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发明专利
組合晶圓及光罩檢查系統、裝置及方法有权
简体标题：组合晶圆及光罩检查系统、设备及方法

公开(公告)号：TWI700777B

公开(公告)日：2020-08-01

申请号：TW108104488

申请日：2019-02-11

申请人： 美商奈米創尼克影像公司 , NANOTRONICS IMAGING, INC.

发明人： 葛瑞菲斯蘭道夫 , GRIFFITH, RANDOLPH E. , 安德森傑夫 , ANDRESEN, JEFF , 波其羅佑拉史考特 , POZZI-LOYOLA, SCOTT , 莫斯奇麥可 , MOSKIE, MICHAEL , 史奎恩頓史蒂夫 , SCRANTON, STEVE , 詹姆亞力山卓 , JAIME, ALEJANDRO S. , 普特曼約翰 , PUTMAN, JOHN B.

IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/677 , H01L21/66