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    用於積體電路測試機中的測試針之精確對準的對準系統
    1.
    发明专利
    用於積體電路測試機中的測試針之精確對準的對準系統 审中-公开
    用于集成电路测试机中的测试针之精确对准的对准系统

    公开(公告)号：TW201809685A

    公开(公告)日：2018-03-16

    申请号：TW106115821

    申请日：2013-06-19

    申请人： 瓊斯科技國際公司 ,  JOHNSTECH INTERNATIONAL CORPORATION

    发明人： 艾德華斯 傑森 ,  EDWARDS, JATHAN ,  馬克斯 查爾斯 ,  MARKS, CHARLES ,  哈佛爾森 布萊恩 ,  HALVORSON, BRIAN

    IPC分类号： G01R1/073 ,  G01R31/26

    CPC分类号： G01R1/06733 ,  G01R1/07307 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2601 ,  Y10T29/49204

    摘要： 一種用於IC電路之晶圓級測試的測試裝置係被揭露。一上針和下針係構製成能相對於彼此滑動，並被一彈性物保持在彈性偏壓接觸。該彈性物係由其自然靜止狀態被預壓縮於一頂板與一底板之間。預壓縮會改良該等針的彈性反應。該等針冠係藉至少一凸緣銜抵針導板之一止上表面來保持相對地共平面，而確保該等冠的共平面性。該針導係藉建立一配準邊角並以在至少一對角相反邊角處的彈性物驅動該針導進入該配準邊角中來與該納持板保持對準。

    简体摘要： 一种用于IC电路之晶圆级测试的测试设备系被揭露。一上针和下针系构制成能相对于彼此滑动，并被一弹性物保持在弹性偏压接触。该弹性物系由其自然静止状态被预压缩于一顶板与一底板之间。预压缩会改良该等针的弹性反应。该等针冠系藉至少一凸缘衔抵针导板之一止上表面来保持相对地共平面，而确保该等冠的共平面性。该针导系藉创建一配准边角并以在至少一对角相反边角处的弹性物驱动该针导进入该配准边角中来与该纳持板保持对准。

    在一積體電路測試裝置中的電接觸組件
    4.
    发明专利
    在一積體電路測試裝置中的電接觸組件 审中-公开
    在一集成电路测试设备中的电接触组件

    公开(公告)号：TW201623970A

    公开(公告)日：2016-07-01

    申请号：TW104141344

    申请日：2015-12-09

    申请人： 杰馮科技有限公司 ,  JF MICROTECHNOLOGY SDN. BHD.

    发明人： 馮 偉強 ,  FOONG, WEI KUONG ,  吳 國星 ,  GOH, KOK SING ,  孟迪亞 夏摩 ,  MUNDIYATH, SHAMAL ,  李 永杰 ,  LEE, ENG KIAT

    IPC分类号： G01R1/04 ,  G01R31/28

    CPC分类号： G01R3/00 ,  G01R1/07307 ,  G01R1/07371

    摘要： 一種用於一積體電路測試裝置的電接觸組件，該電接觸組件具有多個接腳和電絕緣體，其每一者被製造成具有與一剛性軸的一橫截面匹配的通孔，使得該剛性軸可穿過該接腳和絕緣體。這確保了每個接腳的位置基本為以剛性軸的基準為單一基準而與其他接腳對準排列。該電絕緣體被放置每個接腳之間，以防止接腳之間的電連接。此外，以這種方式組裝的四個剛性軸可以彼此互鎖以形成一矩形組件，其能被插入到測試裝置的一個合適的外殼中。

    简体摘要： 一种用于一集成电路测试设备的电接触组件，该电接触组件具有多个接脚和电绝缘体，其每一者被制造成具有与一刚性轴的一横截面匹配的通孔，使得该刚性轴可穿过该接脚和绝缘体。这确保了每个接脚的位置基本为以刚性轴的基准为单一基准而与其他接脚对准排列。该电绝缘体被放置每个接脚之间，以防止接脚之间的电连接。此外，以这种方式组装的四个刚性轴可以彼此互锁以形成一矩形组件，其能被插入到测试设备的一个合适的外壳中。

    探針卡及其製造方法
    6.
    发明专利
    探針卡及其製造方法 审中-公开
    探针卡及其制造方法

    公开(公告)号：TW201516416A

    公开(公告)日：2015-05-01

    申请号：TW103118369

    申请日：2014-05-27

    申请人： 日本麥克隆尼股份有限公司 ,  KABUSHIKI KAISHA NIHON MICRONICS

    发明人： 新井治 ,  ARAI, OSAMU ,  齊藤祐貴 ,  SAITO, YUKI ,  井上龍雄 ,  INOUE, TATSUO ,  清藤英博 ,  KIYOFUJI, HIDEHIRO

