用於電子工業之基於亞碸/二醇醚之溶劑
    3.
    发明专利
    用於電子工業之基於亞碸/二醇醚之溶劑 审中-公开
    用于电子工业之基于亚砜/二醇醚之溶剂

    公开(公告)号:TW201814033A

    公开(公告)日:2018-04-16

    申请号:TW106124023

    申请日:2017-07-18

    摘要: 本發明關於尤其適用於自顯示器/半導體基板或電子加工設備移除光致抗蝕劑及聚(醯胺酸)/聚醯亞胺之溶劑,其主要由以下各項組成:(A)第一組分,其由亞碸,例如DMSO組成;(B)第二組分,其由二醇醚,例如乙二醇單丁基醚組成;以及(C)第三組分,其由以下各項中之至少一者組成:N-甲醯基嗎啉、N,N-二甲基丙醯胺、3-甲氧基-N,N-二甲基丙醯胺、磷酸三乙酯、N,N-二甲基乙醯胺、N,N-二乙基乙醯胺、N,N-二乙基丙醯胺、N-甲基乙醯胺、N-甲基丙醯胺、N-乙基乙醯胺以及N-乙基丙醯胺。

    简体摘要: 本发明关于尤其适用于自显示器/半导体基板或电子加工设备移除光致抗蚀剂及聚(酰胺酸)/聚酰亚胺之溶剂,其主要由以下各项组成:(A)第一组分,其由亚砜,例如DMSO组成;(B)第二组分,其由二醇醚,例如乙二醇单丁基醚组成;以及(C)第三组分,其由以下各项中之至少一者组成:N-甲酰基吗啉、N,N-二甲基丙酰胺、3-甲氧基-N,N-二甲基丙酰胺、磷酸三乙酯、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二乙基乙酰胺、N,N-二乙基丙酰胺、N-甲基乙酰胺、N-甲基丙酰胺、N-乙基乙酰胺以及N-乙基丙酰胺。