公开(公告)号：TW201803268A

公开(公告)日：2018-01-16

申请号：TW106121443

申请日：2017-06-27

申请人： 索泰克公司 ,  SOITEC

发明人： 加丁 葛威泰 ,  GAUDIN, GWELTAZ ,  于耶 伊莎貝 ,  HUYET, ISABELLE

IPC分类号： H03H9/15 ,  H03H9/25

CPC分类号： H01L41/0815 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02622 ,  H03H9/02818

摘要： 本發明與一種表面聲波元件用複合結構(100)有關，其包括壓電材料製成之一有用層(10)，其具有自由之一第一面(1)及設置在一支撐底材(20)上之一第二面(2)，該支撐底材(20)之熱膨脹係數低於該有用層(10)之熱膨脹係數。 該複合結構(100)包括： 插入在該有用層(10)與該支撐底材(20)間之一捕捉層(30)；及 位於該有用層(10)與該捕捉層(30)間具有確定粗糙度之至少一功能介面(31)。

简体摘要： 本发明与一种表面声波组件用复合结构(100)有关，其包括压电材料制成之一有用层(10)，其具有自由之一第一面(1)及设置在一支撑底材(20)上之一第二面(2)，该支撑底材(20)之热膨胀系数低于该有用层(10)之热膨胀系数。 该复合结构(100)包括： 插入在该有用层(10)与该支撑底材(20)间之一捕捉层(30)；及 位于该有用层(10)与该捕捉层(30)间具有确定粗糙度之至少一功能界面(31)。