公开(公告)号：TWI683999B

公开(公告)日：2020-02-01

申请号：TW107123303

申请日：2013-10-29

申请人： 美商克萊譚克公司 ,  KLA-TENCOR CORPORATION

发明人： 渥特斯克里斯堤安 ,  WOLTERS,CHRISTIAN ,  派純克亞里西 ,  PETRENKO,ALEKSEY ,  荷勒科爾特 L ,  HALLER,KURT L. ,  瑞奇傑耕 ,  REICH,JUERGEN ,  許志偉 ,  XU,ZHIWEI ,  比耶雅克史帝芬 ,  BIELLAK,STEPHEN ,  可蘭喬治 J ,  KREN,GEORGE J

IPC分类号： G01N21/956

公开(公告)号：TW201835560A

公开(公告)日：2018-10-01

申请号：TW107123303

申请日：2013-10-29

申请人： 美商克萊譚克公司 ,  KLA-TENCOR CORPORATION

发明人： 渥特斯克里斯堤安 ,  WOLTERS,CHRISTIAN ,  派純克亞里西 ,  PETRENKO,ALEKSEY ,  荷勒科爾特 L ,  HALLER,KURT L. ,  瑞奇傑耕 ,  REICH,JUERGEN ,  許志偉 ,  XU,ZHIWEI ,  比耶雅克史帝芬 ,  BIELLAK,STEPHEN ,  可蘭喬治 J ,  KREN,GEORGE J

IPC分类号： G01N21/956

摘要： 本發明係關於一種管理施加至一經掃描晶圓之經照明部分之照明能量以在無不必要危及一檢測系統之SNR之情況下減輕照明引發之損害之一系統及方法。可將該晶圓以一選定自轉頻率旋轉以利用該檢測系統掃描晶圓缺陷。在該晶圓之至少一經掃描區域上方的照明能量可依照一經照明部分距該晶圓之中心之徑向距離及該晶圓之該選定自轉頻率而改變。可進一步將照明能量連續施加在超出距該晶圓之該中心之一選定距離之該晶圓之一或多個經掃描區域上方。

简体摘要： 本发明系关于一种管理施加至一经扫描晶圆之经照明部分之照明能量以在无不必要危及一检测系统之SNR之情况下减轻照明引发之损害之一系统及方法。可将该晶圆以一选定自转频率旋转以利用该检测系统扫描晶圆缺陷。在该晶圆之至少一经扫描区域上方的照明能量可依照一经照明部分距该晶圆之中心之径向距离及该晶圆之该选定自转频率而改变。可进一步将照明能量连续施加在超出距该晶圆之该中心之一选定距离之该晶圆之一或多个经扫描区域上方。