基板與遮罩貼合夾持裝置
    3.
    发明专利
    基板與遮罩貼合夾持裝置 审中-公开
    基板与遮罩贴合夹持设备

    公开(公告)号:TW201421607A

    公开(公告)日:2014-06-01

    申请号:TW101144733

    申请日:2012-11-29

    IPC分类号: H01L21/683

    摘要: 基板與遮罩貼合夾持裝置包括推動組件、上部夾爪機構及下部夾爪機構。上部夾爪機構包括第一斜面、擺動件、第二斜面及滑動面。下部夾爪機構包括下部夾爪固定座及夾爪。夾爪可動地裝設於下部夾爪固定座。在推動組件沿第一方向運動的過程中,推動組件與第一斜面相對運動而帶動上部夾爪機構沿第二方向運動,且推動組件帶動第二斜面與擺動件進行相對運動,進而使擺動件帶動夾爪沿與第一方向反向之第三方向運動,且推動組件帶動滑動面與下部夾爪機構產生相對運動,進而帶動夾爪沿第四方向運動。

    简体摘要: 基板与遮罩贴合夹持设备包括推动组件、上部夹爪机构及下部夹爪机构。上部夹爪机构包括第一斜面、摆动件、第二斜面及滑动面。下部夹爪机构包括下部夹爪固定座及夹爪。夹爪可动地装设于下部夹爪固定座。在推动组件沿第一方向运动的过程中,推动组件与第一斜面相对运动而带动上部夹爪机构沿第二方向运动,且推动组件带动第二斜面与摆动件进行相对运动,进而使摆动件带动夹爪沿与第一方向反向之第三方向运动,且推动组件带动滑动面与下部夹爪机构产生相对运动,进而带动夹爪沿第四方向运动。