    IPC分类号： G01R1/073 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66

    CPC分类号： G01R1/07314 ,  G01B21/08 ,  G01R1/07307 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2863 ,  G01R31/2874

    摘要： 本發明提供一種對應2個測量溫度的探針卡。該探針卡係為了對配置在組入有熱源之作業台上的被檢查體進行電性測試，而將該被檢查體的電極與測試器予以連接者。探針卡係包含：電路基板，係形成有與測試器連接之導電路；探針基板，係形成有與該電路基板之前述導電路對應之導電路，且設有與該導電路連接的探針；及熱膨脹調整構件，係與該探針基板結合，為了限制該探針基板的熱伸縮而具有與前述探針基板之線膨脹係數不同的線膨脹係數，且與前述探針基板構成複合體。且該探針卡係設定為：在前述被檢查體處於2個測量溫度(T1、T’1)時且前述複合體處於對應的到達溫度(T2、T’2)時，各測量溫度與對應的到達溫度之溫度差(T1-T2、T’1-T’2)中之前述被檢查體及前述複合體的伸縮變化量係大致相等。

    简体摘要： 本发明提供一种对应2个测量温度的探针卡。该探针卡系为了对配置在组入有热源之作业台上的被检查体进行电性测试，而将该被检查体的电极与测试器予以连接者。探针卡系包含：电路基板，系形成有与测试器连接之导电路；探针基板，系形成有与该电路基板之前述导电路对应之导电路，且设有与该导电路连接的探针；及热膨胀调整构件，系与该探针基板结合，为了限制该探针基板的热伸缩而具有与前述探针基板之线膨胀系数不同的线膨胀系数，且与前述探针基板构成复合体。且该探针卡系设置为：在前述被检查体处于2个测量温度(T1、T’1)时且前述复合体处于对应的到达温度(T2、T’2)时，各测量温度与对应的到达温度之温度差(T1-T2、T’1-T’2)中之前述被检查体及前述复合体的伸缩变化量系大致相等。

    晶圓檢查用介面及晶圓檢查裝置
    8.
    发明专利
    晶圓檢查用介面及晶圓檢查裝置 审中-公开
    晶圆检查用界面及晶圆检查设备

    公开(公告)号：TW201415050A

    公开(公告)日：2014-04-16

    申请号：TW102120161

    申请日：2013-06-06

    申请人： 東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

    发明人： 山田浩史 ,  YAMADA, HIROSHI

    IPC分类号： G01R31/28

    CPC分类号： G01R1/0408 ,  G01R1/07307 ,  G01R31/26 ,  G01R31/2891

    摘要： 提供一種晶圓檢查用介面，該晶圓檢查用介面並不會受到探針長度的影響，能夠使設置於晶圓之半導體裝置的電極與探針卡的探針良好地進行抵接。晶圓檢查用介面(40)係具有：探針卡(43)，在晶圓(W)之對向面具備複數個探針(43b)；彈性框架(42)，支撐與形成有探針卡(43)之探針(43b)之面相反的面；梯形形狀之卡盤構件(45)，隔著晶圓(W)且與探針卡(43)相對；筒狀的伸縮構件(46)，密封該卡盤構件(45)與彈性框架(42)之間的空間，將一端固定於彈性框架(42)，而另一端之下部凸緣(46b)抵接於卡盤構件(45)；該伸縮管(46)的長度調節機構；導引構件(47)，引導伸縮管(46)的移動，且具有減壓路徑(51)，對卡盤構件(45)與彈性框架(42)之間的空間進行減壓。

    简体摘要： 提供一种晶圆检查用界面，该晶圆检查用界面并不会受到探针长度的影响，能够使设置于晶圆之半导体设备的电极与探针卡的探针良好地进行抵接。晶圆检查用界面(40)系具有：探针卡(43)，在晶圆(W)之对向面具备复数个探针(43b)；弹性框架(42)，支撑与形成有探针卡(43)之探针(43b)之面相反的面；梯形形状之卡盘构件(45)，隔着晶圆(W)且与探针卡(43)相对；筒状的伸缩构件(46)，密封该卡盘构件(45)与弹性框架(42)之间的空间，将一端固定于弹性框架(42)，而另一端之下部凸缘(46b)抵接于卡盘构件(45)；该伸缩管(46)的长度调节机构；导引构件(47)，引导伸缩管(46)的移动，且具有减压路径(51)，对卡盘构件(45)与弹性框架(42)之间的空间进行减压。

