公开(公告)号：TWI570413B

公开(公告)日：2017-02-11

申请号：TW101124559

申请日：2012-07-06

Applicant: 色拉頓系統公司 ,  CELADON SYSTEMS, INC. ,  英特爾公司 ,  INTEL CORPORATION

Inventor： 魯特 布萊安J ,  ROOT, BRYAN J. ,  方克 威廉A ,  FUNK, WILLIAM A. ,  帕倫波 麥可 ,  PALUMBO, MICHAEL

IPC: G01R1/067 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01R1/07307 ,  G01R1/07364 ,  G01R31/2601 ,  G01R31/2889

公开(公告)号：TW201323883A

公开(公告)日：2013-06-16

申请号：TW101124559

申请日：2012-07-06

Applicant: 色拉頓系統公司 ,  CELADON SYSTEMS, INC. ,  英特爾公司 ,  INTEL CORPORATION

Inventor： 魯特 布萊安J ,  ROOT, BRYAN J. ,  方克 威廉A ,  FUNK, WILLIAM A. ,  帕倫波 麥可 ,  PALUMBO, MICHAEL

IPC: G01R1/067 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01R1/07307 ,  G01R1/07364 ,  G01R31/2601 ,  G01R31/2889

Abstract: 本發明揭示一種用於測試一半導體裝置之測試設備，該測試設備包含：一電路板，其具有在一側上之一觸點圖案及穿過其之一開口，及一探針卡，其支撐一探針陣列。該探針陣列可插入至該電路板之該開口中且經組態以探測一受測試裝置。該探針陣列與該電路板之該觸點圖案電接觸，以允許信號穿過該探針卡及該電路板到達一測試設備。一固持器支撐該探針卡及其他探針卡。該固持器具有多個側，該等側中之每一者可支撐具有一探針陣列之一探針卡。該固持器可旋轉以相對於一受測試裝置操縱及定位該等探針卡之該等探針陣列。該固持器允許自該固持器斷開連接及替換該等探針陣列。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种用于测试一半导体设备之测试设备，该测试设备包含：一电路板，其具有在一侧上之一触点图案及穿过其之一开口，及一探针卡，其支撑一探针数组。该探针数组可插入至该电路板之该开口中且经组态以探测一受测试设备。该探针数组与该电路板之该触点图案电接触，以允许信号穿过该探针卡及该电路板到达一测试设备。一固持器支撑该探针卡及其他探针卡。该固持器具有多个侧，该等侧中之每一者可支撑具有一探针数组之一探针卡。该固持器可旋转以相对于一受测试设备操纵及定位该等探针卡之该等探针数组。该固持器允许自该固持器断开连接及替换该等探针数组。