底窄頂寬之錐形,而該物件設置區之邊緣與該第一開口之底端間並間隔有一預定距離。藉由本發明可防止溢鍍至半導體封裝件之底部,進而增進半導體封裝件的良率。

    Abstract in simplified Chinese: 一种用于溅镀制程之夹具与溅镀半导体封装件之方法,该夹具系包括:承载板,系具有凹槽;黏着层,系形成于该凹槽之底面上,并定义有一对象设置区于该黏着层之顶面;以及治具板,系结合于该黏着层上,并嵌入于该承载板之凹槽,且具有对应外露该对象设置区的第一开口,该治具板之第一开口之截面系呈底窄顶宽之锥形,而该对象设置区之边缘与该第一开口之底端间并间隔有一预定距离。借由本发明可防止溢镀至半导体封装件之底部,进而增进半导体封装件的良率。

Patent Agency Ranking