    晶圓級積體電路接觸器及建構方法
    9.
    发明专利
    晶圓級積體電路接觸器及建構方法 审中-公开
    晶圆级集成电路接触器及建构方法

    公开(公告)号：TW201405130A

    公开(公告)日：2014-02-01

    申请号：TW102121777

    申请日：2013-06-19

    申请人： 瓊斯科技國際公司 ,  JOHNSTECH INTERNATIONAL CORPORATION

    发明人： 艾德華斯 傑森 ,  EDWARDS, JATHAN ,  馬克斯 查爾斯 ,  MARKS, CHARLES ,  哈佛爾森 布萊恩 ,  HALVORSON, BRIAN

    IPC分类号： G01R1/073 ,  G01R31/26

    CPC分类号： G01R1/06733 ,  G01R1/07307 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2601 ,  Y10T29/49204

    摘要： 一種用於IC電路之晶圓級測試的測試裝置係被揭露。一上針和下針係構製成能相對於彼此滑動，並被一彈性物保持在彈性偏壓接觸。該彈性物係由其自然靜止狀態被預壓縮於一頂板與一底板之間。預壓縮會改良該等針的彈性反應。該等針冠係藉至少一凸緣銜抵針導板之一止上表面來保持相對地共平面，而確保該等冠的共平面性。該針導係藉建立一配準邊角並以在至少一對角相反邊角處的彈性物驅動該針導進入該配準邊角中來與該納持板保持對準。

    简体摘要： 一种用于IC电路之晶圆级测试的测试设备系被揭露。一上针和下针系构制成能相对于彼此滑动，并被一弹性物保持在弹性偏压接触。该弹性物系由其自然静止状态被预压缩于一顶板与一底板之间。预压缩会改良该等针的弹性反应。该等针冠系藉至少一凸缘衔抵针导板之一止上表面来保持相对地共平面，而确保该等冠的共平面性。该针导系藉创建一配准边角并以在至少一对角相反边角处的弹性物驱动该针导进入该配准边角中来与该纳持板保持对准。

    具有一探針卡之測試設備及連接器機構
    10.
    发明专利
    具有一探針卡之測試設備及連接器機構 审中-公开
    具有一探针卡之测试设备及连接器机构

    公开(公告)号：TW201323883A

    公开(公告)日：2013-06-16

    申请号：TW101124559

    申请日：2012-07-06

    申请人： 色拉頓系統公司 ,  CELADON SYSTEMS, INC. ,  英特爾公司 ,  INTEL CORPORATION

    发明人： 魯特 布萊安J ,  ROOT, BRYAN J. ,  方克 威廉A ,  FUNK, WILLIAM A. ,  帕倫波 麥可 ,  PALUMBO, MICHAEL

    IPC分类号： G01R1/067 ,  G01R31/26

    CPC分类号： G01R1/07307 ,  G01R1/07364 ,  G01R31/2601 ,  G01R31/2889

    摘要： 本發明揭示一種用於測試一半導體裝置之測試設備，該測試設備包含：一電路板，其具有在一側上之一觸點圖案及穿過其之一開口，及一探針卡，其支撐一探針陣列。該探針陣列可插入至該電路板之該開口中且經組態以探測一受測試裝置。該探針陣列與該電路板之該觸點圖案電接觸，以允許信號穿過該探針卡及該電路板到達一測試設備。一固持器支撐該探針卡及其他探針卡。該固持器具有多個側，該等側中之每一者可支撐具有一探針陣列之一探針卡。該固持器可旋轉以相對於一受測試裝置操縱及定位該等探針卡之該等探針陣列。該固持器允許自該固持器斷開連接及替換該等探針陣列。

    简体摘要： 本发明揭示一种用于测试一半导体设备之测试设备，该测试设备包含：一电路板，其具有在一侧上之一触点图案及穿过其之一开口，及一探针卡，其支撑一探针数组。该探针数组可插入至该电路板之该开口中且经组态以探测一受测试设备。该探针数组与该电路板之该触点图案电接触，以允许信号穿过该探针卡及该电路板到达一测试设备。一固持器支撑该探针卡及其他探针卡。该固持器具有多个侧，该等侧中之每一者可支撑具有一探针数组之一探针卡。该固持器可旋转以相对于一受测试设备操纵及定位该等探针卡之该等探针数组。该固持器允许自该固持器断开连接及替换该等探针数组。