公开(公告)号：TWI697662B

公开(公告)日：2020-07-01

申请号：TW104135916

申请日：2015-10-30

申请人： 美商克萊譚克公司 ,  KLA-TENCOR CORPORATION

发明人： 克威柏格斯 菲利浦 ,  CAUWENBERGHS, FILIP ,  迪 葛里夫 喬漢 ,  DE GREEVE, JOHAN ,  比賈可 保林 ,  BEGOC, PAULING ,  古曼 可恩 ,  GOORMAN, KOEN

IPC分类号： G01N21/88 ,  F21V14/00 ,  F21V5/04

公开(公告)号：TW201627656A

公开(公告)日：2016-08-01

申请号：TW104135916

申请日：2015-10-30

申请人： 克萊譚克公司 ,  KLA-TENCOR CORPORATION

发明人： 克威柏格斯 菲利浦 ,  CAUWENBERGHS, FILIP ,  迪 葛里夫 喬漢 ,  DE GREEVE, JOHAN ,  比賈可 保林 ,  BEGOC, PAULING ,  古曼 可恩 ,  GOORMAN, KOEN

IPC分类号： G01N21/88 ,  F21V14/00 ,  F21V5/04

CPC分类号： G01N21/8806 ,  G02B21/082 ,  G02B26/00

摘要： 本發明揭示一種照明系統、一種檢測工具及一種用於檢測一物件之方法。一可組態區域光源配置於一照明光束路徑之一照明光軸中，其中該可組態區域光源經組態使得可設定不同光束直徑。至少一照明透鏡定位於該照明光束路徑中以將一準直光束至少引導至該物件之一表面上之一視野上，其中該照明光束路徑之該照明光軸之一入射角之一值等於成像光束路徑之成像光軸之一反射角之一值。本發明容許在一照明系統中組合一廣角同軸照明及一準直同軸照明之功能性。

简体摘要： 本发明揭示一种照明系统、一种检测工具及一种用于检测一对象之方法。一可组态区域光源配置于一照明光束路径之一照明光轴中，其中该可组态区域光源经组态使得可设置不同光束直径。至少一照明透镜定位于该照明光束路径中以将一准直光束至少引导至该对象之一表面上之一视野上，其中该照明光束路径之该照明光轴之一入射角之一值等于成像光束路径之成像光轴之一反射角之一值。本发明容许在一照明系统中组合一广角同轴照明及一准直同轴照明之功能性。